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Ambipolar performance improvement of the C-shaped pocket TFET with dual metal gate and gate–drain underlap
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作者 赵梓淼 陈子馨 +9 位作者 刘伟景 汤乃云 刘江南 刘先婷 李宣霖 潘信甫 唐敏 李清华 白伟 唐晓东 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期700-707,共8页
Dual-metal gate and gate–drain underlap designs are introduced to reduce the ambipolar current of the device based on the C-shaped pocket TFET(CSP-TFET).The effects of gate work function and gate–drain underlap leng... Dual-metal gate and gate–drain underlap designs are introduced to reduce the ambipolar current of the device based on the C-shaped pocket TFET(CSP-TFET).The effects of gate work function and gate–drain underlap length on the DC characteristics and analog/RF performance of CSP-TFET devices,such as the on-state current(I_(on)),ambipolar current(I_(amb)),transconductance(g_(m)),cut-off frequency(f_(T))and gain–bandwidth product(GBP),are analyzed and compared in this work.Also,a combination of both the dual-metal gate and gate–drain underlap designs has been proposed for the C-shaped pocket dual metal underlap TFET(CSP-DMUN-TFET),which contains a C-shaped pocket area that significantly increases the on-state current of the device;this combination design substantially reduces the ambipolar current.The results show that the CSP-DMUN-TFET demonstrates an excellent performance,including high I_(on)(9.03×10^(-4)A/μm),high I_(on)/I_(off)(~10^(11)),low SS_(avg)(~13 mV/dec),and low I_(amb)(2.15×10^(-17)A/μm).The CSP-DMUN-TFET has the capability to fully suppress ambipolar currents while maintaining high on-state currents,making it a potential replacement in the next generation of semiconductor devices. 展开更多
关键词 tunnel field effect transistor ambipolar current dual metal gate gate–drain underlap
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基于树脂传递模塑工艺的无人机板簧纺织复合材料研究
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作者 马晓 何婷婷 《合成材料老化与应用》 2025年第5期14-16,共3页
为提升无人机板簧纺织复合材料的力学性能,降低板簧质量,研究采用T800碳纤维替代传统的金属材料并通过树脂传递模塑工艺以层间交联的方式将碳纤维与树脂结合起来,进而制备出1/3衬经2.5D、普通衬经2.5D和1/3斜纹2.5D等3种不同结构的板簧... 为提升无人机板簧纺织复合材料的力学性能,降低板簧质量,研究采用T800碳纤维替代传统的金属材料并通过树脂传递模塑工艺以层间交联的方式将碳纤维与树脂结合起来,进而制备出1/3衬经2.5D、普通衬经2.5D和1/3斜纹2.5D等3种不同结构的板簧纺织复合材料。为验证以上3种材料的力学性能,从拉伸性能、压缩性能和弯曲性能3个方面对材料进行测试。根据试验结果可知,板簧纺织复合材料的内部结构与材料力学性能密切相关,其中结接纱和衬经纱可以承受较大的压缩应力和拉伸应力,将结接纱与衬经纱结合起来能够显著提升板簧纺织复合材料的力学性能。 展开更多
关键词 板簧纺织材料 层间交联 衬经纱线 力学性能
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考虑径向间隙与回油压力的对称均等正开口液压滑阀压力特性分析
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作者 陈景 潮群 +1 位作者 汪文涛 刘成良 《液压与气动》 北大核心 2025年第5期29-35,共7页
