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复化学气相沉积金刚石膜工业化应用

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摘要 本项目是863计划“八五”和“九五”期间两个重大关键技术项目“金刚石膜制备关键设备研制(合同号:863-715-02(Z)-A)”和“大面积高光学质量金刚石膜制备、加工及应用关键技术研究(合同号:863-715-Z38-03)”,以及“十五”863计划国防先进材料专项“高马赫数导弹红外雷达窗口(球罩)光学级金刚石膜制备和加工关键技术研究(合同号:2002AA305508)”项目的阶段成果。
出处 《新材料产业》 2004年第12期86-87,共2页 Advanced Materials Industry
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