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铝焊盘镀钯铜丝多焊球脱焊失效的电化学评价 被引量:1
1
作者 徐艳博 王志杰 +2 位作者 刘美 孙志美 牛继勇 《电子与封装》 2024年第8期32-39,共8页
研究铝焊盘的镀钯铜丝(PCC)焊点的多焊球脱焊(MLB)失效过程,对提高产品的可靠性至关重要。利用电化学方法测定了在不同氯离子浓度、pH值和铜暴露面积等条件下电极的腐蚀电流,以表征铝及其金属间化合物(IMC)的腐蚀速率。结果表明,氯离子... 研究铝焊盘的镀钯铜丝(PCC)焊点的多焊球脱焊(MLB)失效过程,对提高产品的可靠性至关重要。利用电化学方法测定了在不同氯离子浓度、pH值和铜暴露面积等条件下电极的腐蚀电流,以表征铝及其金属间化合物(IMC)的腐蚀速率。结果表明,氯离子可以改变阳极极化率,从而影响腐蚀电流;pH值的变化可以改变阴极极化率,从而影响腐蚀电流。钯作为铜丝的保护层,在镀层分布不均或参数选择不当的条件下,与暴露的铜表面形成腐蚀电偶,导致铝及其IMC成为牺牲阳极并被腐蚀。 展开更多
关键词 封装技术 多焊球脱焊 镀钯铜丝 金属间化合物 电化学腐蚀 塔菲尔曲线
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创新创业教育融入课堂教学的应用研究 被引量:1
2
作者 王丽 邵敏敏 刘哲源 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 2018年第B09期120-123,共4页
鉴于国家对大学生创新创业能力培养的要求,髙等院校需要在管理、教学等多方面促进学生创新创业。文章以天津天狮学院信息与自动化学院开设的“物联网基础”课程为例,提出在该门课程的教学过程中从教学、实验、开展社团活动、促进课赛结... 鉴于国家对大学生创新创业能力培养的要求,髙等院校需要在管理、教学等多方面促进学生创新创业。文章以天津天狮学院信息与自动化学院开设的“物联网基础”课程为例,提出在该门课程的教学过程中从教学、实验、开展社团活动、促进课赛结合等方面提高学生的创新创业能力。通过教学检验,该教学方法获得了良好的教学效果,学生能够在课程中掌握创新创业相关知识,并能在此方面获得一定的成绩。 展开更多
关键词 创新创业教育 物联网基础 课程教学
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嵌入式存储器动态故障诊断数据压缩设计 被引量:13
3
作者 陈佳楠 马永涛 +1 位作者 李松 刘丰 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2020年第7期203-209,共7页
在微纳米级工艺中,嵌入式存储器出现开路故障的概率增高,从而带来动态故障。当静态故障与动态故障同时存在时,传统的暂停导出内建自测试设计虽然可以将故障诊断数据正确输出,但存在诊断数据冗余的问题。因此,提出一种动态故障诊断数据... 在微纳米级工艺中,嵌入式存储器出现开路故障的概率增高,从而带来动态故障。当静态故障与动态故障同时存在时,传统的暂停导出内建自测试设计虽然可以将故障诊断数据正确输出,但存在诊断数据冗余的问题。因此,提出一种动态故障诊断数据压缩的内建自测试设计。在不影响诊断数据完好性的前提下,识别故障模式为行故障、列故障与单元故障,并对其诊断数据进行压缩解决诊断数据冗余的问题。仿真结果表明,该设计能够正确压缩动态故障诊断数据,大幅度提高输出效率,减少输出时间,并且面积开销较小。在8 K×16的存储器的面积开销为3.16%,20%行列故障与5%动态故障下诊断数据压缩比为3.96%。 展开更多
关键词 存储器内建自测试 步进算法 诊断数据压缩 故障模式识别 动态故障
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多目标优化的多存储器内建自测试 被引量:7
4
作者 陈佳楠 马永涛 +1 位作者 李松 刘丰 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2020年第1期193-199,共7页
片上系统中含有大量的存储器,常使用共享内建自测试电路的方法测试。内建自测试电路的插入过程受到片上系统的面积开销、测试功耗与测试时间的约束。针对这个问题,将多存储器内建自测试建模为多目标优化问题,并提出一种多目标聚类遗传... 片上系统中含有大量的存储器,常使用共享内建自测试电路的方法测试。内建自测试电路的插入过程受到片上系统的面积开销、测试功耗与测试时间的约束。针对这个问题,将多存储器内建自测试建模为多目标优化问题,并提出一种多目标聚类遗传退火算法。该算法在遗传算法的基础上,通过存储器聚类获得存储器兼容组,采用启发式方法获得高质量初始解,提出一种多约束条件下不同权重的目标函数,对较优个体采用模拟退火算法规避局部最优解风险。实验结果表明,该算法比遗传算法性能更优,获得存储器组解进行测试,比现有方法测试功耗降低11.3%,或测试时间降低48.7%,节省了片上测试资源与测试时间。 展开更多
