表面超精加工技术的发展
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1韩长玉,王瑞洁,许觅婷,车丽玮,张兰,马会中.电镀金刚石超薄切割片切割单晶硅实验研究[J].河南科技,2009,28(8):47-48. 被引量:1
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2于劲,曹健林.纳米级光学超精密加工技术[J].物理,1992,21(12):726-731. 被引量:2
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3胡志孟,雒建斌,温诗铸,高峰,陈大融.纳米金刚石用作磁头抛光材料的研究[J].材料保护,2001,34(12):11-11. 被引量:11
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4鲁平.导波声光频谱仪集成光路的研究[J].发光学报,1998,19(4):348-351.
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