Boltzmann输运方程在计算注入离子和反冲粒子分布中的应用被引量：1

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摘要本文根据 Boltzmann 输运方程理论,利用人们在粒子与固体相互作用方面所取得的最新成果,并在计算方法上进行了优化、改进,对注入离子在单一靶和复合靶中的分布及反冲粒子的分布进行了计算.计算结果与实验结果取得了很好的一致,并与 TRIM 程序计算的结果进行了对比.

作者张庆瑜

机构地区大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室

出处《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》 1993年第2期153-158,共6页

关键词输运方程离子注入 BOLTZMANN

分类号 O53 [理学—等离子体物理]

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