在考虑了回油压力和径向间隙的基础上,分别建立了匹配和不匹配对称均等正开口滑阀的无因次压力特性数学模型,得到了正开口滑阀的压力特性曲线,并与实验结果对比,分析了滑阀匹配性、回油压力和径向间隙对滑阀无因次压力特性数学模型精确... 在考虑了回油压力和径向间隙的基础上,分别建立了匹配和不匹配对称均等正开口滑阀的无因次压力特性数学模型,得到了正开口滑阀的压力特性曲线,并与实验结果对比,分析了滑阀匹配性、回油压力和径向间隙对滑阀无因次压力特性数学模型精确度的影响。结果表明:当数学模型忽略滑阀不匹配性、回油压力和径向间隙时,最大计算误差分别为27%、16%和6.5%,零位计算误差分别为27%、7%和2%。在阀芯移动超过75%正开口量时,忽略径向间隙会增大A、B口压力计算误差。在正开口量范围内忽略回油压力和滑阀的不匹配特性均会增大A、B口压力计算误差,最大值分别为78%和50%。但忽略滑阀不匹配特性会显著增加工作口的零位计算误差。该模型可以为对称不匹配正开口滑阀设计提供理论支持和参考。 展开更多
关键词 液压阀 正开口 对称不匹配 回油压力 径向间隙 无因次压力
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Effect of underlap and gate length on device performance of an AlInN/GaN underlap MOSFET
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作者 Hemant Pardeshi Sudhansu Kumar Pati +2 位作者 Godwin Raj N Mohankumar Chandan Kumar Sarkar 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第12期16-22,共7页
We investigate the performance of an 18 nm gate length AIInN/GaN heterostructure underlap double gate MOSFET, using 2D Sentaurus TCAD simulation. The device uses lattice-matched wideband Al0.83In0.17N and narrowband G... We investigate the performance of an 18 nm gate length AIInN/GaN heterostructure underlap double gate MOSFET, using 2D Sentaurus TCAD simulation. The device uses lattice-matched wideband Al0.83In0.17N and narrowband GaN layers, along with high-k Al2O3 as the gate dielectric. The device has an ultrathin body and is designed according to the ITRS specifications. The simulation is done using the hydrodynamic model and interface traps are also considered. Due to the large two-dimensional electron gas (2DEG) density and high velocity, the maximal drain current density achieved is very high. Extensive device simulation of the major device performance metrics such as drain induced barrier lowering (DIBL), subthreshold slope (SS), delay, threshold voltage (Vt), Ion/Ioff ratio and energy delay product have been done for a wide range of gate and underlap lengths. Encouraging results for delay, Ion, DIBL and energy delay product are obtained. The results indicate that there is a need to optimize theIoff and SS values for specific logic design. The proposed AlInN/GaN heterostructure underlap DG MOSFET shows excellent promise as one of the candidates to substitute currently used MOSFETs for future high speed applications. 展开更多
关键词 MOS-HEMT underlap HETEROSTRUCTURE ultrathin body interface traps effective mass
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Impact of underlap spacer region variation on electrostatic and analog perform-ance of symmetrical high-k SOI FinFET at 20 nm channel length
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作者 Neeraj Jain Balwinder Raj 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第12期13-21,共9页
