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SPOS技术在半导体CMP制程中的应用
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作者 顾茂健 王思玲 +2 位作者 徐剑青 Greg Pokrajac David Nicoli 《集成电路应用》 2003年第3期39-42,共4页
使用单粒子光学传感技术进行粒径分析,具有高分辨率和精确度的特点,将其与激光衍射等整体检测技术进行比较,应用实例,说明了单粒子光学传感技术对半导体CMP制程的必要性。
关键词 SPOS技术 CMP 单粒子光学传感技术 高分辨率 激光衍射 化学机械研磨 粒径
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