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类芬顿反应在碳化硅光学材料研抛中的作用 被引量:4

Effect of Fenton-Kind process in Silicon Carbon polishing
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摘要 本文讨论了以零价铁代替亚铁盐形成类芬顿反应(Fenton-Kind process)体系应用于碳化硅光学材料抛光过程中的反应机理,通过双转子研抛机床对SiC光学材料进行了研抛实验,验证了类芬顿反应能够有效地提高SiC材料的加工效率和加工质量。通过对比不同磨料粒度研抛液加工结果,获得了SiC材料研抛过程中化学与机械作用规律。 本文讨论了以零价铁代替亚铁盐形成类芬顿反应(Fenton-Kind process)体系应用于碳化硅光学材料抛光过程中的反应机理,通过双转子研抛机床对SiC光学材料进行了研抛实验,验证了类芬顿反应能够有效地提高SiC材料的加工效率和加工质量。通过对比不同磨料粒度研抛液加工结果,获得了SiC材料研抛过程中化学与机械作用规律。
出处 《航空精密制造技术》 2012年第4期9-11,62,共4页 Aviation Precision Manufacturing Technology
关键词 碳化硅 芬顿反应 研抛加工 silicon carbide Fenton process polishing
  • 相关文献

参考文献4

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同被引文献51

引证文献4

二级引证文献59

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