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高重频激光干扰伪随机码激光导引头试验研究
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作者 王灿召 王瀚 +2 位作者 张兵 张澍霖 曹祥杰 《激光与红外》 北大核心 2026年第2期227-231,共5页
为研究高重频激光对伪随机码激光半主动导引头干扰效能,在分析高重频激光干扰机理基础上,计算了不同干扰效果所需激光重复频率和到靶功率密度。研制最高重复频率20 MHz变频1064 nm激光器,开展了不同边界条件下的干扰试验。结果表明,干... 为研究高重频激光对伪随机码激光半主动导引头干扰效能,在分析高重频激光干扰机理基础上,计算了不同干扰效果所需激光重复频率和到靶功率密度。研制最高重复频率20 MHz变频1064 nm激光器,开展了不同边界条件下的干扰试验。结果表明,干扰激光到靶功率不低于目标指示器回波功率情况下,兆赫兹量级激光重复频率能够对导引头产生压制干扰,使其信息处理单元失效,该研究可为高重频激光干扰伪随机码激光制导武器提供工程应用参考。 展开更多
关键词 高重频 压制干扰 伪随机码 激光半主动导引头
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一种HTCC基板的微流道结构设计
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作者 王宁 黄志刚 +5 位作者 吴桂青 党军杰 李斌 汪旭 程凡 何仓宝 《半导体技术》 北大核心 2026年第2期200-204,共5页
随着集成电路向小型化、高集成度、高密度、大功率等方向发展,散热问题已成为制约其技术突破的关键因素。微流道散热技术因具备低热阻、高效率及可集成化等优势,已成为近年来快速发展的散热技术之一。设计了高温共烧陶瓷(HTCC)基板微流... 随着集成电路向小型化、高集成度、高密度、大功率等方向发展,散热问题已成为制约其技术突破的关键因素。微流道散热技术因具备低热阻、高效率及可集成化等优势,已成为近年来快速发展的散热技术之一。设计了高温共烧陶瓷(HTCC)基板微流道的有限元仿真模型;仿真分析了不同材料、结构、微流道宽度及入口流量等参数对基板散热性能的影响;基于AlN HTCC基板工艺,同时考虑入水口驱动泵的功率约束,制备了换层微流道结构。实验结果显示,换层微流道基板的仿真最高温度为46.94℃,实测最高温度为50.8℃,误差约为8.22%,满足400 W功率芯片的散热要求。 展开更多
关键词 微流道 AlN HTCC基板 热仿真 散热 低热阻
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一种动态精准的Flash型FPGA内核电源控制技术
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作者 马金龙 潘乐乐 +2 位作者 韦文勋 江少祥 于宗光 《半导体技术》 北大核心 2026年第3期263-269,共7页
为满足Flash型现场可编程门阵列(FPGA)在多工作模式下内核电源供电的安全性与可靠性需求,设计并实现了一种Flash型FPGA内核电源控制逻辑电路。该电路利用Flash器件的非易失特性集成状态记忆模块,精准识别FPGA的5种工作状态。通过动态控... 为满足Flash型现场可编程门阵列(FPGA)在多工作模式下内核电源供电的安全性与可靠性需求,设计并实现了一种Flash型FPGA内核电源控制逻辑电路。该电路利用Flash器件的非易失特性集成状态记忆模块,精准识别FPGA的5种工作状态。通过动态控制JD7节点电平,实现了内核电源的精准管理与电气隔离:在非用户模式下将JD7置为电源电压V_(CC),以消除信号冲突风险;在用户模式下切换为GND,建立完整的电源回路。电路在一款60万门规模的Flash型FPGA中集成验证,测试结果表明,在55~125℃范围内及±5%电源电压波动条件下,全片擦除后静态电流低至1 mA,用户模式下功能正确。本研究为高可靠Flash型FPGA提供了一种有效的内核电源管理解决方案,显著提升了芯片的鲁棒性。 展开更多
