激光清除表面的外来微粒

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摘要激光清除表面的外来微粒在微电子学工艺中，微电路衬底表面的清洁问题是很重要的，因为对于微电路，微米级的个别外来微粒都是危险的。使用激光可以实现对微电路衬底表面作干式远距离清除。清洁衬底是用纳秒或更短的激光脉冲照射表面，激光对表面成锐角投射（参见插图）。...

出处《国外激光》 CSCD 1994年第11期37-38,13,共3页

关键词微电子学微电路衬底激光清除表面处理

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国外激光

1994年第11期

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