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Present Status of the Development and Application of Transparent Conductors Oxide Thin Solid Films 被引量:4
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作者 Luis Casta?eda 《Materials Sciences and Applications》 2011年第9期1233-1242,共10页
Luis Casta&ntildeeda’s article, 'Present Status of the Development and Application of Transparent Conductors Oxide Thin Solid Films ', has been retraced by Ray Boxman because of plagiarism. The scientific... Luis Casta&ntildeeda’s article, 'Present Status of the Development and Application of Transparent Conductors Oxide Thin Solid Films ', has been retraced by Ray Boxman because of plagiarism. The scientific community takes a very strong view on this matter and we treat all unethical behavior such as plagiarism seriously. This paper published in Vol.2 No.9 1233-1242, 2011, has been removed from this site. 展开更多
关键词 Transparent Conductors SEMICONDUCTORS thin solid films
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Photosensitivity Spectra of Thin Films from a CdSexS1-x Solid Solution
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作者 Tokhirbek Imomalievich Rakhmonov 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2022年第12期3676-3683,共8页
The results of a study of the energy spectra of the activation of intrinsic defects of a photosensitive film made from the CdSe<sub>x</sub>S<sub>1-x</sub> solid solution depending on the condit... The results of a study of the energy spectra of the activation of intrinsic defects of a photosensitive film made from the CdSe<sub>x</sub>S<sub>1-x</sub> solid solution depending on the conditions of preparation and heat treatment in various media are presented. It is shown that at x = 0.8 cadmium vacancies create a deep level with an activation energy Е<sub>v</sub> + (0.63 ± 0.02) eV, a complex of chlorine atom with a cadmium vacancy creates a level Е<sub>v</sub> + (0.43 ± 0.02) eV, as well as the fast recombination center Еv + (0.92 ± 0.02) eV. The formation of selenium vacancies due to the introduction of chlorine and its combination with cadmium leads to the appearance of a sticking level Е<sub>c</sub> - (0.19 ± 0.02) eV. CdSe<sub>0.8</sub>S<sub>0.2</sub> films can be used to develop light emitting diodes, photo sensors, IR and visible lasers. 展开更多
关键词 thin Polycrystalline film solid Solution PHOTOCONDUCTIVITY Activation Energy Spectrum Substrate Temperature Deep Impurity Centers
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Influence of deposition temperature on ionic conductivity of perovskite (Li_(0.5)La_(0.5))TiO_3 solid state electrolyte thin film
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作者 申万 杨志民 +2 位作者 邢光健 毛昌辉 杜军 《广东有色金属学报》 2005年第2期439-443,共5页
