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Exploration of Sub-grade and Pavement Construction in the Settlement Section of Municipal Road and Bridge Engineering
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作者 XUHaozhong 《外文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》 2022年第9期116-120,共5页
Municipal road bridge engineering construction settlement section construction is very important, and the staff need to strictly grasp the roadbed pavement construction through the standard construction process, each ... Municipal road bridge engineering construction settlement section construction is very important, and the staff need to strictly grasp the roadbed pavement construction through the standard construction process, each link, improve the technical level and targeted control and solve the cause of uneven settlement to ensure the roadbed pavement construction quality meet the acceptance requirements, minimize settlement, make the municipal road bridge better service urban transportation and economic construction. In view of this, this paper takes the sub-grade and pavement construction problem of the subsidence section in the municipal road and bridge engineering as the entry point and puts forward the targeted improvement countermeasures in order to provide reference and reference for the relevant workers. 展开更多
关键词 municipal road and bridge settlement section sub-grade and pavement construction existing problem
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分档掺配水泥稳定再生集料性能研究
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作者 王稷良 韩彬 《粉煤灰综合利用》 2025年第6期103-108,139,共7页
采用分档替代法,在固定级配和水泥掺量下以再生集料等质量替代同档天然集料,研究了不同粒径再生集料对混合料路用性能的影响。结果表明:各粒径再生集料分别替代天然集料后的再生混合料最佳含水率均大于天然混合料,最大干密度均小于天然... 采用分档替代法,在固定级配和水泥掺量下以再生集料等质量替代同档天然集料,研究了不同粒径再生集料对混合料路用性能的影响。结果表明:各粒径再生集料分别替代天然集料后的再生混合料最佳含水率均大于天然混合料,最大干密度均小于天然混合料;再生混合料7、28 d无侧限抗压强度及劈裂抗拉强度与天然混合料相近,但90 d龄期增长幅度明显小于天然混合料;与天然混合料相比,再生混合料90 d抗压回弹模量降低10.9%~38.6%;各粒径替换后的再生混合料干缩系数及温缩系数随着替换粒径的减小逐渐变大,其中≤2.36 mm粒径替换后,再生混合料28 d累计干缩应变约为天然混合料的1.68倍,总温缩系数为全天然混合料的1.53倍。研究成果可为再生集料在道路基层中的精细化利用提供参考。 展开更多