Continued scaling of CMOS technology to achieve high performance and low power consumption of semiconductor devices in the complex integrated circuits faces the degradation in terms of electrostatic integrity, short c... Continued scaling of CMOS technology to achieve high performance and low power consumption of semiconductor devices in the complex integrated circuits faces the degradation in terms of electrostatic integrity, short channel effects (SCEs), leakage currents, device variability and reliability etc. Nowadays, multigate structure has become the promising candidate to overcome these problems. SO1 FinFET is one of the best multigate structures that has gained importance in all electronic design automation (EDA) industries due to its improved short channel effects (SCEs), because of its more effective gate-controlling capabilities. In this paper, our aim is to ex- plore the sensitivity of underlap spacer region variation on the performance of SOI FinFET at 20 nm channel length. Electric field modulation is analyzed with spacer length variation and electrostatic performance is evalu- ated in terms of performance parameter like electron mobility, electric field, electric potential, sub-threshold slope (SS), ON current (Ion), OFF current (/off) and Ion/loll ratio. The potential benefits of SOl FinFET at drain-to-source voltage, liDS = 0.05 V and VDS = 0.7 V towards analog and RF design is also evaluated in terms of intrinsic gain (Av), output conductance (go), trans-conductance (gin), gate capacitance (Cgg), and cut-off frequency OCT = gm/2πCgg) with spacer region variations. 展开更多
关键词 SOI FinFET SCEs underlap region DIBL analog and RF performance
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Flicker and thermal noise in an n-channel underlap DG FinFET in a weak inversion region
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作者 Sudhansu Kumar Pati Hemant Pardeshi +2 位作者 Godwin Raj N Mohankumar Chandan Kumar Sarkar 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第2期31-36,共6页
We propose an analytical model for drain current and inversion charge in the subthreshold region for an underlap DG FinFET by using the minimum channel potential method, i.e., the virtual source. The flicker and therm... We propose an analytical model for drain current and inversion charge in the subthreshold region for an underlap DG FinFET by using the minimum channel potential method, i.e., the virtual source. The flicker and thermal noise spectral density models are also developed using these charge and current models expression. The model is validated with already published experimental results of flicker noise for DG FinFETs. For an ultrathin body, the degradation of effective mobility and variation of the scattering