关键词 Flash型现场可编程门阵列(FPGA) 内核电源供电 电源控制电路 非易失存储 高可靠性
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石墨烯基散热材料在雷达上的应用现状与前景
4
作者 雷党刚 王涛 +1 位作者 孙艮芝 江海东 《电子工艺技术》 2026年第2期50-54,共5页
石墨烯有着极高的本征热导率、轻质性和良好的柔韧性,成为解决雷达散热难题的关键材料。描述了石墨烯散热片、导热垫等材料相较于传统导热硅脂、导热衬垫及液冷/风冷技术的性能优势。通过详实的数据对比,分析了石墨烯材料在雷达T/R组件... 石墨烯有着极高的本征热导率、轻质性和良好的柔韧性,成为解决雷达散热难题的关键材料。描述了石墨烯散热片、导热垫等材料相较于传统导热硅脂、导热衬垫及液冷/风冷技术的性能优势。通过详实的数据对比,分析了石墨烯材料在雷达T/R组件、天线阵面等核心部位的应用现状,并深入探讨了在导热涂料、复合材料制备及安装工艺方面的最新进展。对未来石墨烯散热材料在雷达领域的发展方向,包括大规模低成本制备、与液冷的融合应用以及多功能一体化设计等方面进行了展望。 展开更多
关键词 石墨烯 散热 热管理 相控阵雷达 T/R组件 热导率 导热材料
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AlN单晶片的单面机械抛光工艺研究
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作者 高飞 王英民 +2 位作者 程红娟 李晖 辛倩 《固体电子学研究与进展》 2026年第1期22-27,共6页
为了提升AlN单晶片在塑性去除模式下的加工效率,对AlN单晶的机械抛光工艺进行了系统试验。研究了磨盘材质、磨料粒径、研磨压力、研磨盘转速、磨盘开槽、磨料化学组分等工艺参数对AlN单晶片去除速率的影响规律。试验结果表明:树脂锡盘... 为了提升AlN单晶片在塑性去除模式下的加工效率,对AlN单晶的机械抛光工艺进行了系统试验。研究了磨盘材质、磨料粒径、研磨压力、研磨盘转速、磨盘开槽、磨料化学组分等工艺参数对AlN单晶片去除速率的影响规律。试验结果表明:树脂锡盘可以实现全塑性域加工;在采用树脂锡盘研磨时,随着金刚石粒径的增大,去除速率呈现了先增大后减小的趋势;树脂锡盘开槽平台宽度越小,去除速率越大且表面质量越好;通过在研磨液中添加三乙醇胺,可以通过促进AlN的水解反应提升去除速率。 展开更多
关键词 AlN单晶 机械抛光 材料去除速率 塑性去除 表面质量
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基于频偏矫正辅助的Starlink下行信号帧同步轻量化电路设计
6
作者 韩煜 周雪齐 沈雷 《电信科学》 北大核心 2026年第2期161-172,共12页
传统正交频分复用(orthogonal frequency division multiplexing,OFDM)帧同步方法,如基于前导序列、基于导频、基于深度学习的帧同步算法在面对Starlink高速率、高动态通信环境时局限于单路计算思路,且具有较多的资源消耗和较高的时钟... 传统正交频分复用(orthogonal frequency division multiplexing,OFDM)帧同步方法,如基于前导序列、基于导频、基于深度学习的帧同步算法在面对Starlink高速率、高动态通信环境时局限于单路计算思路,且具有较多的资源消耗和较高的时钟需求。而基于差分相移键控(symmetric differential phase shift keying,SDPSK)调制的多路并行帧同步算法虽然引入频偏矫正和本地前导序列相关使得性能上有所提升并降低了时钟需求,但加大了计算量和硬件资源占用。针对以上情况,基于Starlink公开前导结构,提出了四路并行的基于频偏矫正辅助的Starlink下行信号帧同步轻量化电路设计。首先,设计基于延时相关复用的轻量化粗帧同步和频偏估计结构使电路在频偏估计时不需要再次计算延时相关值。