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清洗硅烷系统尾气的集尘器

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摘要该集尘器是离心式清冼器。在半导体制造工业CVD过程中，能安全可靠地处理硅烷系统的尾气，捕集副生粉尘。

作者韩美

出处《低温与特气》 CAS 1986年第4期80-80,共1页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词集尘器尾气系统硅烷清洗制造工业安全可靠离心式 CVD 半导体捕集

分类号 X964 [环境科学与工程—安全科学] X701 [环境科学与工程—环境工程]

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1К.,АМ,高连洲.卸尘装置的完善及卸尘方法[J].国外耐火材料,1992,17(8):41-44.
2煤炭燃烧后的净化处理技术[J].能源与环境,2016,0(4):19-19.
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9柴鸿宇,何雨华.露天凿岩钻车集尘系统设计[J].科技创新与应用,2015,5(11):89-89.
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低温与特气

1986年第4期

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