parameter are considered. The effect of device parameters like gate length Lg and underlap length Lun on both flicker and thermal noise spectral densities are also analyzed. Increasing Lg and Lun, increases the effective gate length, which reduces drain current, resulting in decreased flicker and thermal noise density. A decrease of flicker noise is observed for an increase of frequency, which indicates that the device can be used for wide range of frequency applications. 展开更多
关键词 flicker noise thermal noise ultrathin body virtual source underlap DG FinFET
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具有不均等负重合量的非对称气动伺服阀压力特性研究 被引量:7
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作者 訚耀保 水野毅 +1 位作者 乌建中 荒木献次 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第18期2169-2173,共5页
研究了一种具有不均等负重合量及均等负重合量的新型非对称气动伺服阀的压力特性。该非对称气动伺服阀的下游节流口面积为上游节流口面积的两倍。伺服阀的压力特性及零位压力取决于下游和上游开口面积比例和阀的负重合量。具有均等负重... 研究了一种具有不均等负重合量及均等负重合量的新型非对称气动伺服阀的压力特性。该非对称气动伺服阀的下游节流口面积为上游节流口面积的两倍。伺服阀的压力特性及零位压力取决于下游和上游开口面积比例和阀的负重合量。具有均等负重合量的伺服阀在零位时泄漏流量最大;具有不均等负重合量的伺服阀在零位附近某处时泄漏流量最大。理论结果和试验结果十分吻合。 展开更多
关键词 气动技术 非对称气动伺服阀 节流宽度比例 不均等负重合量 压力特性
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具有对称不均等负重合量的气动伺服阀特性 被引量:4
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作者 訚耀保 李长明 荒木献次 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期500-505,共6页
分析了具有负重合量的气动伺服阀特性及各节流口的流动形式.理论分析和实验结果表明:具有均等负重合量的气动伺服阀的零位压力约为供气压力的80%;当供气侧对称不均等负重合量小于排气侧负重合量时,零位压力小于供气压力的80%;当供气侧... 分析了具有负重合量的气动伺服阀特性及各节流口的流动形式.理论分析和实验结果表明:具有均等负重合量的气动伺服阀的零位压力约为供气压力的80%;当供气侧对称不均等负重合量小于排气侧负重合量时,零位压力小于供气压力的80%;当供气侧对称不均等负重合量大于排气侧负重合量时,零位压力大于供气压力的80%;具有对称均等负重合量或对称不均等负重合量的伺服阀的最大泄漏量发生在零位附近. 展开更多
关键词 气动 伺服阀 不均等负重合量 圆柱滑阀
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经编针织双轴向立体骨架织物的线圈几何模型研究 被引量:7
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作者 陈南梁 敖伟 《东华大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期22-25,59,共5页
采用几何、力学及计算机编程等分析方法研究了经编针织双轴向立体骨架织物地组织的线圈几何结构 ,建立了线圈长度的计算公式 ,为经编针织双轴向立体骨架织物的生产、质量控制及性能设计建立了一定的理论基础。
关键词 经编针织双轴向立体骨架织物 针织线圈结构 送经量 MATLAB编程
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闭式斜盘轴向柱塞变量泵配流副空蚀现象分析 被引量:7
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作者 王建森 何鑫龙 +3 位作者 杨威 曹伟栋 姚亦铭 王峥嵘 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2022年第1期59-64,共6页
以具有正开口双侧减振槽结构配流盘的闭式斜盘轴向柱塞变量泵为研究对象,考虑介质可压缩性,采用均质多相传输方程、标准k-ε湍流模型和全空化模型,研究了柱塞泵配流副表面空化流场时空动态演化过程,并与缸体配流表面空蚀破坏实验结果进... 以具有正开口双侧减振槽结构配流盘的闭式斜盘轴向柱塞变量泵为研究对象,考虑介质可压缩性,采用均质多相传输方程、标准k-ε湍流模型和全空化模型,研究了柱塞泵配流副表面空化流场时空动态演化过程,并与缸体配流表面空蚀破坏实验结果进行了比对.结果表明,缸体间隔区处气蚀破坏位置、破坏面积与配流过渡过程配流副表面空化发生的位置、空化持续时间及空化剧烈程度等因素高度关联.配流盘正开口引起柱塞腔至吸油腔渐扩减振槽处高压差强剪切窜油空化流动是造成缸体配流面空蚀破坏的主要原因,缸体间隔区前缘和后缘表面的气蚀破坏分别与柱塞腔升压和卸压过渡过程相关. 展开更多
关键词 闭式斜盘柱塞泵 正开口配流 减振槽 空化空蚀 数值分析