然后,提出基于四路并行直接数字式频率合成器(direct digital synthesizer,DDS)的轻量化频偏矫正模块避免单路信号在多路结构下变频时需要缓存。最后,设计基于符号相关和查找表复数乘法器的轻量化精帧同步结构减少了本地序列和信号相关的资源耗用,在保证性能的前提下使得查找表(look-up table,LUT)、查找表随机存取存储器(look-up table random access memory,LUTRAM)、触发器(flip-flop,FF)、块随机存取存储器(block random access memory,BRAM)资源分别节省了7%、2%、5%和8%。对电路编写verilog代码进行现场可编程门阵列(field programmable gate array,FPGA)实现,并通过Xilinx生产的xczu47dr芯片上板验证了其资源占用及性能表现。 展开更多
关键词 Starlink 帧同步 轻量化
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一种基于补偿板调节的照明均匀性校正方法
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作者 宫晨 高爱梅 +1 位作者 付纯鹤 刘士超 《电子工业专用设备》 2026年第1期23-27,共5页
图形成像技术是半导体制造的核心工艺,其照明均匀性直接影响晶圆表面特征尺寸的一致性(CDU)。传统静态滤波板法因无法适应多光瞳模式动态调节,难以满足先进制程需求。为此,提出一种动态校正方法,通过构建补偿板位置与光强分布的数学模型... 图形成像技术是半导体制造的核心工艺,其照明均匀性直接影响晶圆表面特征尺寸的一致性(CDU)。传统静态滤波板法因无法适应多光瞳模式动态调节,难以满足先进制程需求。为此,提出一种动态校正方法,通过构建补偿板位置与光强分布的数学模型,结合线性插值算法与迭代优化策略,实现了多光瞳模式下的自适应均匀性控制。实验表明该方法可将晶圆面照明狭缝内的均匀性指标提高到0.6%以下,为高精度成像系统的均匀性控制提供了理论框架与工程实践方法。 展开更多
关键词 照明均匀性 光瞳 动态校正
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LPCVD磷掺杂多晶硅及退火工艺
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作者 王敬轩 商庆杰 宋洁晶 《电子工艺技术》 2026年第2期16-19,共4页
磷掺杂多晶硅工艺在微机械加工技术(Micro-Electron-Mechanical System,MEMS)中有广泛的应用。磷掺杂多晶硅工艺一般采用低压化学气相淀积(LPCVD)的方式进行生长,通过调整生长温度、气体流量、退火温度等参数实现对薄膜性能的调整。通... 磷掺杂多晶硅工艺在微机械加工技术(Micro-Electron-Mechanical System,MEMS)中有广泛的应用。磷掺杂多晶硅工艺一般采用低压化学气相淀积(LPCVD)的方式进行生长,通过调整生长温度、气体流量、退火温度等参数实现对薄膜性能的调整。通过开展相关工艺试验,研究了磷掺杂多晶硅生长工艺中关键工艺参数的影响,得到了适用于MEMS技术应用的工艺条件。同时对掺杂多晶硅退火温度与薄膜应力的关系进行了研究,可以将退火温度调整应用于调整MEMS工艺圆片翘曲中,应用于MEMS工艺生产。 展开更多
关键词 磷掺杂多晶硅 微机械加工技术 薄膜应力
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Q/V频段卫通地面站天线技术研究进展与分析
9
作者 张强 张一凡 《通信技术》 2026年第1期9-15,共7页
