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Preface to the Special Issue on Advanced Analog and Mixed- Mode Integrated Circuits
1
作者 Baoyong Chi Nan Sun +1 位作者 Liyuan Liu Yan Lu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2020年第11期1-1,共1页
High performance analog and mixed signal circuits are strongly demanded in todays’system on chip systems.They found pervasive applications in A/D or D/A conversion,power management,radio frequency(RF)signal sensing a... High performance analog and mixed signal circuits are strongly demanded in todays’system on chip systems.They found pervasive applications in A/D or D/A conversion,power management,radio frequency(RF)signal sensing and processing,clock generation,etc.In this special issue,we collected 7 comprehensive reviews and 2 research articles from leading research groups,which presented state-of-art design techniques and insight forecast of development trend in this hot area. 展开更多
关键词 INSIGHT TODAY MIXED
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A NEW METHOD AND THEORETICAL ANALYSIS OF NUMERICAL ANALOG OF SEMICONDUCTOR DEVICE 被引量:16
2
作者 袁益让 丁兰英 杨洪 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1982年第7期790-795,共6页
In the numerical analog of semiconductor device the mathematical model is a set nonlinear equations. The equation of carrier transport:
关键词 ANALOG tward SATURATION 全一 口甲 甲加 illustrated DOWNWARD LIGHTING 口声
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A digital calibration technique for an ultra high-speed wide-bandwidth folding and interpolating analog-to-digital converter in 0.18-μm CMOS technology 被引量:4
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作者 余金山 张瑞涛 +5 位作者 张正平 王永禄 朱璨 张磊 俞宙 韩勇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期108-115,共8页
A digital calibration technique for an ultra high-speed folding and interpolating analog-to-digital con- verter in 0.18-μm CMOS technology is presented. The similar digital calibration techniques are taken for high 3... A digital calibration technique for an ultra high-speed folding and interpolating analog-to-digital con- verter in 0.18-μm CMOS technology is presented. The similar digital calibration techniques are taken for high 3-bit flash converter and low 5-bit folding and interpolating converter, which are based on well-designed calibration reference, calibration DAC and comparators. The spice simulation and the measured results show the ADC produces 5.9 ENOB with calibration disabled and 7.2 ENOB with calibration enabled for high-frequency wide-bandwidth analog input. 展开更多
关键词 ultra high-speed wide-bandwidth FOLDING interpolating analog-to-digital converter
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三维集成无源电路研究进展
4
作者 邓悦 王凤娟 +2 位作者 尹湘坤 杨媛 余宁梅 《电子与封装》 2026年第2期1-8,共8页