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欠叠异质栅纳米碳管场效应管的量子输运特性(英文) 被引量:1
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作者 王伟 张露 +3 位作者 李娜 杨晓 张婷 岳工舒 《计算物理》 CSCD 北大核心 2015年第2期229-239,共11页
采用量子力学模型,对欠叠栅对传统单质栅碳纳米管场效应管(简称C-CNTFET)和异质栅碳纳米管场效应管(简称HMG-CNTFET)电学特性的影响进行理论研究,该模型基于二维非平衡格林函数(NEGF)泊松方程自洽求解.仿真结果表明,C-CNTFET的截止频率... 采用量子力学模型,对欠叠栅对传统单质栅碳纳米管场效应管(简称C-CNTFET)和异质栅碳纳米管场效应管(简称HMG-CNTFET)电学特性的影响进行理论研究,该模型基于二维非平衡格林函数(NEGF)泊松方程自洽求解.仿真结果表明,C-CNTFET的截止频率可高达THz量级,另外,通过比较C-和HMG-CNTFET可以看出,CCNTFET增加欠叠栅后能够提高器件的开关速度,但不利于提高器件的开关电流比.在HMG-CNTFET中,欠叠栅的采用不仅能够同时改善亚阈值特性和开关电流比,还能降低输出电导. 展开更多
关键词 碳纳米管场效应管 非平衡格林函数 欠叠栅 短沟道效应 异质栅
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鼻外侧软骨的临床解剖学研究
12
作者 周志强 曹红 +4 位作者 许岩 姜平 欧阳琦 马行凯 戴国明 《江苏大学学报(医学版)》 CAS 2003年第1期8-9,共2页
目的 :通过对 15具尸体标本 (3 0侧 )的鼻部解剖 ,获得正常的鼻外侧软骨的测量数据 ,并探讨鼻外侧软骨的形态结构及其与鼻骨之间的关系。方法 :15具中国成年尸体 ,去除鼻骨、鼻外侧软骨及鼻翼软骨的所有软组织。在鼻骨与软骨重叠部分取 ... 目的 :通过对 15具尸体标本 (3 0侧 )的鼻部解剖 ,获得正常的鼻外侧软骨的测量数据 ,并探讨鼻外侧软骨的形态结构及其与鼻骨之间的关系。方法 :15具中国成年尸体 ,去除鼻骨、鼻外侧软骨及鼻翼软骨的所有软组织。在鼻骨与软骨重叠部分取 4个点 ,将重叠部分分成 3等分 ,测量各点上垂直线上与鼻骨的重叠距离。测量鼻外侧软骨的长度及宽度。结果 :鼻外侧软骨的平均长度为 (19.84± 1.5 1)mm ,平均宽度为 (9.80± 1.5 0 )mm。鼻外侧软骨在鼻骨下从鼻骨中线 (即鼻额缝 )向侧面所重叠的平均长度为(10 .5 6± 2 .2 2 )mm。鼻外侧软骨与鼻骨的重叠情况 :在中线处与鼻中隔的重叠度最大 ,其值为 (5 .65± 1.5 0 )mm ;在鼻骨外侧处的重叠度最小 ,其值为 (1.60± 0 .5 8)mm。结论 :掌握鼻骨、鼻外侧软骨重叠的程度为鼻部美容整形、功能性或外伤后鼻部修复的功能复位提供解剖学可能的变化范围。了解正常鼻外侧软骨的测量数据可以作为医生手术的指南。 展开更多
关键词 鼻外侧软骨 临床解剖学 研究 鼻骨 鼻中隔 重叠程度
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具有对称均等负重合量的气动伺服阀零位流动状态分析 被引量:1
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作者 訚耀保 李长明 +1 位作者 韩啸啸 荒木献次 《流体传动与控制》 2008年第6期9-12,共4页
分析了具有对称均等负重合量的气动伺服阀在不同供气压力时上游供气节流口和下游排气节流口的流动状态。排气压力为一个标准大气压,供气压力小于0.2374MPa时,零位时的上游两个供气节流口和下游两个排气节流口均为亚音速流动;供气压力等... 分析了具有对称均等负重合量的气动伺服阀在不同供气压力时上游供气节流口和下游排气节流口的流动状态。排气压力为一个标准大气压,供气压力小于0.2374MPa时,零位时的上游两个供气节流口和下游两个排气节流口均为亚音速流动;供气压力等于0.2374MPa时,零位时的上游两个供气节流口为亚音速流动,下游两个排气节流口处于临界流动,即亚音速流动和超音速流动的分界点;供气压力大于0.2374MPa时,零位时的上游两个供气节流口为亚音速流动,下游两个排气节流口为超音速流动,且在零位处的负载压力为供气压力的80.75%。 展开更多
关键词 气动技术 气动伺服阀 均等负重合量 亚音速流动 超音速流动
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对称负重合型气动伺服阀零位流动状态分析
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作者 訚耀保 李长明 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3724-3733,共10页
针对负重合型气动伺服阀(PSV)零位特性设计缺少理论依据问题,根据单个节流口的气体质量流量公式建立起气动伺服阀滑阀级的数学模型,采用假设求证法分析了零位时气体流经上、下游节流口的流动状态与影响因素之间的关系。结果表明在不同... 针对负重合型气动伺服阀(PSV)零位特性设计缺少理论依据问题,根据单个节流口的气体质量流量公式建立起气动伺服阀滑阀级的数学模型,采用假设求证法分析了零位时气体流经上、下游节流口的流动状态与影响因素之间的关系。结果表明在不同供、排气压力比下,负重合量不均等系数小于0.528 3的气动伺服阀有3种可能的零位流动状态,即上、下游节流口均为亚声速流动,或者均为声速流动,或者上游节流口为声速时下游节流口为亚声速流动;负重合量不均等系数不小于0.528 3的气动伺服阀有两种可能的零位流动状态,即上、下游节流口均为亚声速流动,以及上游节流口为亚声速时下游节流口为声速流动。可知气动伺服阀的零位流动状态由负重合量不均等系数与供、排气压力比共同决定。以负重合量不均等系数分别为0.5、1、2的气动伺服阀为例进行了计算和实验验证,实验结果与理论分析相吻合。 展开更多
关键词 气动 伺服阀 负重合量 零位流动状态 不均等系数 供、排气压力比