随着卫星通信向高通量、低时延方向演进,Q/V频段由于具有带宽高、抗干扰性强和高波束定向性的优势,将成为高通量卫星通信系统的核心频段。研究了Q/V频段反射面天线系统的主要组成与技术特性,总结了该频段国内外卫星组网发射、天线结构... 随着卫星通信向高通量、低时延方向演进,Q/V频段由于具有带宽高、抗干扰性强和高波束定向性的优势,将成为高通量卫星通信系统的核心频段。研究了Q/V频段反射面天线系统的主要组成与技术特性,总结了该频段国内外卫星组网发射、天线结构、跟踪接收、功率放大等器件领域的研究及应用进展,重点分析了高频段天线设计面临的关键技术挑战,包括路径损耗和雨衰、制造精度、稳定性等。此外,还探讨了各项技术发展的趋势,提出了未来重点研究和应用方向,包括新型材料应用、高集成度制造工艺优化、与6G技术融合等。通过研究国内外技术进展与应用动态,为该领域的技术研究和应用提供参考。 展开更多
关键词 Q/V频段 天线 高通量卫星通信 雨衰 星座
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基于异构计算的航天测控数传基带架构设计
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作者 孟景涛 成亚勇 +2 位作者 田之俊 刘云杰 邢翠柳 《航天技术与工程学报》 2026年第1期71-81,共11页
随着我国低轨星座规模的扩大,地面测控数传基带需应对更大处理规模、更高通用性与更强扩展性的挑战。为了构建一个高效、灵活、可扩展的异构计算系统,以满足当前测控数传基带的发展要求,在借鉴目前云计算领域对计算资源的调度管理及异... 随着我国低轨星座规模的扩大,地面测控数传基带需应对更大处理规模、更高通用性与更强扩展性的挑战。为了构建一个高效、灵活、可扩展的异构计算系统,以满足当前测控数传基带的发展要求,在借鉴目前云计算领域对计算资源的调度管理及异构算力发展现状分析的基础上,围绕CPU+GPU+FPGA异构通用计算平台,开展基带信号处理架构研究,该架构设计使用统一资源管理模型对多类型计算资源进行动态调度与协同,支持集群管理并具备良好的跨平台部署能力,且能依据不同场景灵活配置资源以提升性能与能效。试验验证表明,这种基于异构计算的基带信号处理架构能够满足各类测控数传任务体制场景下的通用性和扩展性需求,具备良好的工程应用前景,为未来测控系统中异构计算资源的使用提供了可行的技术路径。 展开更多
关键词 测控数传基带 异构计算 GPU FPGA 信号处理 资源调度
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MANET-DTN混合路由技术的发展与应用研究
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作者 武明 许里 朱俊霏 《计算机应用文摘》 2026年第5期167-172,共6页
将移动自组网与容断/容迟网络相结合的混合路由技术,能够同时发挥两类网络的技术优势,在复杂、恶劣的无线网络环境中提供更优的通信性能。因此,该技术在拓扑结构复杂且高度动态的新兴车载自组网和飞行自组网中具有良好的应用前景。基于... 将移动自组网与容断/容迟网络相结合的混合路由技术,能够同时发挥两类网络的技术优势,在复杂、恶劣的无线网络环境中提供更优的通信性能。因此,该技术在拓扑结构复杂且高度动态的新兴车载自组网和飞行自组网中具有良好的应用前景。基于此,首先对现有移动自组网与容断/容迟网络混合路由技术的研究成果进行系统归纳与分析,提炼其在不同网络场景下的性能优化目标与核心实现方法;其次,结合车载自组网和飞行自组网的网络特征,提出混合路由技术在上述典型场景中的具体应用策略。 展开更多
关键词 移动自组网 容断/容迟网络 混合路由
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高阻Si衬底上预铺Al工艺对GaN材料晶体质量和射频损耗影响研究
12
作者 杨乾坤 彭大青 +3 位作者 李传皓 张东国 王克超 李忠辉 《固体电子学研究与进展》 2026年第1期6-10,共5页
