超小型同步辐射光源的进展

Progress in Supersmall Synchrotron Light Source

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摘要本文概述当前世界上各种超小型同步辐射光源的发展现状,呼吁国内积极组织力量,并在90年代后期建造我国的超小型同步辐射光源,建立我国的亚微米集成电路生产基地。

作者刘乃泉王坨刘国治车平

机构地区中国科技大学

出处《科技导报》 CAS CSCD 1993年第5期24-26,共3页 Science & Technology Review

关键词同步辐射光源超小型进展

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科技导报

1993年第5期

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