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单晶β相氧化镓晶片的生长和超精密加工:最新技术和前景
1
作者
张琨
张路驰
+4 位作者
刘平
陈天天
李天元
徐宗伟
程红娟
《人工晶体学报》
北大核心
2025年第11期1867-1880,共14页
β-Ga_(2)O_(3)作为超宽带隙半导体(带隙4.8~4.9 eV),凭借高Baliga性能因子、深紫外探测能力及抗辐射特性,成为功率电子器件、光电器件和核辐射探测器件的理想材料。本文系统综述了β-Ga_(2)O_(3)单晶生长与超精密加工的技术进展及未来...
β-Ga_(2)O_(3)作为超宽带隙半导体(带隙4.8~4.9 eV),凭借高Baliga性能因子、深紫外探测能力及抗辐射特性,成为功率电子器件、光电器件和核辐射探测器件的理想材料。本文系统综述了β-Ga_(2)O_(3)单晶生长与超精密加工的技术进展及未来挑战。单晶生长方面,导模法与垂直布里奇曼法已实现6英寸(1 inch=2.54 cm)晶圆量产,“铸造法”工艺制备8英寸晶圆技术达国际领先水平。掺杂策略(如Sn、Mg)可调控载流子浓度(10^(15)~10^(19)cm^(-3)),优化电学性能。针对材料的强各向异性和硬脆特性,多级研磨结合化学机械抛光(CMP)实现表面粗糙度(Ra)小于0.2 nm,大气等离子体刻蚀可进一步将Ra压缩至0.05 nm;超快激光加工结合液体辅助技术可制备无损伤微结构。未来需突破大尺寸晶体产率与表面缺陷控制,通过跨尺度损伤模型、原位监测及工艺优化,结合多场协同加工创新,推动β-Ga_(2)O_(3)在功率器件与深紫外探测领域的应用。
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关键词
β-Ga_(2)O_(3)
晶体生长
超精密加工
化学机械抛光
半导体材料
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职称材料
VR环境下基于多观测角度人眼成像特性的注视估计研究
被引量：
1
2
作者
牛锐
房丰洲
+2 位作者
任仲贺
侯高峰
李子豪
《现代电子技术》
北大核心
2024年第23期1-7,共7页
在虚拟现实(VR)的沉浸式场景中,基于先进的注视估计技术实现精确的注视点渲染,能够优化计算资源分配效率、缓解用户体验过程中可能产生的眩晕感。目前,可用的VR环境下的注视估计数据集只有单观测角度眼睛图像,缺乏不同观测角度的眼部图...
在虚拟现实(VR)的沉浸式场景中,基于先进的注视估计技术实现精确的注视点渲染,能够优化计算资源分配效率、缓解用户体验过程中可能产生的眩晕感。目前,可用的VR环境下的注视估计数据集只有单观测角度眼睛图像,缺乏不同观测角度的眼部图像数据集。文中构建了一个包含23 040张多观测角度眼睛图像的注视估计数据集与一个包含15 824张带有瞳孔标注的多观测角度眼睛图像的瞳孔检测数据集,并提出了一种结合多观测角度眼睛图像特征以相互补偿的多分支网络模型。将注视估计数据集样本用于模型的训练过程,预测欧氏距离损失可以达到7.68像素。进一步,将包含瞳孔位置信息的权重地图与图像融合,瞳孔位置信息的融合输入增强了模型的性能,欧氏距离损失降低到7.45像素。这项研究表明,所开发的模型能够提升VR环境下的注视估计精度,从而推动注视估计技术在VR产品中的广泛应用。
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关键词
注视估计
虚拟现实
卷积神经网络
多分支网络
特征融合
瞳孔检测
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职称材料
基于青光眼影像的人工智能辅助诊断技术及进展
被引量：
1
3
作者
李明远
房丰洲
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024年第14期9-20,共12页
人眼内异常的眼内压是青光眼的主要表现之一,而在疾病的早期阶段患者并没有感到明显不适,往往难以及时发现,如果该疾病未得到及时治疗,则可能导致完全失明。青光眼的早期诊断可以有效预防永久性视力丧失,临床上人工检查是一种可行的解...