关键词 存储器 共享内建自测试 多目标优化 聚类 遗传算法
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基于无人机的城市空气质量移动式监测系统 被引量:16
5
作者 陈一洲 林麒光 +3 位作者 夏京 向超胜 杭福兵 刘小峰 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2019年第10期1-6,共6页
基于低成本传感器的移动式空气质量监测系统是城市空气质量监测固定站点的有益补充。无人机与常用的出租车、公交车以及公共自行车等移动载体相比,具有机动性强的独特优势。针对城市特定区域巡检以及应急监测等需求,设计了一种基于无人... 基于低成本传感器的移动式空气质量监测系统是城市空气质量监测固定站点的有益补充。无人机与常用的出租车、公交车以及公共自行车等移动载体相比,具有机动性强的独特优势。针对城市特定区域巡检以及应急监测等需求,设计了一种基于无人机与低成本传感器的城市空气质量移动式监测系统。该系统由无人机和监测终端组成。其中监测终端由ZedBoard硬件平台和PMS3OO3传感器组成,采用GPRS传输数据,并利用线性回归的方法进行矫正。采用无人机携带监测终端在工业园区进行测试,获取特定区域空气污染物时空分布特征,结果表明系统能够稳定工作。 展开更多
关键词 空气颗粒物浓度检测 移动式监测 无人机
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TFLite micro内存管理与分配策略的优化 被引量:2
6
作者 许鹏 宋岩 《单片机与嵌入式系统应用》 2022年第10期11-15,共5页
TFLite micro(TFLm)是当前在微控制器平台上流行的神经网络推理框架。本文分析了TFLm在推理模型时的内存管理机制与分配策略,以及其在使用内存时的局限性。当前TFLm仅支持使用单块内存(Tensor Arena)来保存模型推理所需的中间结果,本文... TFLite micro(TFLm)是当前在微控制器平台上流行的神经网络推理框架。本文分析了TFLm在推理模型时的内存管理机制与分配策略,以及其在使用内存时的局限性。当前TFLm仅支持使用单块内存(Tensor Arena)来保存模型推理所需的中间结果,本文扩展TFLm的内存管理以支持使用多块不连续且访问性能有巨大差异的内存,还给可以重叠的tensor分配相同的内存。通过这样的改进,既把数据流量更多地引到片上快速内存中,又降低了峰值内存的占用。通过在i.MX RT1170上的实验数据表明,本文策略对于含有快速片上RAM(以DTCM为代表)的微控制器,能大大提高片上快速RAM的利用率,显著缓解存储器带宽带来的瓶颈,使推理时间缩短至一半以上。 展开更多
关键词 TFLite micro TFLm TinyML Tensor Arena i.MX RT1170 DTCM
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微控制器平台低代码神经网络推理技术研究 被引量:2
7
作者 张岩 宋岩 《单片机与嵌入式系统应用》 2022年第10期7-10,共4页
基于微控制器平台的深度学习技术(TinyML)的兴起,意味着在广大嵌入式平台上部署人工智能的重大革新必将带来AIoT的发展。微控制器种类繁多,不同的芯片,其开发方式和基础API也各不相同,与PC端相比,模型的推理技术开发工作难度不小,需要... 基于微控制器平台的深度学习技术(TinyML)的兴起,意味着在广大嵌入式平台上部署人工智能的重大革新必将带来AIoT的发展。微控制器种类繁多,不同的芯片,其开发方式和基础API也各不相同,与PC端相比,模型的推理技术开发工作难度不小,需要具备一定的嵌入式开发经验。本文尝试将高级语言Python与微控制器结合,为入门开发者提供一套简单、可靠的开源低代码开发套件(名为“OpenART”),可以大大提高在微控制器上部署深度学习的开发效率、降低学习成本。 展开更多
关键词 OpenART TinyML i.MX RT 低代码推理技术
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城市噪声监测平台的设计与实现 被引量:2
8
作者 林麒光 陈一洲 +4 位作者 夏京 向超胜 朱向军 杭福兵 刘小峰 《电子测量技术》 2020年第3期170-174,共5页