在射频系统不断发展的背景下,射频电路在移动通信、卫星发射以及工业自动化等领域得到了广泛的应用。然而,随着技术的进步,业界对设备性能的要求越来越高,导致传统的电路设计在满足系统对小型化、低损耗和高集成度的需求上显得捉襟见肘... 在射频系统不断发展的背景下,射频电路在移动通信、卫星发射以及工业自动化等领域得到了广泛的应用。然而,随着技术的进步,业界对设备性能的要求越来越高,导致传统的电路设计在满足系统对小型化、低损耗和高集成度的需求上显得捉襟见肘。因此,垂直互连技术作为三维集成电路的核心,已被研究人员广泛应用于集成各类射频电路模块。这一技术不仅有效缩小了移动通信等领域射频电路的占用面积,还为其后续发展开辟了新的可能性。主要介绍了基于三维集成的无源电路的研究进展,包括三维集成滤波器、耦合器、变压器和巴伦,并对各无源电路的发展现状和发展前景做了总结和展望。 展开更多
关键词 三维集成 射频系统 无源电路 垂直互连
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An ultra high-speed 8-bit timing interleave folding&interpolating analog-to-digital converter with digital foreground calibration technology
5
作者 张正平 王永禄 +5 位作者 黄兴发 沈晓峰 朱璨 张磊 余金山 张瑞涛 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期133-139,共7页
A 2-Gsample/s 8-b analog-to-digital converter in 0.35μm BiCMOS process technology is presented. The ADC uses the unique folding and interpolating algorithm and dual-channel timing interleave multiplexing technology t... A 2-Gsample/s 8-b analog-to-digital converter in 0.35μm BiCMOS process technology is presented. The ADC uses the unique folding and interpolating algorithm and dual-channel timing interleave multiplexing technology to achieve a sampling rate of 2 GSPS.Digital calibration technology is used for the offset and gain corrections of the S/H circuit,the offset correction of preamplifier,and the gain and clock phase corrections between channels.As a result of testing,the ADC achieves 7.32 ENOB at an analog input of 484 MHz and 7.1 ENOB at Nyquist input after the chip is self-corrected. 展开更多
关键词 ultra high-speed interpolation algorithm FOLDING analog-to-digital converter
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A 16 b 2 GHz digital-to-analog converter in 0.18 μm CMOS with digital calibration technology
6
作者 杨卫东 臧剑栋 +4 位作者 李铁虎 罗璞 蒲杰 张瑞涛 陈超 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第10期93-99,共7页
This paper presents a 16-bit 2 GSPS digital-to-analog converter (DAC) in 0.18/zm CMOS technology. This DAC is implemented using time division multiplex access system architecture in the digital domain. The input dat... This paper presents a 16-bit 2 GSPS digital-to-analog converter (DAC) in 0.18/zm CMOS technology. This DAC is implemented using time division multiplex access system architecture in the digital domain. The input data is received with a two-channel LVDS interface. The DLL technology is introduced to meet the timing requirements between phases of the LVDS data and the data sampling clock. A FIFO is designed to absorb the phase difference between the data clock and DAC system clock. A delay controller is integrated to adjust the phase relationship between the high speed digital clock and analog clock, obtaining a sampling rate of 2 GSPS. The current source mismatch at higher bits is calibrated in the digital domain. Test results show that the DAC achieves 74.02 dBC SFDR at analog output of 36 MHz, and DNL less than ±2.1 LSB & INL less than ±4.3 LSB after the chip is calibrated. 展开更多
