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金刚石薄膜的制备、结构以及在红外、激光领域中的应用

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摘要本文较详细地讨论了低压气相生长金刚石薄膜的三种典型方法,以及金刚石薄膜的结构和在红外光学、激光等领域中的应用。

作者杨国伟

机构地区航天部○一四中心

出处《红外与激光技术》 CSCD 1993年第3期30-32,35,共4页

关键词气相沉积金刚石薄膜红外材料

分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]

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红外与激光技术

1993年第3期

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