城市噪声在不同程度上影响人们的日常生活。为了全面监测城市中的噪声,分析其时空分布特征及其类别,以便针对性实施治理,研发了一种基于公共移动载体上低成本综合监测终端与监测系统。城市噪声监测终端采用低成本开发板Sed Board为处理... 城市噪声在不同程度上影响人们的日常生活。为了全面监测城市中的噪声,分析其时空分布特征及其类别,以便针对性实施治理,研发了一种基于公共移动载体上低成本综合监测终端与监测系统。城市噪声监测终端采用低成本开发板Sed Board为处理单元,采用i436噪声传感器,该开发板上有板载的主控芯片Zynq-7000 ALL Programmable SoC集成ARMCortex-A9双核以及最多可达500万多个逻辑门的可编程逻辑单元能够灵活地用于各种目标应用,采用其ALSA音频架构实现噪声数据采集,利用ZedBoard自带网口将音频数据传输到pc端,在pc端通过基于PyTorch框架的声谱分析算法,将采集的噪声识别为载体噪声、交通噪声、商业噪声、生活噪声3类主要噪声,测试集上分类准确率为98.2700%。 展开更多
关键词 城市噪声 噪声分类 移动监测平台 卷积神经网络
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Functional Safety for Automotive Ethernet Networks 被引量:1
9
作者 Luc van Dijk Günter Sporer 《Journal of Traffic and Transportation Engineering》 2018年第4期176-182,共7页
In this paper,the need for functional safety in automotive Ethernet is investigated.For this the ISO26262 standard is used but also a comparison with legacy IVN(in-vehicle-networking)is made.In addition,an outlook of ... In this paper,the need for functional safety in automotive Ethernet is investigated.For this the ISO26262 standard is used but also a comparison with legacy IVN(in-vehicle-networking)is made.In addition,an outlook of future automotive networks is considered and investigated if this brings a further need for safety in automotive Ethernet.From these efforts,it was found that there are several drivers for safety in automotive Ethernet that especially hold for switches. 展开更多
关键词 AUTOMOTIVE ETHERNET FUNCTIONAL SAFETY fail OPERATIONAL ISO26262 NETWORK PMHF
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键合过程中金属间化合物形成区域的分布研究 被引量:2
10
作者 刘美 王志杰 +2 位作者 孙志美 牛继勇 徐艳博 《电子与封装》 2021年第8期34-47,共14页
近年来,在半导体集成电路封装工艺中,金线逐渐被铜线所取代,以获得更低的制造成本、更优异的电学/热学性能和更高的产品可靠性。然而,由于铜线比金线硬度高且易氧化,使得在焊线工艺中铜铝金属间化合物(Intermetallic Compound,IMC)没有... 近年来,在半导体集成电路封装工艺中,金线逐渐被铜线所取代,以获得更低的制造成本、更优异的电学/热学性能和更高的产品可靠性。然而,由于铜线比金线硬度高且易氧化,使得在焊线工艺中铜铝金属间化合物(Intermetallic Compound,IMC)没有传统的金铝金属间化合物致密度和覆盖率高,容易对焊盘下方的电路造成机械损伤,而疏松、低覆盖率的金属间化合物又会影响产品的耐氯腐蚀特性和产品可靠性,因此如何优化铜焊线工艺、提高铜铝间金属化合物的致密度和覆盖率变得非常重要。以CMOS 90 nm工艺测试芯片为研究对象,通过SEM、XRD等实验仪器,3D弹塑性耦合有限元分析、实验设计等研究方法,对铜铝金属间化合物的形成机理、相态分布和致密度进行了系统的研究。将焊线过程细分成冲击、成型、摩擦和键合4个阶段,对每个阶段的铜铝金属间化合物的相互作用机理及其关键影响参数进行了有限元分析和实验验证。最终建立了稳健、实用的铜线焊线工艺窗口,实现了高覆盖率、高致密度的铜铝金属间化合物,期间采用的分析方法和手段也为其他半导体芯片焊线工艺参数优化提供了理论和实践的指导。 展开更多
关键词 铜引线键合 金属间化合物 冲击力 成形力 摩擦力 键合力
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低功耗时钟树的结构分析和缓冲器优化 被引量:2
11
作者 戈喆 付娟 +3 位作者 王沛东 任力争 王志鸿 王丽英 《中国集成电路》 2018年第12期44-48,共5页