关键词 digital-to-analog converter (DAC) time-interleaving configuration delay lock loop (DLL) digitalcalibration
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城市社区老年慢性病患者在地老化健康照护需求特征及影响因素
7
作者 纪小凤 李辉 +2 位作者 龚国梅 余标君 林正军 《中国临床护理》 2026年第2期73-79,共7页
目的探讨老年慢性病患者在地老化健康照护需求情况及影响因素,为制定针对性健康照护措施提供依据。方法2023年8月-2025年1月,采用一般资料调查表、在地老化健康照护服务需求问卷对1137例城市社区老年慢性病患者进行调查。结果老年慢性... 目的探讨老年慢性病患者在地老化健康照护需求情况及影响因素,为制定针对性健康照护措施提供依据。方法2023年8月-2025年1月,采用一般资料调查表、在地老化健康照护服务需求问卷对1137例城市社区老年慢性病患者进行调查。结果老年慢性病患者在地老化健康照护需求总分为(82.51±9.91)分。需求排名前10位的条目有6项属于生理维度,2项属于心理维度,2项属于社会维度。多元线性回归分析显示,居住地、婚姻状况、职业状态、宗教信仰、医疗费用支付方式、慢性病数量是老年慢性病患者在地老化健康照护需求的影响因素(R^(2)=0.125,调整后R^(2)=0.108,F=7.576,P<0.001)。结论老年慢性病患者在地老化健康照护需求主要集中在急救资源、健康筛查、医疗服务、运动设施及社会支持等方面,社区应综合考虑其生理、心理、社会需求,整合资源,完善在地老化健康照护服务体系,满足其需求。 展开更多
关键词 老年 慢性病 在地老化 健康照护需求 影响因素 调查研究
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STUDIES ON ANALOGS OF Qinghaosu——SOME ACIDIC DEGRADATIONS OF Qinghaosu
8
作者 李英 虞佩琳 +2 位作者 陈一心 张景丽 吴毓林 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1986年第15期1038-1041,共4页
Qinghaosu 1 isolated from Artemisia annua L. has attracted great interest in recent years owing to its unique chemical structure and potent antimalarial activity, especially against chloroquine-resistant faleiprum mal... Qinghaosu 1 isolated from Artemisia annua L. has attracted great interest in recent years owing to its unique chemical structure and potent antimalarial activity, especially against chloroquine-resistant faleiprum malaria. A series of studies have been carried out on its reactions, total synthesis and analogs.For preparation of more Qing- 展开更多
关键词 ANALOGS POTENT ARTEMISIA ALDEHYDE afford desirable SUBSTITUENT HEXANE methanol membered
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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
9
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 声表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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多晶硅发射极高速双极晶体管质子单粒子效应
10
作者 李培 韩承相 +4 位作者 何子杰 董志勇 何欢 贺朝会 魏佳男 《物理学报》 北大核心 2025年第14期316-323,共8页
随着半导体工艺的发展,具有深沟槽隔离(DTI)技术的双极晶体管因其优异的电气性能和隔离效果,逐步应用于性能和集成度要求更高的先进半导体器件.现有的双极晶体管单粒子效应研究表明,深沟槽隔离技术会导致双极器件产生新的单粒子效应机制... 随着半导体工艺的发展,具有深沟槽隔离(DTI)技术的双极晶体管因其优异的电气性能和隔离效果,逐步应用于性能和集成度要求更高的先进半导体器件.现有的双极晶体管单粒子效应研究表明,深沟槽隔离技术会导致双极器件产生新的单粒子效应机制.本文针对深沟槽隔离结构的多晶硅发射极双极晶体管,开展了质子入射角度对其单粒子效应的影响研究.实验结果表明,质子入射角度会显著影响晶体管集电极的单粒子瞬态电压脉冲振幅.利用Sentaurus TCAD软件模拟了多晶硅发射极双极晶体管的单粒子效应电荷收集过程,根据模拟结果分析了深沟槽隔离器件的灵敏体积,并基于Geant4蒙特卡罗模拟方法开展了质子不同角度入射深沟槽器件灵敏体积的模拟.结果表明,次级离子在灵敏体积内的积分截面会随着入射角度的增加而增大,为深沟槽隔离双极晶体管的单粒子效应抗辐射加固提供了理论支撑. 展开更多
关键词 深沟槽隔离 质子单粒子效应 TCAD数值模拟 Geant4粒子仿真
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基于压电复合单晶薄膜衬底的B25 SAW双工器性能研究
11
