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临界角法探焦静态特性实验研究 被引量:2

Static Characteristic Experimental Research of Detecting Focus by Critical Angle
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摘要 临界角法探焦分辨力高、动态范围适中、结构简单、系统调试容易。采用临界角棱镜、光电探测器等器件组成光路得到离焦信号便可计算出离焦量。实验采用单光路临界角法 ,用四象限探测器探测输出信号 ,物面微位移采用压电陶瓷作为驱动元件。通过对离焦误差信号FES的分析 ,得出临界角法探焦静态分辨力优于0 0 2 μm、线性范围可达± 4 5 μm。
出处 《计量技术》 2005年第3期3-5,共3页 Measurement Technique
  • 相关文献

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同被引文献11

引证文献2

二级引证文献8

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