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日本开发出氟回收新技术

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摘要日本每年用在大规模集成电路蚀刻和冲洗上的氢氟酸达1万吨。最近日本东北大学和有关生产厂家共同开发出一种新的氟回收装置,即把蚀刻和冲洗两部分排水分开处理,用碳酸钙取代目前使用的熟石灰处理废液,成功地从中回收到氟化钙,并做为氟的生产原料加以综合利用。

作者武海蓬

出处《中国人口·资源与环境》 CSSCI 1992年第2期67-67,共1页 China Population,Resources and Environment

关键词大规模集成电路氟回收共同开发综合利用东北大学部分排水碳酸钙蚀刻处理废液熟石灰

分类号 X2 [环境科学与工程—环境科学] C92 [社会学—人口学]

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中国人口·资源与环境

1992年第2期

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