采用金属有机化学气相沉积(Metal-organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术在高阻Si(111)衬底上生长了氮化物材料,研究衬底的预铺Al工艺对衬底表面形貌、氮化镓结晶质量及射频损耗等的影响。结果表明,采用低温低流量长时间的预铺A... 采用金属有机化学气相沉积(Metal-organic chemical vapor deposition,MOCVD)技术在高阻Si(111)衬底上生长了氮化物材料,研究衬底的预铺Al工艺对衬底表面形貌、氮化镓结晶质量及射频损耗等的影响。结果表明,采用低温低流量长时间的预铺Al工艺,抑制了表面Al聚集物的形成,减少了AlN表面坑,提升了Si衬底上GaN材料的晶体质量。基于优化的预铺Al工艺,GaN(002)/(102)半高宽达到391 arcsec/510 arcsec,5 GHz下射频损耗为0.16 dB/mm,25 GHz下射频损耗为0.37 dB/mm。 展开更多
关键词 硅基氮化镓 预铺铝 射频损耗 晶体质量
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RF CMOS、BiCMOS的新进展(五)——移相器、RF开关、集成无源元件和相控阵
13
作者 李永 赵正平 《半导体技术》 北大核心 2026年第1期1-12,共12页
当今信息社会已进入通用人工智能时代,大数据呈指数规律增长,不但要求数据处理速度高速增长,同时也要求数据的传输带宽更宽,推动数据载波的频率向射频(RF)的高端发展。Si基RF CMOS和RF BiCMOS集成电路(IC)具有体积小、功耗低、易于集成... 当今信息社会已进入通用人工智能时代,大数据呈指数规律增长,不但要求数据处理速度高速增长,同时也要求数据的传输带宽更宽,推动数据载波的频率向射频(RF)的高端发展。Si基RF CMOS和RF BiCMOS集成电路(IC)具有体积小、功耗低、易于集成等优点,相应呈现高速发展的态势。综述了Si基RF CMOS和RF BiCMOS的最新进展和发展态势,主要包括低噪声放大器与接收前端,射频-直流整流器与射频能量收集器,功率放大器、RF信号放大器与发射机,振荡器、混频器与频率综合器,移相器、开关、集成无源元件和相控阵,RF专用集成电路(ASIC)和微系统集成等七个RF IC发展的主要方面,凝练了各类RF IC的发展趋势和关键技术创新点。 展开更多
关键词 射频(RF)CMOS RF BiCMOS 放大器 收/发机 RF能量收集器 压控振荡器 频率综合器 移相器 相控阵 微系统集成`
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RF CMOS、BiCMOS的新进展(五)——移相器、RF开关、集成无源元件和相控阵(续)
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作者 李永 赵正平 《半导体技术》 北大核心 2026年第2期109-118,共10页
当今信息社会已进入通用人工智能时代,大数据呈指数规律增长,不但要求数据处理速度高速增长,同时也要求数据的传输带宽更宽,推动数据载波的频率向射频(RF)的高端发展。Si基RF CMOS和RF BiCMOS集成电路(IC)具有体积小、功耗低、易于集成... 当今信息社会已进入通用人工智能时代,大数据呈指数规律增长,不但要求数据处理速度高速增长,同时也要求数据的传输带宽更宽,推动数据载波的频率向射频(RF)的高端发展。Si基RF CMOS和RF BiCMOS集成电路(IC)具有体积小、功耗低、易于集成等优点,相应呈现高速发展的态势。综述了Si基RF CMOS和RF BiCMOS的最新进展和发展态势,主要包括低噪声放大器与接收前端,射频-直流整流器与射频能量收集器,功率放大器、RF信号放大器与发射机,振荡器、混频器与频率综合器,移相器、开关、集成无源元件和相控阵,RF专用集成电路(ASIC)和微系统集成等七个RF IC发展的主要方面,凝练了各类RF IC的发展趋势和关键技术创新点。 展开更多
关键词 射频(RF)CMOS RF BiCMOS 放大器 收/发机 RF能量收集器 压控振荡器 频率综合器 移相器 相控阵 微系统集成
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RF CMOS、BiCMOS的新进展(六)——RF ASIC和微系统集成