低功耗芯片设计的关键之一是低功耗时钟树设计。本文首先讲解了"时钟树消耗"概念作为评估低功耗时钟树水平的指标,然后提出了三种低功耗时钟树结构分析方法,分别是:基于子时钟树的"平衡缓冲器消耗"检查,时钟再汇聚... 低功耗芯片设计的关键之一是低功耗时钟树设计。本文首先讲解了"时钟树消耗"概念作为评估低功耗时钟树水平的指标,然后提出了三种低功耗时钟树结构分析方法,分别是:基于子时钟树的"平衡缓冲器消耗"检查,时钟再汇聚路径检查和时钟单元连接检查。通过这些方法,可以找到时钟树中的低效结构,改进时钟树功耗。最后,文章介绍了一种时钟树的直接优化方法,通过查找和删除冗余时钟缓冲器,改善时钟树效率、降低时钟树消耗。 展开更多
关键词 低功耗 时钟树 时钟树结构分析 时钟缓冲器优化
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智能家居无线控制照明系统的设计 被引量:2
12
作者 刘欢欢 《智能物联技术》 2023年第5期56-58,共3页
本文设计了一套智能家居无线遥控照明控制系统,以2.4G无线射频通讯为基础,通过遥控器控制接收器实现控制灯具开闭的功能。本设计包括遥控器和执行器两部分,执行器安装在照明灯具附近,遥控器供用户使用。每台执行器最多可以同时控制四路... 本文设计了一套智能家居无线遥控照明控制系统,以2.4G无线射频通讯为基础,通过遥控器控制接收器实现控制灯具开闭的功能。本设计包括遥控器和执行器两部分,执行器安装在照明灯具附近,遥控器供用户使用。每台执行器最多可以同时控制四路灯具,通过接收器的拨码开关配置不同的控制回路地址,遥控器具有匹配灯具地址定向控制的功能。 展开更多
关键词 智能家居 无线控制 照明系统 控制器
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铜引线键合中芯片焊盘裂纹成因及消除研究 被引量:1
13
作者 刘美 王志杰 +2 位作者 孙志美 牛继勇 徐艳博 《电子与封装》 2019年第11期14-21,共8页
由于铜线硬度大和0.18μm技术芯片的结构复杂,在电子封装铜引线键合的大批量生产中,铜引线键合后芯片的焊盘上容易出现裂纹,造成了严重的质量缺陷。基于0.18μm技术芯片,利用ASM引线键合机型,研究了焊盘上产生的裂纹典型形貌和消除方法... 由于铜线硬度大和0.18μm技术芯片的结构复杂,在电子封装铜引线键合的大批量生产中,铜引线键合后芯片的焊盘上容易出现裂纹,造成了严重的质量缺陷。基于0.18μm技术芯片,利用ASM引线键合机型,研究了焊盘上产生的裂纹典型形貌和消除方法。首先分析现有铜引线键合参数下的裂纹形貌作为对比基准,然后通过全因子实验设计(DOE)分析产生裂纹的主要参数,再通过微调不同的参数来降低裂纹数量以及最后消除裂纹。实验中收集的数据类型有引线键合后铜球直径的大小、拉球值、推球值、金属间化合物的覆盖率及裂纹数量等。实验结果表明:1)在铜引线键合过程中存在塑性形变,大的塑性形变能够促进裂纹的形成;2)影响裂纹产生的主要参数为铜引线键合中的超声波输出各阶段键合功率,包括待机功率、预键合功率、键合功率;3)在初始键合接触阶段,设置较大的搜索速度、接触阈值和初始键合压力都有利于裂纹的消除;4)在铜引线键合的预键合阶段,相关的摩擦运动参数,如预键合功率、预键合摩擦运动的周期数及幅度等参数设置过大,不利于裂纹的消除,反而使裂纹数量迅速增长。通过实验研究得出了消除电子封装铜引线键合中的0.18μm技术芯片焊盘上裂纹的途径,可为相关芯片的铜引线键合技术及产品生产提供参考。 展开更多
关键词 铜引线键合 超声波 塑性形变 裂纹
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MPC5675微控制器测试研究
14
作者 何灏 王爽 +1 位作者 彭文 刘诗琪 《中小企业管理与科技》 2017年第34期172-173,共2页
恩智浦(NXP)半导体公司设计生产的32位MPC5675芯片广泛用于汽车助力转向系统、先进驾驶辅助系统以及其他与汽车安全相关的设备中,为汽车安全提供了有力保障。芯片电路的高集成度给芯片测试带来更多的挑战。针对MPC5675芯片在温度测量模... 恩智浦(NXP)半导体公司设计生产的32位MPC5675芯片广泛用于汽车助力转向系统、先进驾驶辅助系统以及其他与汽车安全相关的设备中,为汽车安全提供了有力保障。芯片电路的高集成度给芯片测试带来更多的挑战。针对MPC5675芯片在温度测量模块测试和数模转换测试过程中出现的问题,分别采用温度测量值和室温参考值比对的方法和动态接触电阻测试的方法,优化测试程序,提高芯片良品率。该测试方案可用于MPC5675系列芯片测试中。 展开更多
关键词 MPC5675芯片 温度测量 模块测试 数模转换测试
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铝线楔形焊接工艺中铝屑的产生原因研究
15
作者 吴秀谦 李路 王鹤林 《山西冶金》 CAS 2022年第5期44-47,共4页