关键词 道路工程 分档掺配 无侧限抗压强度 劈裂抗拉强度 干燥收缩 温度收缩
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亚毫米级细粒人造金红石搅拌制粒研究
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作者 任雨荞 陈凤 +4 位作者 叶恩东 郭宇峰 张濛 王帅 杨凌志 《钢铁钒钛》 北大核心 2025年第2期83-89,共7页
对亚毫米级细粒人造金红石搅拌制粒工艺进行研究。通过试验对比,选定最佳制粒制度为:NA为添加剂,NA添加量1.5%,制粒水分20%,混合转速为300、600 r/min的时间分别为3、5 min,切割刀转速600 r/min。获得粒径为0.097~0.45 mm的制粒产品,制... 对亚毫米级细粒人造金红石搅拌制粒工艺进行研究。通过试验对比,选定最佳制粒制度为:NA为添加剂,NA添加量1.5%,制粒水分20%,混合转速为300、600 r/min的时间分别为3、5 min,切割刀转速600 r/min。获得粒径为0.097~0.45 mm的制粒产品,制粒后粒径小于0.097 mm的颗粒占比低于15%。对制粒产品进行强度检测,干燥及1000℃热处理后磨损指数分别为8.54%、4.40%,表明经过热处理后颗粒的强度得到有效提升。制粒后产物在流态化氯化环境中仍能保持完整形态,氯化反应30 min后,残余物中TiO_(2)占比仅12.64%,氯化效果较好。 展开更多
关键词 亚毫米级细粒人造金红石 高速搅拌 沸腾氯化 钛资源利用
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冻土路基温度场室内足尺模型试验 被引量:28
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作者 毛雪松 胡长顺 侯仲杰 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期30-33,共4页
取用多年冻土地区代表性土类进行冻土路基室内足尺模型试验,建立伴有相变的路基非稳态温度场的控制方程,在空间域内用采用混合单元的有限元网格划分,在时间域内用有限差分格式划分的混合解法进行有限元分析。通过对观测结果进行数值模拟... 取用多年冻土地区代表性土类进行冻土路基室内足尺模型试验,建立伴有相变的路基非稳态温度场的控制方程,在空间域内用采用混合单元的有限元网格划分,在时间域内用有限差分格式划分的混合解法进行有限元分析。通过对观测结果进行数值模拟,验证了数学模型的正确性。进一步分析路基温度场的变化规律与野外观测结果的变化规律,其一致性说明了室内模型试验可以模拟野外冻土路基的真实情况,为研究冻土路基温度场的变化规律提供了可靠依据。 展开更多
关键词 道路工程 冻土路基 温度场 足尺模型试验 数值模拟 有限元分析
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岩石地基上扩展基础的基底反力实测分析 被引量:13
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作者 阴可 程毅 +4 位作者 周晓雪 曾世仁 薛尚铃 徐革 胡朝晖 《重庆建筑大学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期72-74,共3页
通过对岩石地基上扩展基础试件现场试验的简介,在现场试验数据的基础上,根据测得的在各级加载下的基底反力数值,绘制出各型试件的基底反力分布曲线,总结出各型试件基底反力分布曲线的规律。并与土质地基上扩展基础的基底反力分布规律进... 通过对岩石地基上扩展基础试件现场试验的简介,在现场试验数据的基础上,根据测得的在各级加载下的基底反力数值,绘制出各型试件的基底反力分布曲线,总结出各型试件基底反力分布曲线的规律。并与土质地基上扩展基础的基底反力分布规律进行比较,通过分析差异的原因进一步说明影响岩石地基上扩展基础基底反力分布的内在因素主要为:地基土特性及荷载的差异,可以为扩展基础控制截面内力的计算提供参考依据,并为岩石地基上基础工程的研究和实际应用提供一定的参考价值。 展开更多
关键词 现场试验 岩石地基 基底反力分布
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橡胶垫浮置板道床结构减振性能研究 被引量:12
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作者 孙政 王卫东 +4 位作者 李术才 张敦福 薛翊国 聂益国 孙晓静 《山东大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2011年第5期108-113,共6页