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作者 李永 赵正平 《半导体技术》 北大核心 2026年第3期205-214,共10页
当今信息社会已进入通用人工智能时代,大数据呈指数规律增长,不但要求数据处理速度高速增长,同时也要求数据的传输带宽更宽,推动数据载波的频率向射频(RF)的高端发展。Si基RF CMOS和RF BiCMOS集成电路(IC)具有体积小、功耗低、易于集成... 当今信息社会已进入通用人工智能时代,大数据呈指数规律增长,不但要求数据处理速度高速增长,同时也要求数据的传输带宽更宽,推动数据载波的频率向射频(RF)的高端发展。Si基RF CMOS和RF BiCMOS集成电路(IC)具有体积小、功耗低、易于集成等优点,相应呈现高速发展的态势。综述了Si基RF CMOS和RF BiCMOS的最新进展和发展态势,主要包括低噪声放大器与接收前端,射频-直流整流器与射频能量收集器,功率放大器、RF信号放大器与发射机,振荡器、混频器与频率综合器,移相器、开关、集成无源元件和相控阵,RF专用集成电路(ASIC)和微系统集成等七个RF IC发展的主要方面,凝练了各类RF IC的发展趋势和关键技术创新点。 展开更多
关键词 射频(RF)CMOS RF BiCMOS 放大器 收/发机 RF能量收集器 压控振荡器 频率综合器 移相器 相控阵 微系统集成
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有刷直流电机换向片间短路故障数值仿真分析与实验
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作者 陈辰 徐金燕 李志鹏 《微特电机》 2026年第3期37-41,47,共6页
针对有刷电机开展了故障模式分析,为得到换向片间短路故障模式下电机的特征量,本文主要对有刷直流电机的电磁场进行了计算和分析,建立了有刷直流电机瞬态电磁场二维求解模型,基于有限元方法分析了电机的电磁场,得到了电机在正常状态不... 针对有刷电机开展了故障模式分析,为得到换向片间短路故障模式下电机的特征量,本文主要对有刷直流电机的电磁场进行了计算和分析,建立了有刷直流电机瞬态电磁场二维求解模型,基于有限元方法分析了电机的电磁场,得到了电机在正常状态不同工况下的电流转速曲线,将仿真值与实测值比较,误差在5%以内,验证了所采用方法的准确性和有效性。仿真计算了电机在换向片间短路状态不同工况下的电流转速曲线,得到了有刷电机在发生换向片间短路时电流和转速的特征,即电机电流会出现阶跃上升,转速基本不变。为有刷直流电机在线监测和故障诊断的研究提供支撑,为类似工程应用提供参考。 展开更多
关键词 有刷直流电机 换向片间短路 瞬态电磁场
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高能激光系统靶上跟踪精度测试影响因素研究
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作者 张春仙 解一文 +3 位作者 李松山 唐晓军 王钢 刘磊 《激光与红外》 北大核心 2026年第1期50-53,共4页
靶上跟踪精度是评价高能激光系统作用效能的重要指标,高能激光系统跟踪精度一般在微弧级,对测试设备精度等提出了较高的要求。本文首先分析研究了测试设备、测试环境等测试条件对测试结果的影响,其次基于以上分析提出了提高测试精度的措... 靶上跟踪精度是评价高能激光系统作用效能的重要指标,高能激光系统跟踪精度一般在微弧级,对测试设备精度等提出了较高的要求。本文首先分析研究了测试设备、测试环境等测试条件对测试结果的影响,其次基于以上分析提出了提高测试精度的措施,最后分析计算了跟踪精度测试合成不确定度的构成。 展开更多
关键词 高能激光系统 阵列探测法 靶上跟踪精度
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LD侧泵Nd∶YAG吸收特性对光束均匀性的影响
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作者 王钰翔 王思博 +4 位作者 韩昌昊 方聪 魏磊 郭赞 王克强 《激光与红外》 北大核心 2026年第2期192-196,共5页
