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激光干涉仪测长精度校准方法的研究被引量：1

Calibration Research of Linear Measuring Error for Laser Interferometers

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摘要本文从激光干涉仪的工作原理出发 ,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析 ,从而提出了测长精度校准的不同方法特点 ,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法。

作者廖澄清朱小平王蔚晨杜华

机构地区福建省漳平市技术监督局中国计量科学研究院

出处《现代测量与实验室管理》 2005年第1期6-7,共2页

关键词激光干涉仪精度校准方法试验总结误差源理论分析

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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现代测量与实验室管理

2005年第1期

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