为了解决在循环荷载作用下,地铁运行时可能会引起的地面环境振动及列车内部振动问题,建立了车轨耦合系统的动力学模型及有限元数值分析模型。利用有限元分析软件(ANSYS)对系统进行了模态分析与谐响应分析,得出系统的固有频率和固有振型... 为了解决在循环荷载作用下,地铁运行时可能会引起的地面环境振动及列车内部振动问题,建立了车轨耦合系统的动力学模型及有限元数值分析模型。利用有限元分析软件(ANSYS)对系统进行了模态分析与谐响应分析,得出系统的固有频率和固有振型,前六阶固有频率均小于7 Hz,且主要反映了车体和转向架的振动特性。车体竖向振动和地基反力的幅频特性曲线的分析表明在载荷频率低于1.3 Hz时,车体竖向振动幅值较大;载荷频率在10 Hz附近时,地基反力幅值较大。研究了橡胶垫刚度和阻尼对乘车舒适度和地基反力的影响。研究结果表明橡胶垫刚度越大,乘车舒适度越好、地基反力越大;橡胶垫阻尼越大,乘车舒适度越好,地基反力呈现先减小后增大的趋势。研究结果将为地铁轨道结构的选取提供理论依据。 展开更多
关键词 橡胶垫 地基反力 舒适度 耦合系统
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路基冻结过程中温度场对变形场的影响 被引量:9
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作者 毛雪松 王秉纲 +1 位作者 胡长顺 李宁 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期11-14,共4页
为了研究冻土路基温度场及变形场的动态变化规律,基于伴有相变的路基非稳态温度场控制方程和冻土路基变形场二维数值计算模型,对冬季冻土路基温度场和变形场进行了计算分析,得出路基深层土中的温度变化滞后于表层土和气温;对于冻胀冰锋... 为了研究冻土路基温度场及变形场的动态变化规律,基于伴有相变的路基非稳态温度场控制方程和冻土路基变形场二维数值计算模型,对冬季冻土路基温度场和变形场进行了计算分析,得出路基深层土中的温度变化滞后于表层土和气温;对于冻胀冰锋线分布较广的路基,其破坏易在坡脚处产生;冻胀冰锋线分布范围较小的路基,破坏大致发生在竖向位移较大的路基中部。结果表明,冻胀冰锋线的范围是影响路基变形场的重要因素。 展开更多
关键词 道路工程 冻土路基 冻胀冰锋线 非稳态温度场 变形场
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基于双剪统一强度理论的条形地基承载力计算 被引量:18
8
作者 王祥秋 杨林德 高文华 《土木工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第1期79-82,共4页
基于双剪统一强度理论和弹性理论的平面应变假设,对条形地基的承载力计算方法进行探讨。推导出了条形受荷地基承载力的计算公式,并对基于双剪统一强度准则与Mohr-Cou lomb准则的地基承载力计算结果进行对比分析,研究成果对合理确定地基... 基于双剪统一强度理论和弹性理论的平面应变假设,对条形地基的承载力计算方法进行探讨。推导出了条形受荷地基承载力的计算公式,并对基于双剪统一强度准则与Mohr-Cou lomb准则的地基承载力计算结果进行对比分析,研究成果对合理确定地基承载力具有重要的理论意义与实用价值。 展开更多
关键词 条形基础 地基承载力 双剪统一强度理论 Molar-Coulomb准则
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路基不均匀沉降对列车-路基上无砟轨道耦合系统动力特性的影响 被引量:23
9
作者 徐庆元 李斌 范浩 《铁道科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期13-19,共7页
基于列车—轨道耦合动力学理论,建立能够考虑无砟轨道-路基系统各部件间接触状态非线性的列车-路基上板式无砟轨道三维有限元耦合动力学模型,并对建立的三维非线性有限元耦合动力学模型进行相应的程序验证。运用建立的耦合动力学模型,... 基于列车—轨道耦合动力学理论,建立能够考虑无砟轨道-路基系统各部件间接触状态非线性的列车-路基上板式无砟轨道三维有限元耦合动力学模型,并对建立的三维非线性有限元耦合动力学模型进行相应的程序验证。运用建立的耦合动力学模型,对列车在路基上无砟轨道线路上高速行驶时,在路基不均匀沉降作用下,列车-路基上无砟轨道耦合系统动力特性进行研究。研究结果表明:(1)路基不均匀沉降对车体振动加速度影响极大,路基不均匀沉降对车体振动加速度的影响与无砟轨道类型关系不大;(2)路基不均匀沉降对无砟轨道各部件动力特性有一定的影响,影响小于对车体振动加速度的影响,路基不均匀沉降对无砟轨道各部件动力特性的影响与无砟轨道类型有一定的关系,总体来讲,路基不均匀沉降对I型板式无砟轨道动力特性的影响要大于对双块式及Ⅱ型板式无砟轨道的影响。 展开更多
