期刊文献+

浅析我国含氟气体标准的发展 被引量:5

Analysis of the Development of Fluorinated Gas Standards in China
在线阅读 下载PDF
导出
摘要 本文基于我国含氟气体产业的发展,概述了含氟气体标准的发展现状,分析了相关标准情况,进而探索了含氟气体标准的发展趋势。 According to the development of fluorinated gas industry in China,the paper introduces the development status of fluorinated gas standards first,then lists the relevant standards in detail,and at last analyzes the development trend of fluorinated gas standards.
作者 鬲春利 史婉君 吴克安 张建君 张琦炎 邹丁艳 李企真 GE Chun-li;SHI Wan-jun;WU Ke-an;ZHANG Jian-jun;ZHANG Qi-yan;ZOU Ding-yan;LI Qi-zhen(State Key Laboratory of Fluorinated Greenhouse Gases Replacement and Treatment,Zhejiang Research Institute of Chemical Industry,Ltd.)
出处 《中国标准化》 2021年第7期114-119,共6页 China Standardization
关键词 含氟气体 标准 发展 fluorinated gas standards development
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献65

  • 1孙福楠,韩美,王秋娥,梁玉,林刚,陈晓惠,田波.中国特种气体的现状及发展走向[J].低温与特气,2005,23(1):1-4. 被引量:8
  • 2梁肃臣.气体的纯化方法[J].低温与特气,1995,13(3):66-69. 被引量:11
  • 3路家兵.用氦离子化检测器检测高纯氧中微量杂质的含量[J].低温与特气,1996,14(1):59-62. 被引量:2
  • 4李东升,黄勇.电子气体系统技术应用现状和发展趋势[J].中国集成电路,2007,16(3):37-39. 被引量:5
  • 5Inazawa K, Okamoto S, Hayashi H, et al. Plasma etching method : US, 5595627 [ P]. 1997 - 01 - 21.
  • 6Ohno H, Sakai Y J, Shibuya T. Azeotropic mixture of flu- oromethane and hydrogen chloride and process for purifying fluoromethane :WO, 2005009933 [ P]. 2005 - 02 - 03.
  • 7Corbin D R, Fernandez R E, Mahler B A. Purification of hexafluoroethane products : US, 5523499 [ P]. 1996 - 06 - 04.
  • 8Ohno H, Nakajo T, Ohi T, et al. Method for purifying hexafluoroethane : US, 6274782 [ P]. 2001 - 08 - 14.
  • 9Ji W C,Shen D M, Jain R, et al. Method of processing semiconductor manufacturing exhaust gases : US, 6017382 [P].2000 -01 -25.
  • 10Succi M, Solcia C. Process for the purification of fluorine - containing gases : EP, 0501933 [ P]. 1992 - 09 - 02.

共引文献53

同被引文献47

引证文献5

二级引证文献5

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部