摘要
液晶显示器的需求促进NF3市场继续增长。目前LCD需求仅占NF3市场约20％，但LCD需求估计正在以每年30％速率增长．其他半导体应用仅增长10％。LCD制造商在全球NF3的需求增长中占40％以上．它用于去除残留在LCD玻璃上的薄膜沉积物。在半导体制造中．NF3用于去除化学蒸气沉积室的污物。Air Products&Chemicals(AP)公司是世界生产NF3的领头者．
出处
《化学推进剂与高分子材料》
CAS
2005年第1期51-52,共2页
Chemical Propellants & Polymeric Materials