作者 陆川 褚梦群 +3 位作者 杜雪松 蒋小龙 潘祺 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期688-692,共5页
针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分... 针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分别进行了拓扑结构设计;最后通过实测对比了两种不同切型POI衬底的B25双工器电性能参数。结果显示,在其他指标相当的情况下,相较于50°LT-POI,采用42°LT-POI衬底的B25双工器具有更优的远端抑制性能。 展开更多
关键词 POI衬底 B25 SAW双工器
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高速低消耗数字插值滤波器设计
12
作者 姚亚峰 王桐 +1 位作者 徐洋洋 辛拯宇 《湖南大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第6期195-202,共8页
针对传统数字插值滤波器硬件资源消耗大、工作速度慢等问题,提出一种基于运算资源复用的改进数字插值滤波器的设计方法.该方法在多相数字插值滤波器的基础上,对滤波器架构进行了优化,实现核心运算资源的复用,可以明显降低电路资源消耗... 针对传统数字插值滤波器硬件资源消耗大、工作速度慢等问题,提出一种基于运算资源复用的改进数字插值滤波器的设计方法.该方法在多相数字插值滤波器的基础上,对滤波器架构进行了优化,实现核心运算资源的复用,可以明显降低电路资源消耗和功耗.提出的新型构架滤波器采用FPGA平台进行了原型验证,并与传统插值滤波器、多路并行插值滤波器和多相插值滤波器进行了对比.结果表明,改进滤波器所占用寄存器数量较传统结构减少65%,较多路并行结构减少73%,较多相结构减少28%;最大工作时钟频率较传统结构提升129%,较多路并行结构提升13.8%,功耗也要低于传统结构、多路并行结构,更适合高速、低消耗等应用场景. 展开更多
关键词 插值 数字滤波器 现场可编程门阵列(FPGA) 数模转换器 数字上变频
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基于阻抗补偿技术的毫米波超宽带功分器 被引量:1
13
作者 卢启军 韩大伟 +2 位作者 张浩 张涛 朱樟明 《电子学报》 北大核心 2025年第1期112-118,共7页
针对宽带功率分配器面积大、回波损耗差等问题,本文提出了一款基于阻抗补偿技术的毫米波超宽带威尔金森功率分配器.在传统集总功分器输出端口添加并联LC谐振网络,可以补偿功分器的输入和输出阻抗并引入额外的匹配和无损耗频率点,进而有... 针对宽带功率分配器面积大、回波损耗差等问题,本文提出了一款基于阻抗补偿技术的毫米波超宽带威尔金森功率分配器.在传统集总功分器输出端口添加并联LC谐振网络,可以补偿功分器的输入和输出阻抗并引入额外的匹配和无损耗频率点,进而有效地提高功分器的分数带宽.提出的功率分配器采用65 nm互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)工艺设计并测试验证,核心面积紧凑,仅有0.021 mm2.测试结果表明,该功分器的插入损耗为1.35~1.55 dB,0.2-dB幅度带宽为44~96 GHz,输入输出回波损耗和隔离性能在整个工作频段内均优于11 dB.与已发布的毫米波功率分配器相比,提出的功率分配器在保持良好端口匹配的同时实现了较高的幅度带宽. 展开更多
关键词 威尔金森功率分配器 集总电路 超宽带 阻抗补偿技术 谐振网络
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硅基集成电路的机械应力测试概述
14
作者 刘勇 谭磊 +7 位作者 徐侧茗 肖添 刘登华 兰贵明 施杨剑 刘建 李航 王淼 《微电子学》 北大核心 2025年第4期617-626,共10页
随着集成电路集成密度越来越高,在制造和封装过程中积累的机械应力对器件电性能产生了显著影响,因此检测应力对改进与优化工艺特别重要。文章系统介绍了利用硅压阻效应测试封装应力的理论与发展状况,探讨了在芯片制造阶段利用压阻效应通... 随着集成电路集成密度越来越高,在制造和封装过程中积累的机械应力对器件电性能产生了显著影响,因此检测应力对改进与优化工艺特别重要。文章系统介绍了利用硅压阻效应测试封装应力的理论与发展状况,探讨了在芯片制造阶段利用压阻效应通过PCM来测试圆片应力的可行性,取得了初步的试验结果。试验表明十元单极传感器的n型压阻系数灵敏度比八元双极的n型压阻系数灵敏度高,十元单极结构用于应力测试的误差可能更大。后续可开展应力测试准确性的评价方法研究。 展开更多
关键词 机械应力 制造 封装 压阻效应 PCM 圆片
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基于GaN的高频高功率密度混合集成电源设计 被引量:3
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作者 朱伟龙 王鹏 +1 位作者 郑辰雅 孙鹏飞 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第3期102-109,共8页
混合集成DC-DC变换器因其工作温度范围宽和长期可靠性高在苛刻环境及高可靠需求应用场景中得到广泛应用。基于GaNHEMT器件优异的高频低损耗特性,结合有源箝位软开关拓扑、混合集成微组装技术和高载流低热阻气密封装技术,设计了一款28V... 混合集成DC-DC变换器因其工作温度范围宽和长期可靠性高在苛刻环境及高可靠需求应用场景中得到广泛应用。基于GaNHEMT器件优异的高频低损耗特性,结合有源箝位软开关拓扑、混合集成微组装技术和高载流低热阻气密封装技术,设计了一款28V输入、5V/20A输出的混合集成DC-DC变换器。该变换器开关频率800kHz,峰值效率达92%。详细阐述了有源箝位功率电路设计、GaNHEMT驱动电路寄生参数与震荡电压控制、同步整流时序与死区时间优化、厚膜混合集成工艺及散热的设计方法和技术细节,并通过仿真与样机实验,验证和展示了GaNHEMT和混合集成电路在高功率密度和高效率方面的优势。 展开更多
关键词 混合集成电路 有源箝位正激 氮化镓 同步整流 高可靠