为实现均匀的激光输出,对吸收光场、增益场以及输出激光进行均匀性研究;本文从Nd∶YAG的吸收特性出发,通过晶体棒掺杂浓度以及温度两个方面改变吸收系数。仿真方面使用ZEMAX软件建立了LD侧面泵浦Nd∶YAG晶体棒的吸收光场模型,模拟不同... 为实现均匀的激光输出,对吸收光场、增益场以及输出激光进行均匀性研究;本文从Nd∶YAG的吸收特性出发,通过晶体棒掺杂浓度以及温度两个方面改变吸收系数。仿真方面使用ZEMAX软件建立了LD侧面泵浦Nd∶YAG晶体棒的吸收光场模型,模拟不同吸收系数下的吸收光场强度分布,对比分析了吸收系数对吸收光场分布的影响规律;实验方面测量不同吸收系数下晶体棒的增益分布对比验证仿真结果,并对输出激光的光束均匀性进行研究;结果得到了吸收系数与吸收光场、增益场以及输出激光均匀性之间的关系,随吸收系数增大中心强度逐渐下降,为实现高均匀性的大能量激光输出提供参考。 展开更多
关键词 激光器 固体激光 Nd∶YAG 吸收系数 增益分布 光束均匀性
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一种DC~40GHz低插入损耗GeTe相变开关
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作者 朱乃乾 廖龙忠 +2 位作者 侯钧杰 陈卓 张力江 《半导体技术》 北大核心 2026年第2期157-166,共10页
基于二极管等传统技术的射频(RF)开关在射频性能与可重构方面逐渐受到制约,基于GeTe薄膜材料设计并制备了一种四端口间接加热的低插入损耗GeTe相变开关。通过实验优化制备参数与退火参数,得到了方阻较低且组分稳定的高质量GeTe薄膜,其... 基于二极管等传统技术的射频(RF)开关在射频性能与可重构方面逐渐受到制约,基于GeTe薄膜材料设计并制备了一种四端口间接加热的低插入损耗GeTe相变开关。通过实验优化制备参数与退火参数,得到了方阻较低且组分稳定的高质量GeTe薄膜,其片内方阻在16Ω/□以下,有利于以此薄膜为基础制备低插入损耗的器件。针对GeTe薄膜易被传统剥离液腐蚀,导致薄膜质量大幅下降,进而影响相变开关直流与射频性能的问题,开发了一种适配GeTe材料的光刻胶剥离工艺,可确保薄膜不受影响。基于此进行工艺优化,制备了相变开关。测试结果显示,最小直流开态电阻约为2.5Ω,关断/开启电压典型值为6.5 V/3.8 V,插入损耗在DC~40 GHz范围内小于0.65 dB。 展开更多
关键词 GETE 射频(RF)开关 相变材料 薄膜制备 剥离工艺
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基于三维集成的Ku波段双面引出高功率T/R模块
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作者 程玺琮 周彪 +1 位作者 许向前 王子杰 《半导体技术》 北大核心 2026年第1期57-62,76,共7页
面向低剖面有源相控阵天线系统,基于三维集成技术研制了一款Ku波段双面引出四通道高功率收发(T/R)模块。模块通过多功能芯片集成技术实现大功率、高密度单层瓦式集成;设计了类同轴垂直互连结构,可通过球栅阵列实现双面对外信号互连,解... 面向低剖面有源相控阵天线系统,基于三维集成技术研制了一款Ku波段双面引出四通道高功率收发(T/R)模块。模块通过多功能芯片集成技术实现大功率、高密度单层瓦式集成;设计了类同轴垂直互连结构,可通过球栅阵列实现双面对外信号互连,解决了当前模块仅能单面互连的问题,并对关键结构进行电路分析及电磁仿真;为确保高输出功率工作,进行了散热设计和仿真验证。测试结果表明,在Ku波段发射通道饱和输出功率大于40 dBm,接收通道增益大于25 dB,噪声系数小于3.5 dB,模块尺寸仅为16.0 mm×16.0 mm×2.2 mm。 展开更多
关键词 收发(T/R)模块 KU波段 双面引出 高功率 三维集成
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