Thin film microbattery is a promising micropower source for its high energy density and good cell performances, and the application of fast lithium ion conducting solids as electrolytes is thus very important. (Li 0.... Thin film microbattery is a promising micropower source for its high energy density and good cell performances, and the application of fast lithium ion conducting solids as electrolytes is thus very important. (Li 0.5 La 0.5 )TiO3 (LLTO) thin film electrolytes for thin film microbattery were prepared onto Pt/Si substrates using magnetron sputtering. As-deposited LLTO thin films showed amorphous-like phases and when deposition temperature increases the ionic conductivity raises accordingly. The ionic conductivity of LLTO thin film reaches 8.7×10 -6 S/cm when the deposition temperature is 400℃, which shows that the LLTO thin films deposited by magnetron sputtering are suitable for application as an electrolyte for thin film microbattery. 展开更多
关键词 薄膜 电极 固相 电池 离子传导性
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Design and Simulation of the Thin Film Pulse Transformer
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作者 刘保元 石玉 文岐业 《Journal of Electronic Science and Technology of China》 2005年第1期48-51,共4页
A new thin film pulse transformer for using in ISND and ADSL systems has been designed based on a domain wall pinning model, the parameters of nano-magnetic thin film such as permeability and coercivity can be calcula... A new thin film pulse transformer for using in ISND and ADSL systems has been designed based on a domain wall pinning model, the parameters of nano-magnetic thin film such as permeability and coercivity can be calculated. The main properties of the thin film transformer including the size, parallel inductance, Q value and turn ratio have been simulated and optimized. Simulation results show that the thin film transformer can be fairly operated in a frequency range of 0.001~20 MHz. 展开更多
关键词 thin solid film pulse transformer domain wall pinning model SIMULATION
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Thin-film lithium-ion battery derived from Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_4)_3 sintered pellet
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作者 肖卓炳 麻明友 +2 位作者 吴显明 何则强 陈上 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2006年第2期281-285,共5页
Thin-film lithium-ion battery of LiMn2O4/Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3/LiMn2O4 was fabricated using Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 sintered pellet as both substrate and electrolyte. Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 sintered pellet was prepared b... Thin-film lithium-ion battery of LiMn2O4/Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3/LiMn2O4 was fabricated using Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 sintered pellet as both substrate and electrolyte. Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 sintered pellet was prepared by sol-gel technique, and the thin-film battery was heat-treated by rapid thermal annealing. Phase identification, morphology and electrochemical properties of the components and thin-film battery were investigated by X-ray diffractometry, scanning electron microscopy, electrochemical impedance spectroscopy and galvanostatic charge-discharge experiments. The results show that Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 possesses a electrochemical window of 2.4 V and an ionic conductivity of 1.2 ×10-4 S/cm. With Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3 sintered pellet as both substrate and solid electrolyte, the fabricated thin-film battery with an open circuit voltage of 1.2V can be easily cycled. 展开更多
