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DC PJ-CVD等离子体炬通道中的电弧行为 被引量:8

Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch
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摘要 运用电磁学和热流体学的方法研究了直流大阳极喷嘴长电弧通道等离子体炬中电弧的行为,并通过实验证明了温度梯度与电场梯度作用于流体时所产生的特殊现象;结果表明:电弧弧柱的高温效应剧烈排斥冷气流的混入,使CVD过程受到抑制。新产生的胶体粒子在热泳现象作用下逐渐沉积于通道内壁上。改变不同气体的进气位置以及减小温度与电场梯度并增设径向旋转磁场。 Arc action in plasma torch with large anode nozzle and long arc passage has been researched by means of electromagnetism and hot fluid mechanics.It has been showed that the special phenomenon will emerg when temperature gradient and electric field gradient act on fluid.The results indicate that high temperature effect of arc column strongly prevents cold gas current from getting in,so as to restrain CVD process.Newly emerging colloidal particles deposit progressively on passage wall under the action of heatphoresis.Above mentioned problems can be solved effectively by changing entrance positions of different gases,reducing gradients of temperature and electric field as well as adding radial circular magnetic field.
出处 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期547-550,共4页 Journal of University of Science and Technology Beijing
关键词 等离子体 等离子喷射 电弧 等离子体炬 plasmas plasma spraying apparatus electrical arc chemical vapour deposition
  • 相关文献

参考文献3

  • 1金佑民,低温等离子体物理基础,1993年
  • 2过增元,热流体学,1992年
  • 3马腾才,等离子体物理原理,1988年

同被引文献59

引证文献8

二级引证文献50

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