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一种用于低温下瞬态测温的薄膜热偶技术

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摘要薄膜热电偶是采用高真空下离子溅射法制成的。从理论上对它的响应时间常数及动态测温误差进行了分析,并附有初步实验结果。从理论分析和实验结果看来,薄膜热电偶在低温下的响应要快于一般结点型热电偶。

作者徐文顾安忠张江俞国新

机构地区上海交通大学低温研究和测试中心上海机械学院低温生物工程研究室

出处《低温与特气》 CAS 1993年第1期36-39,共4页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词薄膜热电偶测温热电偶低温

分类号 TH811 [机械工程—精密仪器及机械]

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低温与特气

1993年第1期

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