关键词 三维非线性有限元 耦合动力学 路基上无砟轨道 不均匀沉降 高速铁路
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郑西客运专线黄土路基震陷研究 被引量:14
10
作者 谷天峰 王家鼎 王峻 《工程地质学报》 CSCD 北大核心 2009年第4期557-562,共6页
以郑(州)—西(安)高速铁路为例,选择潼关段为研究区,采集大量原状黄土样品,将合成的人工地震动输入到动三轴,进行了固结不排水的动三轴实验,估算了黄土路基的震陷量。建立了高速铁路黄土路基动力学数值模型,研究了50年10%和2%的超越概... 以郑(州)—西(安)高速铁路为例,选择潼关段为研究区,采集大量原状黄土样品,将合成的人工地震动输入到动三轴,进行了固结不排水的动三轴实验,估算了黄土路基的震陷量。建立了高速铁路黄土路基动力学数值模型,研究了50年10%和2%的超越概率水平的地震作用下黄土路基的永久变形,以及地基处理后黄土地基的永久变形。结果显示,沉降主要发生在Q3黄土中,强夯、DDC桩等地基处理措施可以有效的减少地基黄土的沉降变形,但是当处理深度不够时,在强地震作用下仍然可以产生较大沉降。研究成果为地基抗震处理提供了依据。 展开更多
关键词 黄土震陷 路基沉降 数值分析
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高速公路压煤区安全煤柱留设及其对路基稳定性的影响 被引量:14
11
作者 靳晓光 王建华 +1 位作者 康勇 李晓红 《中国地质灾害与防治学报》 CSCD 2005年第1期93-98,共6页
开采地下矿产(煤炭)资源和保护地面或地下结构物是既矛盾又统一的两个方面。在结构物下方留设保护煤柱是保护结构物免受地下开采影响的一种比较可靠的方法。但其缺点是要放弃部分矿产资源的开采。本文结合某高速公路压煤情况,围绕解决... 开采地下矿产(煤炭)资源和保护地面或地下结构物是既矛盾又统一的两个方面。在结构物下方留设保护煤柱是保护结构物免受地下开采影响的一种比较可靠的方法。但其缺点是要放弃部分矿产资源的开采。本文结合某高速公路压煤情况,围绕解决这一问题进行了研究。根据压煤区地质条件和相关规程,分析确定了走向移动角的大小、煤层留设宽度和禁采深度。通过不同走向移动角对路基稳定性影响的弹塑性有限元数值模拟,进一步分析了走向移动角对路基变形和稳定性以及路基压煤量的影响程度。在走向移动角δ=55°、60°和65°时,按数值模拟方案[1]~[6]步依次开采完成后,路基表面结点下沉最大位移为12 72~29 45mm,第[1]步和第[6]步路基不均匀沉降最大位移为7 33~8 19mm;在δ=70°时,路基表面结点下沉最大位移为44 00mm,第[1]步和第[6]步路基不均匀沉降最大位移达27 08mm。在55°≤δ≤70°范围内,煤层开采临空单元岩体最大剪应力皆小于煤层顶、底板泥岩夹页岩的抗压强度,其屈服接近度也大多小于1 0。据此提出了该区安全极限走向移动角取值(δ=65°),从δ=60°到δ=65°,可减少压煤量27 47万t,相对减少15 16%。为解决高速公路压煤问题提供了科学依据。 展开更多
关键词 高速公路 安全煤柱 走向移动角 路基稳定性 数值模拟 路基压煤量
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灰色模型结合神经网络预测高速公路路基沉降 被引量:11
12
作者 郭云开 朱禄宏 +4 位作者 熊旭平 谢琼 李建 安冠星 周烽松 《长沙理工大学学报(自然科学版)》 CAS 2016年第3期19-24,共6页
为了提高高速公路路基沉降的预测精度,考虑到神经网络强大的非线性映射功能,提出了"灰色模型+神经网络"对高速公路路基沉降进行预测分析的组合方法。以湖南省某高速公路路基沉降多个断面实测数据构建灰色GM(1,1)预测模型,在... 为了提高高速公路路基沉降的预测精度,考虑到神经网络强大的非线性映射功能,提出了"灰色模型+神经网络"对高速公路路基沉降进行预测分析的组合方法。以湖南省某高速公路路基沉降多个断面实测数据构建灰色GM(1,1)预测模型,在采用构建的灰色模型预测出相应结果的基础上,运用神经网络对预测结果做误差补偿。研究结果表明,采用实测数据拟合的灰色模型预测值的最大相对误差与运用神经网络对预测结果做误差补偿之后的优化预测值的最大相对误差分别为19.193%和0.865%,用神经网络对灰色模型预测结果做误差补偿之后的优化预测值与实测值更接近。 展开更多
关键词 路基沉降预测 GM(1 1)模型 神经网络 误差补偿 三次样条插值