铝线超声楔形焊接中易产生铝屑,这会使相邻引线搭接而产生风险,从而引起器件短路,造成器件失效。针对该问题,对铝屑产生原因进行研究,发现铝屑主要是来自两方面:一是在完成管脚位置焊接后,焊接工具后移距离的大小会影响切割铝线后线尾... 铝线超声楔形焊接中易产生铝屑,这会使相邻引线搭接而产生风险,从而引起器件短路,造成器件失效。针对该问题,对铝屑产生原因进行研究,发现铝屑主要是来自两方面:一是在完成管脚位置焊接后,焊接工具后移距离的大小会影响切割铝线后线尾在劈刀楔形槽的形状,芯片键合位置处焊接前劈刀楔形槽内线尾直径的不一致(部分区域被拉伸变细)会导致在焊接过程中劈刀的楔形槽前角在变细铝线的坡度上产生纵向的摩擦,从而导致撕裂,形成侧边刺突铝屑;二是不同切刀刀锋设计会影响切槽处的铝屑堆积/撕裂状态,切槽处堆积的铝屑会被粘连到线尾,带有铝屑的线尾被焊接到芯片键合位置,从而造成芯片键合位置焊点的头部产生刺突铝屑。该研究结果可为解决铝屑问题、提高芯片封装的良品率提供理论和实践指导。 展开更多
关键词 集成电路封装 引线键合 铝线 超声楔形焊接 铝屑 劈刀 切刀
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元器件损伤以及失效风险评估
16
作者 Ray Thomas Paul Melville 《集成电路应用》 2008年第9期44-45,52,共3页
为了确定塑封微电路(PEM)在使用过程中是否会失效,首先在NXP实验室中采用声学成像方法检测封装内部像裂痕这样的缺陷。随后,元器件先后经历烘烤、浸湿、三次回流、电学测试、第二次声学成像以及物理检测。
关键词 风险评估 器件损伤 失效 物理检测 声学成像 塑封微电路 成像方法 实验室
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微量沉积氯对焊点腐蚀过程的影响
17
作者 刘美 王志杰 +2 位作者 徐艳博 孙志美 牛继勇 《电子与封装》 2023年第6期19-26,共8页
不同金属间存在电位差,被硫、氯等污染的焊点易产生原电池腐蚀,这将降低焊接产品的可靠性,缩短产品的寿命。因此,焊点的腐蚀问题受到人们的高度重视。以镀钯铜线的球栅阵列(BGA)产品为研究对象,通过能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、X射线... 不同金属间存在电位差,被硫、氯等污染的焊点易产生原电池腐蚀,这将降低焊接产品的可靠性,缩短产品的寿命。因此,焊点的腐蚀问题受到人们的高度重视。以镀钯铜线的球栅阵列(BGA)产品为研究对象,通过能谱仪(EDS)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等实验手段,首先分析了多焊点同时被氯腐蚀的影响因素,再将焊点表面划分为上表面、侧表面以及界面3个区域,并对各区域进行腐蚀分析和验证,最后得出氯腐蚀焊点的腐蚀机理。实验结果表明:1)氯腐蚀难易程度的主要影响因素为IMC的致密度和镀钯层上的铜露出面积,IMC的致密度越小,镀钯层上的铜露出面积越大,氯腐蚀越容易发生;2)焊点腐蚀路径表现为氯沿铜球表面向铜球与IMC的界面迁移的过程;3)焊点烘烤时间越短,焊点表层上钯的覆盖率越大,焊点被氯腐蚀的概率越低。 展开更多
关键词 沉积氯 烘烤时间 湿气 多焊点 原电池腐蚀
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在跌落撞击负载条件下的键合互连可靠性测试(英文)
18
作者 J.J.M. Zaal W.D. van Driel +1 位作者 H.P.Hochstenbachl G.Q.Zhang 《电子工业专用设备》 2008年第1期1-9,共9页
在大多数移动通信装置的寿命中最常见的故障是通过跌落撞击产生的。这是当今通过跌落撞击测试的方法测得的,该方法已经通过了JEDEC标准。然而这种方法相当耗时,且复验性方面还存在着一些问题。报道的研究是在与焊凸冷拉相关联的跌落撞... 在大多数移动通信装置的寿命中最常见的故障是通过跌落撞击产生的。这是当今通过跌落撞击测试的方法测得的,该方法已经通过了JEDEC标准。然而这种方法相当耗时,且复验性方面还存在着一些问题。报道的研究是在与焊凸冷拉相关联的跌落撞击测试情况下完成的,这两者之间可以替代。本研究方法旨在了解引起故障的机械负载,并不仅仅是适合于数据。因此,跌落撞击测试便成为一种模式并备用来验证这一模式的试验,它将成为未来的处理方式。完成的焊凸冷拉测试研究证实,该测试未将焊凸偏移至一种确定的故障模式,测试研究的结果以及有关焊凸的模拟情况一并作了阐述。两种测试似乎是测试了相同的现象,根据来自CBP(cold bump pull)的结果表明与跌落撞击测试的情况相同,但由于模拟和试验工作尚未完全结束,其中的详情暂无法提供。 展开更多
关键词 互连可靠性 PCB 跌落撞击测试 焊凸冷拉测试
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电动汽车电池管理系统主动均衡策略优化 被引量:4
