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连续自动提供超纯氢的金属氢化物终端纯化装置 被引量:1

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摘要 介绍的新型氢气终端纯化装置采用金属氢化物纯化原理与技术,配合脱氧干燥预处理,可利用99%工业普氢制备6N级超纯氢气。叙述了氢化物纯化器结构、吸氢材料与纯化工艺,以及装置的流程与操作。整叽通过电脑程序控制,实现自动连续操作,特别适用于高新技术产业需要。
出处 《低温与特气》 CAS 1993年第2期24-26,共3页 Low Temperature and Specialty Gases
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