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压电晶圆厚度对声表面波器件性能的影响及改进方法研究
16
作者 何成勇 褚梦群 +6 位作者 谭发曾 胡明浪 谭瑞 陈文远 张幸 罗鸿飞 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期234-237,共4页
钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 m... 钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 mm厚的LT,采用0.25 mm厚LT的SAW滤波器性能有所降低。针对该问题,首先建立了含封装粘片胶的电磁仿真模型,分别仿真了两种厚度(0.35 mm、0.25 mm)的压电基底在不同粘片胶厚度条件下的电磁特性;然后结合电磁、声学联合仿真优化了粘片胶的厚度,进而提升了SAW滤波器的仿真性能。实验结果表明,通过优化粘片胶厚度,可使0.25 mm厚LT滤波器的性能优于0.35 mm厚LT滤波器,满足器件指标要求,该方案可推广至其他压电晶圆的SAW器件。 展开更多
关键词 封装粘片胶 声表面波滤波器 电磁仿真 钽酸锂
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基于Mextram的可缩放的双极晶体管模型
17
作者 刘娇 韩卫敏 +3 位作者 王磊 张新宇 王桢 谭星宇 《微电子学》 北大核心 2025年第4期655-663,共9页
基于标准的Mextram双极器件紧凑模型,根据双极NPN晶体管的结构,分析器件模型参数与发射极长度和宽度等几何尺寸的关系,引入多个尺寸相关的系数,对相关的模型参数进行了修正,建立了一种可缩放的双极器件模型。经过多套双极工艺的实际验证... 基于标准的Mextram双极器件紧凑模型,根据双极NPN晶体管的结构,分析器件模型参数与发射极长度和宽度等几何尺寸的关系,引入多个尺寸相关的系数,对相关的模型参数进行了修正,建立了一种可缩放的双极器件模型。经过多套双极工艺的实际验证,结果表明提出的修正模型具有良好的尺寸缩放功能,对不同尺寸的双极晶体管的拟和误差都比使用比例因子的方法大幅减小,对双极电路设计仿真具有很好的应用价值。 展开更多
关键词 双极器件 Mextram 紧凑模型 尺寸缩放
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压力传感器精度的综述 被引量:1
18
作者 Stefan Falk 施林生(译) 《传感器世界》 2025年第5期6-10,共5页
在为特定应用选择合适传感器时,理解传感器误差的产生原因并明确应用中哪些误差是主要的、哪些是可忽略的,这一点至关重要。用户在采购传感器时通常只是询问传感器的精度是多少,然而,这种做法存在显著认知误区。由于传感器精度这个概念... 在为特定应用选择合适传感器时,理解传感器误差的产生原因并明确应用中哪些误差是主要的、哪些是可忽略的,这一点至关重要。用户在采购传感器时通常只是询问传感器的精度是多少,然而,这种做法存在显著认知误区。由于传感器精度这个概念不是标准用语,所以每个人都按照自己认为合适的方式来使用这个词。尽管传感器的制造商提供了传感器的众多相关数据,但是对传感器产品进行各种有意义的比较就变成了一个繁复的计算工作,然而用户只是想知道在具体测量中会出现什么问题,会产生多大误差。本文将对硅压阻式压力传感器方面的误差和所谓的精度关系进行讨论。 展开更多
关键词 线性 重复性 迟滞 温度漂移 精度 综合误差 压力传感器
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基于玻璃通孔互连技术的集成无源器件发展
19
作者 刘晓贤 廖立航 朱樟明 《电子与封装》 2025年第7期35-43,共9页
基于硅通孔的三维集成技术虽然能够提高数据传输带宽与集成度,并且在尺寸、兼容性、性能等方面具有突出优点,但也面临着高频损耗大、工艺成本高等重大挑战,因此非常有必要探索基于新的基板材料的毫米波电路与系统集成技术。玻璃或石英... 基于硅通孔的三维集成技术虽然能够提高数据传输带宽与集成度,并且在尺寸、兼容性、性能等方面具有突出优点,但也面临着高频损耗大、工艺成本高等重大挑战,因此非常有必要探索基于新的基板材料的毫米波电路与系统集成技术。玻璃或石英材料能克服硅基板的高频损耗等缺陷,是当前较理想的基板材料。与硅基板相比,玻璃基板作为低介绝缘体,可直接与金属导体接触而不需要绝缘的隔离介质层,其工艺复杂度与成本显著降低,高频电学特性更加稳定,热膨胀系数与硅基板相似,在与硅基芯片键合时产生的热应力较小,进而降低了翘曲、焊点失效等问题,提高了三维封装的可靠性,因此基于玻璃转接板的毫米波集成无源器件(IPD)在保持低成本的同时还能够实现良好的电学特性。介绍了国内基于玻璃通孔技术的三维集成无源器件发展情况,以及随着玻璃通孔技术的发展和孔径尺寸的减小,寄生参数对信号传输的影响。 展开更多
关键词 玻璃通孔 三维集成 集成无源器件 射频前端
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基于硅通孔的双螺旋嵌套式高密度电感器三维结构及解析模型
20
作者 尹湘坤 马翔宇 王凤娟 《电子与封装》 2025年第9期63-68,共6页
为了满足射频系统微型化、集成化发展对无源电感器在高电感密度、硅基三维集成等方面的需求,基于硅通孔技术提出了一种硅基三维集成的高密度电感结构,并建立了精确的电感解析模型。该结构采用硅通孔和重布线层的三维嵌套实现了多个螺旋... 为了满足射频系统微型化、集成化发展对无源电感器在高电感密度、硅基三维集成等方面的需求,基于硅通孔技术提出了一种硅基三维集成的高密度电感结构,并建立了精确的电感解析模型。该结构采用硅通孔和重布线层的三维嵌套实现了多个螺旋层的叠加,利用螺旋层之间的磁场耦合增强了硅衬底三维空间的磁场强度,实现了119.7 nH/mm^(2)的电感密度,通过减小平行金属的电场耦合长度降低了寄生电容,实现了~5 GHz的自谐振频率和高品质因数。所提出的电感解析模型与有限元仿真结果误差小于3.2%,证明了该模型的精确性。提出的双螺旋嵌套式电感器采用硅基三维集成结构实现,具有较高的电感密度和良好的宽频特性,为射频系统的无源电感微型化设计提供了重要解决方案。 展开更多
关键词 硅通孔 嵌套式电感器 双螺旋 三维集成电路
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