关键词 固体电解质 锂离子电池 烧结球粒 LIMN2O4 Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3
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Incubation of PbSe Thin Films in a Tin(Ⅱ) Salt Aqueous Solution:Modification and Ion-Exchange Reactions
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作者 Zinaida I.Smirnova Larisa N.Maskaeva +2 位作者 Vyacheslav F.Markov Vladimir I.Voronin Mikhail V.Kuznetsov 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第8期790-797,共8页
Topochemical ion-exchange reactions between solid micro- and nanostructured metal chalcogenides and aqueous salt solutions are generally used for formation of composite structures based on initial metal chalcogenides ... Topochemical ion-exchange reactions between solid micro- and nanostructured metal chalcogenides and aqueous salt solutions are generally used for formation of composite structures based on initial metal chalcogenides and products of their ion-exchange transformation. However, ion exchange has promises as a route to obtaining both composites and solid solutions based on the initial and the end chalcogenide phases. With the help of the ion-exchange technique, single-phase films of Phi xSnxSe substitutional solid solutions with a tin content up to -2 at.%, which are promising for mid- and long-wavelength infrared radiation (IR) optoelectronics, have been obtained at the interface between PbSe poly- crystalline thin films and SnCl2 aqueous solutions containing sodium citrate. It has been shown that the pH value and temperature of the reaction system play an important role in the ion-exchange process. Incubation of lead selenide (PbSe) films in a tin(II) salt aqueous solution also leads to their modification with oxygen-containing tin compounds to a depth of-3 nm. Differences in the film structure, such as changes in the coherent scattering region sizes and orientation of crystallites along the [220] direction, which arise during the contact with citrate-containing SnCl2 solutions, have also been revealed. For the first time, an idea of the existence of a relatively wide reaction zone of an intragranular topochemical ion-exchange reaction in an aqueous solution, within which substitutional solid solutions can form in micro- and nanostructured systems, has been set forth. 展开更多
关键词 Ion-exchange synthesis thin films Lead selenide Tin selenide Substitutional solid solutions Topochemical reaction
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Current Situation and Developing Trend of Optical Thin Films for DPSSL
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作者 BU Yi-kun ZHENG Quan MIAO Tong-qun QIAN Long-sheng 《光机电信息》 2005年第12期5-10,共6页
