X射线缩小投影光刻系统
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1蔡玉琴,杨上金,张启仁,庄秀群,何颖玲.泵浦靶辐射X射线特性研究[J].强激光与粒子束,1993,5(2):173-180.
-
2董胜明,陶绪堂,李福奇,于文涛.Cd(NH_2CSNHNH_2)(SCN)_2晶体的 X 射线衍射分析和缺陷研究[J].人工晶体学报,1992,21(4):407-410.
-
3Newn.,BE,吴桂英.极紫外自由电子激光投影光刻系统[J].光机电世界,1993,10(3):37-49.
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4崔承甲.X射线光刻技术的现状和发展[J].光机电信息,1996,13(9):32-34.
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5麻壮华.X射线光刻技术[J].光机电信息,1995,12(12):3-6.
-
6田景全,彭海波,吴奎,卢耀华,姜德龙.Lixiscope及几种材料的X射线吸收特性研究[J].应用光学,1993,14(1):6-9. 被引量:1
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7刘术林,张继胜.球面微通道板的X射线聚焦特性[J].光子学报,1993,22(2):167-171. 被引量:1
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8AT4 wireless选择安捷伦和ETS-Lindgren测试设备构建WiMAX辐射测试工具[J].电信网技术,2008(2):87-87.
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9Mark.,CA,平静.投影光刻中焦深问题的研究与分析[J].电子工业专用设备,1997,26(2):50-54.
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10郭立萍,黄惠杰,王向朝.积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用[J].光子学报,2006,35(7):981-985. 被引量:9
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