人眼内异常的眼内压是青光眼的主要表现之一,而在疾病的早期阶段患者并没有感到明显不适,往往难以及时发现,如果该疾病未得到及时治疗,则可能导致完全失明。青光眼的早期诊断可以有效预防永久性视力丧失,临床上人工检查是一种可行的解决方案,但这不仅费时费力,而且要求医生具备专门的知识和经验。现有的研究成果表明,将人工智能技术整合到影像中预防和检测青光眼是高效、准确的。系统介绍基于人工智能的青光眼辅助诊断领域的最新进展,探讨各种已发表的算法模型,总结此类研究存在的问题及未来可能的研究方向,并对基于多模态评估的青光眼智能检测技术的研究现状与未来发展趋势进行详细和深入的评述。
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关键词
青光眼
深度学习
人工智能
光学相干断层扫描
眼底图像
视野
原文传递
题名
单晶β相氧化镓晶片的生长和超精密加工:最新技术和前景
1
作者
张琨
张路驰
刘平
陈天天
李天元
徐宗伟
程红娟
机构
山东农业
大学
机械与电子工程学院
天津大学
精密
测试
技术及
仪器
全国
重点
实验室
中国电子科技集团公司第四十六研究所
出处
《人工晶体学报》
北大核心
2025年第11期1867-1880,共14页
基金
山东省自然科学基金(ZR2024QE395)。
文摘
β-Ga_(2)O_(3)作为超宽带隙半导体(带隙4.8~4.9 eV),凭借高Baliga性能因子、深紫外探测能力及抗辐射特性,成为功率电子器件、光电器件和核辐射探测器件的理想材料。本文系统综述了β-Ga_(2)O_(3)单晶生长与超精密加工的技术进展及未来挑战。单晶生长方面,导模法与垂直布里奇曼法已实现6英寸(1 inch=2.54 cm)晶圆量产,“铸造法”工艺制备8英寸晶圆技术达国际领先水平。掺杂策略(如Sn、Mg)可调控载流子浓度(10^(15)~10^(19)cm^(-3)),优化电学性能。针对材料的强各向异性和硬脆特性,多级研磨结合化学机械抛光(CMP)实现表面粗糙度(Ra)小于0.2 nm,大气等离子体刻蚀可进一步将Ra压缩至0.05 nm;超快激光加工结合液体辅助技术可制备无损伤微结构。未来需突破大尺寸晶体产率与表面缺陷控制,通过跨尺度损伤模型、原位监测及工艺优化,结合多场协同加工创新,推动β-Ga_(2)O_(3)在功率器件与深紫外探测领域的应用。
关键词
β-Ga_(2)O_(3)
晶体生长
超精密加工
化学机械抛光
半导体材料
Keywords
β-Ga_(2)O_(3)
crystal growth
ultra-precision machining
chemical mechanical polishing
semiconductor material
分类号
O782 [理学—晶体学]
O786 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
VR环境下基于多观测角度人眼成像特性的注视估计研究
被引量：
1
2
作者
牛锐
房丰洲
任仲贺
侯高峰
李子豪
机构
天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室微纳制造实验室
出处
《现代电子技术》
北大核心
2024年第23期1-7,共7页
基金
国家自然科学基金项目(52035009)。
文摘
在虚拟现实(VR)的沉浸式场景中,基于先进的注视估计技术实现精确的注视点渲染,能够优化计算资源分配效率、缓解用户体验过程中可能产生的眩晕感。目前,可用的VR环境下的注视估计数据集只有单观测角度眼睛图像,缺乏不同观测角度的眼部图像数据集。文中构建了一个包含23 040张多观测角度眼睛图像的注视估计数据集与一个包含15 824张带有瞳孔标注的多观测角度眼睛图像的瞳孔检测数据集,并提出了一种结合多观测角度眼睛图像特征以相互补偿的多分支网络模型。将注视估计数据集样本用于模型的训练过程,预测欧氏距离损失可以达到7.68像素。进一步,将包含瞳孔位置信息的权重地图与图像融合,瞳孔位置信息的融合输入增强了模型的性能,欧氏距离损失降低到7.45像素。这项研究表明,所开发的模型能够提升VR环境下的注视估计精度,从而推动注视估计技术在VR产品中的广泛应用。
关键词
注视估计
虚拟现实
卷积神经网络
多分支网络
特征融合
瞳孔检测
Keywords
gaze estimation
virtual reality
convolutional neural network
multi⁃branch network
feature fusion
pupil detection
分类号
TN911.73-34 [电子电信—通信与信息系统]
TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于青光眼影像的人工智能辅助诊断技术及进展
被引量：
1
3
作者
李明远
房丰洲
机构
天津大学
精密
测试
技术及
仪器
全国
重点
实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024年第14期9-20,共12页
基金
国家自然科学基金(52035009)。
文摘
人眼内异常的眼内压是青光眼的主要表现之一,而在疾病的早期阶段患者并没有感到明显不适,往往难以及时发现,如果该疾病未得到及时治疗,则可能导致完全失明。青光眼的早期诊断可以有效预防永久性视力丧失,临床上人工检查是一种可行的解决方案,但这不仅费时费力,而且要求医生具备专门的知识和经验。现有的研究成果表明,将人工智能技术整合到影像中预防和检测青光眼是高效、准确的。系统介绍基于人工智能的青光眼辅助诊断领域的最新进展,探讨各种已发表的算法模型,总结此类研究存在的问题及未来可能的研究方向,并对基于多模态评估的青光眼智能检测技术的研究现状与未来发展趋势进行详细和深入的评述。
关键词
青光眼
深度学习
人工智能
光学相干断层扫描
眼底图像
视野
Keywords
glaucoma
deep learning
artificial intelligence
optical coherence tomography
fundus image
visual field
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶β相氧化镓晶片的生长和超精密加工:最新技术和前景
张琨
张路驰
刘平
陈天天
李天元
徐宗伟
程红娟
《人工晶体学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
VR环境下基于多观测角度人眼成像特性的注视估计研究
牛锐
房丰洲
任仲贺
侯高峰
李子豪
《现代电子技术》
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于青光眼影像的人工智能辅助诊断技术及进展
李明远
房丰洲
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024
1
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