19
作者 贾晓峰 刘晓杰 《中国汽车(中英文对照)》 2025年第2期119-123,共5页
电动汽车发展正处于快速增长阶段,由于电池生产工艺等问题导致的电池使用电压的不一致性,依旧是目前车载动力电池需要解决的关键问题。相比传统的被动均衡方案,主动均衡策略在解决该问题时,具有效率高、速度快、能量损失少等诸多优点。... 电动汽车发展正处于快速增长阶段,由于电池生产工艺等问题导致的电池使用电压的不一致性,依旧是目前车载动力电池需要解决的关键问题。相比传统的被动均衡方案,主动均衡策略在解决该问题时,具有效率高、速度快、能量损失少等诸多优点。本文通过系统梳理现行成熟的主动均衡方案,总结其优缺点,得出一种兼顾功能、实用性并实现成本优化的主动均衡方案。 展开更多
关键词 电动汽车 动力电池 电池管理系统 电池均衡
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A novel microscale selective laser sintering(μ-SLS)process for the fabrication of microelectronic parts 被引量:2
20
作者 Nilabh K.Roy Dipankar Behera +2 位作者 Obehi G.Dibua Chee S.Foong Michael A.Cullinan 《Microsystems & Nanoengineering》 EI CSCD 2019年第1期1-14,共14页
One of the biggest challenges in microscale additive manufacturing is the production of three-dimensional,microscale metal parts with a high enough throughput to be relevant for commercial applications.This paper pres... One of the biggest challenges in microscale additive manufacturing is the production of three-dimensional,microscale metal parts with a high enough throughput to be relevant for commercial applications.This paper presents a new microscale additive manufacturing process called microscale selective laser sintering(μ-SLS)that can produce true 3D metal parts with sub-5μm resolution and a throughput of greater than 60mm^(3)/hour.Inμ-SLS,a layer of metal nanoparticle ink is first coated onto a substrate using a slot die coating system.The ink is then dried to produce a uniform nanoparticle layer.Next,the substrate is precisely positioned under an optical subsystem using a set of coarse and fine nanopositioning stages.In the optical subsystem,laser light that has been patterned using a digital micromirror array is used to heat and sinter the nanoparticles into the desired patterns.This set of steps is then repeated to build up each layer of the 3D part in theμ-SLS system.Overall,this new technology offers the potential to overcome many of the current limitations in microscale additive manufacturing of metals and become an important process in microelectronics packaging applications. 展开更多
关键词 COATING PROCESS ADDITIVE
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