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SOI技术步入实用化
被引量：
7
The SOI Technology Step in Practicality
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摘要
本文介绍了SOI器件的优点、SOI晶圆市场、制备SOI的方法和SOI器件。
In this paper, the merits of SOI device, the SOI wafer market, the method of SOI by made and the SOI device are introduced.
作者
翁寿松
机构地区
无锡市罗特电子有限公司
出处
《电子与封装》
2003年第2期7-11,共5页
Electronics & Packaging
关键词
绝缘硅
器件
市场
SOI
Device
Market
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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电子与封装
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