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膨胀土及其改良土静动力特性对比分析 被引量:28
13
作者 雷胜友 惠会清 《岩石力学与工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第17期3003-3008,共6页
研究了膨胀土及其改良土的基本物理性质,进行了膨胀土的静动三轴试验。通过资料对比,发现膨胀土的静应力-应变曲线呈硬化型,改良土的呈软化型,改良土的静强度和粘聚力比膨胀土的大;发现两类土的动应力都存在一个门槛值,由此将土体的变... 研究了膨胀土及其改良土的基本物理性质,进行了膨胀土的静动三轴试验。通过资料对比,发现膨胀土的静应力-应变曲线呈硬化型,改良土的呈软化型,改良土的静强度和粘聚力比膨胀土的大;发现两类土的动应力都存在一个门槛值,由此将土体的变形分为稳定型及破坏型,得到了累积塑性变形与循环荷载次数间的关系表达式;还研究了两类土的骨干线、动弹性模量.动应变曲线的变化规律,未发现动荷载频率对土体变形有显著影响。 展开更多
关键词 土力学 膨胀土及其改良土 静动力特性 铁路基床
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基于Wieghardt地基桩基稳定性分析 被引量:6
14
作者 张永兴 陈林 吴曙光 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第S2期9-12,共4页
基于Wieghardt地基模型,考虑剪力对桩受力的影响,采用梁的弯曲微分方程,利用梁单元间的位移、转角、弯矩和剪力协调条件,桩的整体平衡条件,建立了不计桩侧摩阻力时两端铰支完全埋入土桩的微分方程,并给出了基桩屈曲临界荷载。利用本文... 基于Wieghardt地基模型,考虑剪力对桩受力的影响,采用梁的弯曲微分方程,利用梁单元间的位移、转角、弯矩和剪力协调条件,桩的整体平衡条件,建立了不计桩侧摩阻力时两端铰支完全埋入土桩的微分方程,并给出了基桩屈曲临界荷载。利用本文解答分析了地基基床系数对基桩屈曲荷载的影响。结果表明,考虑桩侧有明显土体约束计算的桩屈曲荷载明显大于没有考虑侧向约束桩的屈曲荷载,说明桩侧约束对桩的稳定性具有重要影响;并且基桩屈曲临界荷载随地基基床系数a,b增大而减小;对于细长桩,纯弯曲状态时的屈曲荷载小于考虑剪切变形时的屈曲荷载,实际计算中应采用纯弯曲变形时的屈曲荷载。 展开更多
关键词 Wieghardt地基 屈曲荷载 地基基床系数
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基于模拟试验的加筋切填路基变形影响因素敏感性分析 被引量:5
15
作者 苏永华 罗正东 常伟涛 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期12-16,共5页
结合邵怀高速公路溆浦连接线半填半挖路基的实际情况,应用有限元软件,采用Drucker-Prager弹塑性模型及四节点Goodman摩擦单元,对加筋切填路基变形影响因素的敏感性进行了模拟试验;通过定义敏感性因子对试验结果进行了分析,并对各影响因... 结合邵怀高速公路溆浦连接线半填半挖路基的实际情况,应用有限元软件,采用Drucker-Prager弹塑性模型及四节点Goodman摩擦单元,对加筋切填路基变形影响因素的敏感性进行了模拟试验;通过定义敏感性因子对试验结果进行了分析,并对各影响因素敏感性进行了排序.结果表明:对路堤顶面沉降影响因素敏感性排序前3位的依次为地基强度、路堤高度和加土工格室;对坡脚底部侧向位移影响因素敏感性排序前3位的依次为地基强度、加土工格室和路堤高度.试验显示了加筋切填路基的真实工作状态,结果可为同类型的后续研究和工程实践提供参考. 展开更多
关键词 加筋切填路基 土工合成材料 模拟试验 敏感性分析
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黄土地基-群桩基础-桥墩滞回特性模型试验研究 被引量:7
16
作者 张永亮 陈兴冲 丁明波 《兰州交通大学学报》 CAS 2007年第1期48-51,共4页
采用拟静力试验对黄土地基-群桩基础-重力式桥墩进行了大比例尺模型试验研究.通过在墩顶施加水平往复荷载,获得了桩、土及桥墩整体结构的滞回曲线及骨架曲线,并指出了该骨架曲线可简化为3部分组成,同时也探讨了低承台桩基础的破坏机理... 采用拟静力试验对黄土地基-群桩基础-重力式桥墩进行了大比例尺模型试验研究.通过在墩顶施加水平往复荷载,获得了桩、土及桥墩整体结构的滞回曲线及骨架曲线,并指出了该骨架曲线可简化为3部分组成,同时也探讨了低承台桩基础的破坏机理及耗能能力. 展开更多
关键词 群桩基础 拟静力试验 黄土地基 模型试验 骨架曲线