A series of optical thin films for LD pumped all- solid- state laser are discussed. Because of the difference between the pumped wavelength and the output wavelength, various kinds of pumping ways, resonator structure... A series of optical thin films for LD pumped all- solid- state laser are discussed. Because of the difference between the pumped wavelength and the output wavelength, various kinds of pumping ways, resonator structures and laser crystals, there are so many new kinds of optical thin films, including novel edge filters ,high reflection and an- tireflection coatings. The key problems in designing and coating are analyzed, and the researches carried out world- wide in this field are also given. 展开更多
关键词 DPSSL 光学薄膜 LD 激光视盘 涂层 离子束溅射
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A symmetric MnO_2/MnO_2 flexible solid state supercapacitor operating at 1.6V with aqueous gel electrolyte 被引量:5
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作者 Nilesh R.Chodankar Deepak P.Dubal +1 位作者 Girish S.Gund Chandrakant D.Lokhande 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第3期463-471,共9页
The demand of microelectronic devices postulated high energetic flexible energy storage devices. Flexible solid state supercapacitor is flawless possible candidate to fulfill the requirement of microelectronic devices... The demand of microelectronic devices postulated high energetic flexible energy storage devices. Flexible solid state supercapacitor is flawless possible candidate to fulfill the requirement of microelectronic devices. This investigation provides practical evidence of the use of flexible solid state supercapacitors based on MnOelectrodes with polyvinylpyrrolidone(PVP)-Li ClOgel electrolyte. Initially, different acid mediated growths of MnOhave been carried. Later, the electrochemical performances of MnOelectrodes have been carried out. Impressively, the fabricated symmetric flexible solid state supercapacitor(FSS-SC) device demonstrates the highest operating potential window of 1.6 V with extended cycling stability. Moreover, the cell exhibits high energy density of 23 Wh/kg at power density of 1.9 k W/kg. It is interesting to note that the device shows excellent flexibility upon bending at angle of 180° for number of times. These results clearly evidenced those symmetric FSS-SC devices based on MnOelectrodes are promising energy storage devices for microelectronic applications. 展开更多
关键词 MnO_2 thin film Polymer gel electrolyte Flexible-all-solid-state supercapacitors
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流延工艺制备氧化锆燃料电池薄膜的研究进展 被引量:1
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作者 刘庆 欧阳雪琼 +2 位作者 刘文财 吕洋 王双喜 《材料导报》 北大核心 2025年第10期1-10,共10页
8%(摩尔分数,如无特别说明,下同)氧化钇稳定的氧化锆(8YSZ)薄膜是固体氧化物燃料电池(SOFC)的核心部件,直接影响SOFC的输出性能。本文介绍了氧化锆电解质薄膜化工艺,详细地分析了烧结助剂、粘结剂体系以及浆料流变性对氧化锆浆料的影响... 8%(摩尔分数,如无特别说明,下同)氧化钇稳定的氧化锆(8YSZ)薄膜是固体氧化物燃料电池(SOFC)的核心部件,直接影响SOFC的输出性能。本文介绍了氧化锆电解质薄膜化工艺,详细地分析了烧结助剂、粘结剂体系以及浆料流变性对氧化锆浆料的影响,总结了流延速度、干燥环境等流延工艺参数对氧化锆流延生带厚度以及品质的作用,并对近年来氧化锆生带的先进烧结方式进行了阐述,讨论了电解质厚度及结构对氧化锆电解质薄膜致密度与离子电导率的影响,最后对流延成型工艺制备高品质的氧化锆薄膜的前景和方向进行了展望。 展开更多
关键词 流延成型 氧化锆薄膜 8YSZ 电解质 SOFC 烧结助剂 离子电导率
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常用固体润滑薄膜的辐照损伤研究进展
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作者 李金城 石烨然 +5 位作者 华东鹏 周青 夏桥生 柴利强 王海丰 王鹏 《材料保护》 2025年第4期1-16,共16页
