脉冲激光淀积法制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜

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摘要一种脉冲激光淀积法制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜，它是采用脉冲激光淀积法，将α-BBO靶材的表层分子熔蒸出来，在加热的α-BBO衬底上淀积生成β-BBO单晶薄膜。本方法可以在α-BBO衬底上生长出符合需要的微米量级的α-BBO单晶薄膜，不仅节省材料，还可以批量生产，对激光技术以及集成光学的发展具有重要的意义。

出处《无机盐工业》 CAS 北大核心 2005年第1期60-60,共1页 Inorganic Chemicals Industry

关键词淀积 BBO 单晶薄膜偏硼酸钡脉冲激光衬底集成光学分子靶材生成

分类号 TQ171 [化学工程—玻璃工业] TN304 [电子电信—物理电子学]

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