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软土地区盾构隧道下穿新建铁路的地基处理方案研究 被引量:9
17
作者 黄龙 周顺华 宫全美 《城市轨道交通研究》 北大核心 2013年第2期56-61,共6页
以宁波轨道交通1号线二期工程下穿同期施工的新建北环线为背景,针对所提出的铁路软土地基搅拌桩和桩板两种地基加固方案,通过理论计算、数值模拟和工程类比的方法,从路基工后沉降和结构安全角度进行了对比分析。研究表明,采用搅拌桩加... 以宁波轨道交通1号线二期工程下穿同期施工的新建北环线为背景,针对所提出的铁路软土地基搅拌桩和桩板两种地基加固方案,通过理论计算、数值模拟和工程类比的方法,从路基工后沉降和结构安全角度进行了对比分析。研究表明,采用搅拌桩加固时路基工后沉降将超过规范要求,盾构施工对桩板结构路基变形影响较小,采用桩板结构能满足要求。 展开更多
关键词 软土地区 路基沉降 路基加固
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CFG桩复合地基承载机理及其应用 被引量:4
18
作者 张守宝 燕丽 邓长国 《工业建筑》 CSCD 北大核心 2007年第z1期889-891,872,共4页
CFG桩地基处理技术正在越来越广泛的得到应用。结合其在北京奥运场馆建设中的应用,介绍了CFG桩复合地基的承载力特征;重点论述CFG桩复合地基的承载机理以及褥垫层的作用机理,CFG桩的桩长、桩径、单桩承载力等参数的选取,并对复合地基沉... CFG桩地基处理技术正在越来越广泛的得到应用。结合其在北京奥运场馆建设中的应用,介绍了CFG桩复合地基的承载力特征;重点论述CFG桩复合地基的承载机理以及褥垫层的作用机理,CFG桩的桩长、桩径、单桩承载力等参数的选取,并对复合地基沉降量进行计算和现场实测。应用表明,CFG桩复合地基能很好地适应本工程的需要,取得了良好的效果。 展开更多
关键词 CFG桩 复合地基 褥垫层 沉降量
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用扁铲侧胀试验求解侧向基床反力系数的方法 被引量:6
19
作者 唐世栋 林华国 傅纵 《地下空间》 CSCD 2004年第3期322-326,共5页
利用扁铲侧胀试验可以求解侧向基床反力系数Kh,但由于侧向基床反力系数的影响因素较多 ,因而求解公式比较复杂。本文对用DMT求解侧向基床反力系数的方法进行简化 ,提出较为简捷的查表法和拟合法 ,减少了计算程序 ,便于工程中实际的应用... 利用扁铲侧胀试验可以求解侧向基床反力系数Kh,但由于侧向基床反力系数的影响因素较多 ,因而求解公式比较复杂。本文对用DMT求解侧向基床反力系数的方法进行简化 ,提出较为简捷的查表法和拟合法 ,减少了计算程序 ,便于工程中实际的应用。通过对工程实例的计算 ,最大误差不大于 2 %。 展开更多
关键词 反力 扁铲侧胀试验 工程实例 计算程序 复杂 系数 查表法 基床 简化
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临界角法检焦系统的设计 被引量:8
20
作者 郝贤鹏 任建岳 邹振书 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期537-541,共5页
利用临界角法检焦具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点设计了亚微米级检焦系统。介绍了临界角法离焦检测的基本原理,通过合理假设,利用菲涅尔公式和高斯光学公式得到了离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界... 利用临界角法检焦具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点设计了亚微米级检焦系统。介绍了临界角法离焦检测的基本原理,通过合理假设,利用菲涅尔公式和高斯光学公式得到了离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界角法,利用He-Ne激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡等元器件组成离焦检测系统,实现离焦信号的提取;通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号(FES),以此获得FES的大小和变化趋势与离焦量的关系曲线。实验表明,临界角法探焦系统静态分辨力<15nm、线性范围可达±4μm,满足亚微米级检焦系统的设计要求。 展开更多
关键词 临界角法 离焦检焦 亚微米级
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