固体润滑薄膜以其优异的减摩抗磨性能、化学稳定性和高温稳定性在航空航天、核工业及机械制造等领域得到广泛应用。然而,在太空、核反应堆等极端环境中,固体润滑薄膜易受辐照损伤而导致润滑性能失效。本文首先介绍了3类常用的固体润滑薄... 固体润滑薄膜以其优异的减摩抗磨性能、化学稳定性和高温稳定性在航空航天、核工业及机械制造等领域得到广泛应用。然而,在太空、核反应堆等极端环境中,固体润滑薄膜易受辐照损伤而导致润滑性能失效。本文首先介绍了3类常用的固体润滑薄膜:二维层状润滑薄膜、碳基润滑薄膜和金属基润滑薄膜,并概述了它们在辐照和摩擦学方面的研究进展。然后,提出了该领域目前存在的问题,并总结了该领域未来的发展方向。最后,针对固体润滑薄膜在辐照环境下面临的挑战,从热退火处理、元素掺杂、多层复合膜结构设计、界面调控、晶粒细化5方面展望了提高3类常用的固体润滑薄膜抗辐照性能的措施。该综述旨在帮助研究人员了解该领域研究的重要性及紧迫性,以推动具有优异抗辐照性能的固体润滑材料在苛刻辐照领域的发展应用,从而确保其机械部件在极端环境下的可靠性和稳定性. 展开更多
关键词 固体润滑薄膜 辐照 摩擦学性能
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铜薄膜修饰对固态金属锂电池界面稳定性的提升
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作者 游志平 马宏 赵明 《粉末冶金工业》 北大核心 2025年第3期149-155,共7页
固态金属锂电池有望实现高达500 Wh/kg的高能量密度,因此是实现新能源汽车续航里程突破的关键电化学储能体系。然而,金属锂负极与固体电解质之间较差的接触稳定性严重制约了其循环性能。实验从固体电解质与金属锂负极间界面相的体积应... 固态金属锂电池有望实现高达500 Wh/kg的高能量密度,因此是实现新能源汽车续航里程突破的关键电化学储能体系。然而,金属锂负极与固体电解质之间较差的接触稳定性严重制约了其循环性能。实验从固体电解质与金属锂负极间界面相的体积应变入手提升界面稳定性。不同于常规的高电化学活性修饰层,在固体电解质与金属锂负极之间引入了具有较低电化学活性的铜薄膜修饰层,因此能够大大降低界面相体积变化率,从而增强界面接触的稳定性,使固态金属锂电池的循环性能获得提升。通过电化学阻抗谱发现,铜薄膜的引入能够将固态电池负极界面单位面积面阻抗由2 030Ω/cm降低至65Ω/cm;钴酸锂正极的克容量发挥从118 mAh/g提升至145 mAh/g;固态金属锂电池0.33 C条件下循环500圈,容量保持率从46.3%提升至93.5%。 展开更多
关键词 铜薄膜 固态电池 界面修饰 循环稳定性 枝晶
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3D打印纳米铝热含能薄膜的固体推进剂点火特性研究
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作者 杨智 王玉强 +5 位作者 陈乐健 韩书锋 刘钧 杜晋龙 张志超 许建兵 《火工品》 北大核心 2025年第4期90-96,共7页
为了适应端面燃烧高装填比固体火箭发动机的点火需求,基于Al/CuO/PVDF纳米铝热含能体系,设计了3种不同粘结剂含量的含能墨水配方,采用3D墨水直写打印技术制备了3种厚度均为150μm的含能薄膜。对含能薄膜的微观形貌、热性能和燃烧性能进... 为了适应端面燃烧高装填比固体火箭发动机的点火需求,基于Al/CuO/PVDF纳米铝热含能体系,设计了3种不同粘结剂含量的含能墨水配方,采用3D墨水直写打印技术制备了3种厚度均为150μm的含能薄膜。对含能薄膜的微观形貌、热性能和燃烧性能进行了表征和测试,并对含能薄膜与固体推进剂的点火匹配特性进行了试验研究。结果表明:3种含能薄膜表观质量好、结构完整、组分分布均匀;随着配方中PVDF组分含量的增加,薄膜放热量降低,相应的薄膜燃速也降低;配方F2具有最小的点火延迟,平均值为107 ms,点火延迟与燃速不是简单的正相关关系,即最低点火延迟在合适的燃速下获得。 展开更多
关键词 纳米铝热剂 含能薄膜 3D墨水直写打印 固体推进剂 点火匹配
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应用于全固态薄膜电池的硫薄膜正极
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作者 邓人铭 谢永辉 王星辉 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第9期795-801,共7页
随着物联网时代的来临,人们对于可与集成电路兼容制造的微型电源的需求日益迫切。全固态薄膜电池(Allsolid-state thin-film batteries,ASSTFBs)采用薄膜制造工艺而成为能与集成电路集成制造的理想片上电源。锂硫电池具有极高的理论能... 随着物联网时代的来临,人们对于可与集成电路兼容制造的微型电源的需求日益迫切。全固态薄膜电池(Allsolid-state thin-film batteries,ASSTFBs)采用薄膜制造工艺而成为能与集成电路集成制造的理想片上电源。锂硫电池具有极高的理论能量密度,若将其应用于ASSTFBs,则有望大幅提升其能量密度。然而,单质硫的低熔点以及固有的迟滞动力学导致了研究人员对硫薄膜的制备经验不足,并阻碍了将其应用于ASSTFBs。为此,文章采用管式炉热蒸发法,将活性物质硫均匀地沉积到垂直石墨烯(Vertical graphene nanosheets,VGs)薄膜层中,制备了VGs-S复合硫薄膜。测试结果表明,采用该方法制备得到的VGs-S复合薄膜正极具有良好的电化学性能,其在12.7μA cm^(−2)的电流密度下首次放电面积比容量达到了55.3μAh cm^(−2),并能够在127.2μA cm^(−2)的电流密度下稳定循环1000次,每次循环平均衰减仅为0.036%。该研究可为高能量密度ASSTFBs硫基薄膜正极的构筑提供一种新思路。 展开更多
关键词 全固态薄膜电池 微型储能器件 垂直石墨烯 硫薄膜 锂硫电池
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超薄硫化物固态电解质膜的研究与开发进展
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作者 余灿文 刘心怡 +4 位作者 张柏松 姜益栋 邓永红 许晓雄 池上森 《硅酸盐学报》 北大核心 2025年第6期1577-1599,共23页
以固态电解质(SSEs)代替传统有机液态电解质的全固态锂电池(ASSLBs)具有优异的安全性和高的能量密度,是最有潜力的下一代储能电池。在SSEs中,硫化物电解质具有高离子导电性、低活化能和良好的机械性能而备受关注,开发超薄硫化物SSEs膜... 以固态电解质(SSEs)代替传统有机液态电解质的全固态锂电池(ASSLBs)具有优异的安全性和高的能量密度,是最有潜力的下一代储能电池。在SSEs中,硫化物电解质具有高离子导电性、低活化能和良好的机械性能而备受关注,开发超薄硫化物SSEs膜可以有效提升ASSLBs的能量密度。然而,硫化物粉末颗粒成膜后,薄膜强度低和力学性能差,限制了电解质超薄膜和ASSLBs的研究开发进展,使得制备具有一定力学性能的超薄硫化物SSEs膜成为挑战。本文介绍几种常见的硫化物SSEs合成方法及其应用进展,综述硫化物薄膜干法和湿法工艺合成,薄膜合成过程中黏结剂选择,薄膜致密化策略以及SSEs薄膜与正负极接触稳定性,探讨材料、制造工艺和系统集成相关的挑战并提出应对这些挑战的策略,强调硫化物SSEs薄膜在实现高比能ASSLBs的关键作用。 展开更多
