1～3μm短波红外光导探测器阳极氧化工艺的研究

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摘要简要介绍了通过阳极氧化工艺条件的改变,确定 1～3 μm 短波红外光导探测器阳极氧化的最佳工艺条件,从而改善了器件性能,大大提高了产品成品率。

作者洪雁赵鹏郑丽娟何丹裘萍

机构地区昆明物理研究所

出处《红外技术》 CSCD 北大核心 2004年第6期45-47,共3页 Infrared Technology

关键词短波阳极氧化工艺光导器件性能红外光探测器成品率改变最佳工艺条件研究

参考文献3

1电子元件、组件[J].中国无线电电子学文摘,2004,0(1):38-40.
2美丽约会台电酷玛 G808 MP3播放器[J].电脑采购,2004,0(38):18-18.
3余宝琴.阳极氧化工艺研制的多路转换器[J].混合微电子技术,2002,13(2):19-21.
4钱立成,金伟国,王龙.铝基覆铜板用铝板的表面处理工艺[J].印制电路信息,2009,17(6):19-20. 被引量：2
5张铮,王立春.阳极氧化工艺制作HPLC—2117型混合集成预偏锁定控制电路[J].混合微电子技术,2000,11(3):18-21.
6王立春,刘米丰,吴伟伟,罗燕,任卫朋.选择性穿透阳极氧化工艺的三维铝封装技术研究[J].电子元件与材料,2016,35(12):61-66. 被引量：1
7桑文斌,钱永彪,闵嘉华,莫要武,陈培峰,王林军,吴汶海,陈高庭.液相外延制备InGaAsP／InP掩埋异质结若干工艺问题的讨论[J].光子学报,1996,25(10):893-897.
8吴晓霞,胡江华,卢海燕.铝合金裂缝波导天线热控膜制备技术[J].电子科技,2015,28(8):164-166. 被引量：2
9高欣,张晶,李辉,曲轶,薄报学.高功率、高效率线阵半导体激光器的阳极氧化制备方法[J].中国激光,2006,33(8):1013-1016. 被引量：1
10于佳音,崔新芳,练小正,乔英杰.Al/Al_2O_3/Cu测控温薄膜材料的制备[J].中国科技论文,2013,8(2):128-131.

红外技术

2004年第6期

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