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金属-半导体-金属(MSM)结构4H-SiC紫外光电探测器的研制 被引量：9
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作者 吴正云 XIN Xiao-bin +1 位作者 YAN Feng ZHAO Jian-hui 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期269-272,共4页
MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视。本文制备了采用镍作为肖特基接触形成的MSM 4H—SiC紫外光电探测器,并测量和分析了在不同的偏压下其光电特性。结果表明,该探测器的暗电流非... MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视。本文制备了采用镍作为肖特基接触形成的MSM 4H—SiC紫外光电探测器,并测量和分析了在不同的偏压下其光电特性。结果表明,该探测器的暗电流非常小,在偏压为15V的时候,漏电流密度约为70 nA/cm2,光电流比暗电流高约2个数量级,其光谱响应表明,其最高光谱响应与380 nm的比值约为1000倍,说明该探测器具有良好的紫外可见比。 展开更多
关键词 MSM 紫外光电探测器 4H-SIC 紫外可见比 宽禁带半导体
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