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插装式流量放大阀反馈槽预开量对其性能的影响(英文)
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作者 郭晓霞 马彦伟 +2 位作者 张勇 黄家海 权龙 《机床与液压》 北大核心 2015年第24期15-19,共5页
基于流量反馈原理的Valvistor插装阀具有低泄漏、通流能力强、结构简单等优点,已被广泛应用于液压系统中,主阀反馈槽预开量对其通流能力及静态性能有显著影响。使用Simulation X建立了16通径Valvistor阀的仿真模型,通过实验验证了仿真... 基于流量反馈原理的Valvistor插装阀具有低泄漏、通流能力强、结构简单等优点,已被广泛应用于液压系统中,主阀反馈槽预开量对其通流能力及静态性能有显著影响。使用Simulation X建立了16通径Valvistor阀的仿真模型,通过实验验证了仿真模型的正确性,详细研究了反馈窄槽预开口量对阀芯性能的影响,结果表明:为了提高阀芯稳定性及使阀芯关闭,主阀反馈槽必须增加预开口量,但预开口量的增加会导致阀芯出现死区,同时降低了阀芯通流能力,研究结果为Valvistor阀性能的进一步提高提供了依据。 展开更多
关键词 Cartridge valve FLOW amplifier underlap in the SLOT
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横移计量法在经编织物设计及分析中的应用
16
作者 刘晓东 张并劬 《成都纺织高等专科学校学报》 CAS 2006年第2期23-24,共2页
如何快速有效地设计、分析出正确的垫纱运动图,提高经编产品设计、分析效率,是从业人员面临的一个难点。运用横移计量法解决该难点是一种有效的途径。
关键词 经编 横移计量法 垫纱运动图 梳栉
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趋零计量法在经编产品设计及分析中的有效应用
17
作者 刘晓东 张并劬 《纺织科技进展》 CAS 2005年第6期61-62,共2页
在经编产品设计、分析过程中,确定正确的垫纱运动是至关重要的环节,同时对产品生产也有决定性影响。介绍了趋零计量法在经编产品组织结构分析中的应用,指出这对于快速有效地设计、分析出正确的垫纱运动图,以提高经编产品设计、分析效率... 在经编产品设计、分析过程中,确定正确的垫纱运动是至关重要的环节,同时对产品生产也有决定性影响。介绍了趋零计量法在经编产品组织结构分析中的应用,指出这对于快速有效地设计、分析出正确的垫纱运动图,以提高经编产品设计、分析效率,进而提高生产效率是一种有效的途径。 展开更多
关键词 经编 趋零计量法 垫纱运动图 梳栉 针背横移数代数和
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负遮盖四通伺服阀的静特性分析
18
作者 吕宏庆 李著信 苏毅 《液压气动与密封》 2000年第5期26-29,共4页
本文根据功率匹配原则 ,定义了对称阀控不对称缸系统的负载压力和负载流量 ,并对一应用于并联式液压平台的负遮盖伺服阀进行了静特性分析 ,认为阀的特性同其所处系统的结构有关 ;另外 ,相比于零遮盖伺服阀 ,负遮盖阀由于预开口的存在 ,... 本文根据功率匹配原则 ,定义了对称阀控不对称缸系统的负载压力和负载流量 ,并对一应用于并联式液压平台的负遮盖伺服阀进行了静特性分析 ,认为阀的特性同其所处系统的结构有关 ;另外 ,相比于零遮盖伺服阀 ,负遮盖阀由于预开口的存在 ,增加了阀的中位泄漏 ,降低了系统的输出刚度 ,但明显提高了阀压力——流量特性曲线的线性度 ,提高了系统的稳定性。 展开更多
关键词 负遮盖伺服阀 静态特性 不对称缸 零位系数
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基于半平面上的不重叠Schwarz交替法 被引量:2
19
作者 刘红梅 王寿城 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1582-1584,共3页
文章讨论了基于半平面上自然边界归化的无界区域上不重叠Schwarz交替法及其离散化,对于区域的分解方法是将无界的半平面分解为不重叠的2个区域,即很小的有界区域和无界的半平面,并且在有界区域和无界区域上分别交替利用有限元法和自然... 文章讨论了基于半平面上自然边界归化的无界区域上不重叠Schwarz交替法及其离散化,对于区域的分解方法是将无界的半平面分解为不重叠的2个区域,即很小的有界区域和无界的半平面,并且在有界区域和无界区域上分别交替利用有限元法和自然边界元法求解,对于其中离散情形的不重叠型区域,分解算法利用极值原理证明其在最大模意义下的几何收敛性。 展开更多
关键词 不重叠Schwarz交替法 半平面 自然边界元 离散化 极值原理 几何收敛
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一种力反馈式电液压力伺服阀 被引量:3
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作者 宗满意 杨宗阳 《液压气动与密封》 2020年第11期93-96,共4页
电液压力伺服阀一般采用阀芯压力反馈或电反馈的反馈形式。根据喷嘴挡板式力反馈式电液流量伺服阀的特点,通过加大负重叠量,设计了使用反馈杆将阀芯位置力反馈至挡板的电液压力伺服阀。理论分析及仿真结果表明其输出压力与输入电信号呈... 电液压力伺服阀一般采用阀芯压力反馈或电反馈的反馈形式。根据喷嘴挡板式力反馈式电液流量伺服阀的特点,通过加大负重叠量,设计了使用反馈杆将阀芯位置力反馈至挡板的电液压力伺服阀。理论分析及仿真结果表明其输出压力与输入电信号呈线性关系,且负重叠越大,线性区间越大,在此基础上进行了试验验证,试验结果与仿真结果基本一致。力反馈式电液压力伺服阀动态特性高、工艺性好、滑阀级内漏可接受。可以作为电液压力伺服阀使用。 展开更多
关键词 压力伺服阀 力反馈 负重叠
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