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近代几何量精测技术的进展与应用

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摘要宇航技术和微电子技术的发展,极大地拓宽了几何量精测技术领域,促进了高科技在精测中应用。

作者马品仲

机构地区中国科学院南京天文仪器研制中心

出处《上海计量测试》 1994年第4期9-10,共2页 Shanghai Measurement and Testing

关键词几何量进展测量精度

分类号 TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]

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上海计量测试

1994年第4期

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