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单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述 被引量：6
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作者 王磊杰 张鸣 朱煜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期1759-1768,共10页
单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的... 单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的单体大尺寸高精度全息平面光栅制造技术的研究进展以及存在的问题,并着重对基于扫描干涉光刻技术的单体大尺寸高精度全息光栅制造技术的研究进展进行论述。最后,总结了大尺寸高精度平面光栅制造技术——扫描干涉光刻技术的发展趋势。 展开更多
关键词 全息平面光栅 扫描干涉光刻 条纹锁定 栅距/方向/相位控制
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燕尾槽衬底内条形锁相列阵激光器的理论分析
2
作者 赵方海 杜国同 +2 位作者 张小波 吴虹柱 高鼎三 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1993年第1期57-62,共6页
作者采用耦合模理论,对自制的燕尾槽衬底内条形锁相列阵激光器的近场和远场特性进行了计算和分析.
关键词 锁相列阵 耦合模 半导体激光器
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