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四极质谱气体定量分析的实际应用
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摘要
介绍四极质谱定量分析方法的典型应用实例。表明它确实能为科研与生产提供有价值的定量数据。介绍了器件的质量保证诊断分析和吸气剂实际吸气效果的评价分析。以表格的形式列出了各种实测结果。
作者
黄理胜
李春华
赵玉兰
机构地区
南京电子管厂
出处
《真空与低温》
1993年第1期15-17,共3页
Vacuum and Cryogenics
关键词
气体
定量分析
质谱仪
分类号
TH84 [机械工程—精密仪器及机械]
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