关键词 全固态锂电池 硫化物电解质 超薄膜制备 黏结剂 界面稳定性
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薄膜热导率测试方法研究进展 被引量:7
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作者 张建生 杨君友 +3 位作者 朱文 肖承京 张辉 彭江英 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期103-107,共5页
薄膜材料的热导率一般与其相应的块体材料有较大的差异。由于其厚度较小,对块体材料热导率的测试方法一般不适用于薄膜材料,因此近几十年来,研究工作者们发明了很多新的用于薄膜热导率的测试方法。综述了薄膜热导率的一些常用测试方法,... 薄膜材料的热导率一般与其相应的块体材料有较大的差异。由于其厚度较小,对块体材料热导率的测试方法一般不适用于薄膜材料,因此近几十年来,研究工作者们发明了很多新的用于薄膜热导率的测试方法。综述了薄膜热导率的一些常用测试方法,着重介绍了薄膜热导率的最新测试方法的特点及其适用范围,并针对广泛使用的3ω法进行了详细介绍。 展开更多
关键词 薄膜 热导率 测试方法 3ω法
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2(8-羟基喹啉)-2(苯酚)合锆薄膜的制备与性能研究 被引量:21
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作者 郝玉英 郝海涛 +3 位作者 王华 周禾丰 刘旭光 许并社 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1524-1527,共4页
设计合成了一种新型的有机电致发光材料 2 (8 羟基喹啉 ) 2 (苯酚 )合锆 (Zr(OPh) 2 q2 ) ,制备了Zr(OPh) 2 q2 薄膜 ,并利用红外光谱、差热 热重谱、扫描电镜、X射线衍射谱、UV吸收谱和荧光光谱等方法研究了其晶态、热稳定性、能带... 设计合成了一种新型的有机电致发光材料 2 (8 羟基喹啉 ) 2 (苯酚 )合锆 (Zr(OPh) 2 q2 ) ,制备了Zr(OPh) 2 q2 薄膜 ,并利用红外光谱、差热 热重谱、扫描电镜、X射线衍射谱、UV吸收谱和荧光光谱等方法研究了其晶态、热稳定性、能带结构以及光致发光机理。结果表明 ,Zr(OPh) 2 q2 的熔点为 381 2℃ ,分解温度为 4 6 7 1℃ ,具有非常高的热稳定性 ,利用真空热蒸镀方法很容易在经过净化处理的玻璃基底上形成高质量、无定形纳米级薄膜 ,在 390nm紫外光的激发下 ,Zr(OPh) 2 q2 薄膜产生发光峰为 5 2 5nm、半峰宽度为10 7 6nm的强黄绿色荧光 ,其粉体产生强黄色荧光 ,是一种性能优良的电致发光材料。 展开更多
关键词 薄膜 8-羟基喹啉 设计合成 吸收谱 荧光 X射线衍射谱 发光峰 差热 制备 苯酚
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含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性 被引量:9
17
作者 刘文元 李驰麟 傅正文 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1413-1418,共6页
利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生... 利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化. 展开更多
关键词 LiPON薄膜 薄膜电解质 磁控溅射 全同态薄膜锂电池
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图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展 被引量:13
18
作者 邵天敏 耿哲 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期1-26,共26页
固体薄膜技术可以用于显著提高材料的摩擦学性能,表面图形化技术则通过在部件表面制备预先设计的图形来改善摩擦副的接触和润滑行为。近年来,人们尝试将表面图形化技术和固体薄膜技术相结合,出现了一类称之为图形化薄膜的技术。研究表明... 固体薄膜技术可以用于显著提高材料的摩擦学性能,表面图形化技术则通过在部件表面制备预先设计的图形来改善摩擦副的接触和润滑行为。近年来,人们尝试将表面图形化技术和固体薄膜技术相结合,出现了一类称之为图形化薄膜的技术。研究表明:在很多情况下,与单纯的完整薄膜或图形化表面相比,图形化薄膜能够同时发挥薄膜的强化作用和图形化改变摩擦界面行为的作用,在改善和提高摩擦学性能方面具有综合优势。文中总结了图形化薄膜技术方面的研究工作;介绍了图形化薄膜的制备技术、分类、摩擦学性能以及应用;分析讨论了图形化薄膜的作用机理;并展望了图形化薄膜的发展前景。 展开更多
关键词 图形化固体薄膜 制备技术 摩擦学性能 减摩耐磨机理 应用研究
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离子束增强反应磁控溅射低温快速沉积AlN膜 被引量:2
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作者 王浩 黄荣芳 +2 位作者 吴杰 洪瑞江 闻立时 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期321-326,共6页
本文采用氮离子束增强反应磁控溅射,在低温下沉积了 AlN 薄膜.用 X 射线衍射和 X 射线光电子谱对薄膜的晶体结构和电子结构进行了分析,结果表明,随着离子源中氮离子束流的增加,薄膜组成由面心立方的 Al 转变为密排立方的 AlN.氮离子在... 本文采用氮离子束增强反应磁控溅射,在低温下沉积了 AlN 薄膜.用 X 射线衍射和 X 射线光电子谱对薄膜的晶体结构和电子结构进行了分析,结果表明,随着离子源中氮离子束流的增加,薄膜组成由面心立方的 Al 转变为密排立方的 AlN.氮离子在薄膜制备中的引入,有效地降低了沉积温度,提高沉积速率,并实现了薄膜 N/Al 化学计量比的控制.对 AlN 薄膜的紫外-可见光透射谱和红外吸收谱也进行了测定. 展开更多
关键词 薄膜 氮化铝 磁控溅射
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