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台阶高度对船用低排放塔式分级燃烧性能影响研究
1
作者 胡金洋 赵铁铮 +2 位作者 王俊 陆景贺 刘潇 《燃烧科学与技术》 北大核心 2025年第2期205-211,共7页
对塔式分级燃烧室旋流器结构进行优化,研究了旋流器主燃级和值班级之间的台阶高度对燃烧室的流场、燃烧性能及出口温度分布的影响.结果表明:随着台阶高度的增加,台阶回流区尺寸增大并挤压中心回流区头部,燃油分布均匀性降低,高温区面积... 对塔式分级燃烧室旋流器结构进行优化,研究了旋流器主燃级和值班级之间的台阶高度对燃烧室的流场、燃烧性能及出口温度分布的影响.结果表明:随着台阶高度的增加,台阶回流区尺寸增大并挤压中心回流区头部,燃油分布均匀性降低,高温区面积急剧上升,NO生成量和生成区域均扩大,高温烟气逐渐向出口两侧壁面移动,出口温度分布质量逐渐改善;压力损失系数逐渐降低,当台阶高度由4 mm增加至16 mm时,燃烧室压力损失系数和出口温度分布系数OTDF分别降低了0.2%和5.6%,NO排放量增加了62.1%. 展开更多
关键词 台阶高度 船舶燃气轮机 低排放燃烧室 旋流器
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等高反坡阶对赤水河流域坡耕地径流流失及土壤氮磷储存的影响
2
作者 王瑞 黎梅婷 +1 位作者 舒海苑 宋娅丽 《黑龙江科学》 2025年第10期17-19,23,共4页
针对赤水河流域典型的水土流失问题探究等高反坡阶(CRT)在不同种植类型坡耕地中的水土保持与土壤养分削减效应。通过在猕猴桃地、玉米与白菜混作地及玉米地中设置原状坡耕地(CK)和等高反坡阶(CRT)两种处理,对径流流失量、土壤碳、氮、... 针对赤水河流域典型的水土流失问题探究等高反坡阶(CRT)在不同种植类型坡耕地中的水土保持与土壤养分削减效应。通过在猕猴桃地、玉米与白菜混作地及玉米地中设置原状坡耕地(CK)和等高反坡阶(CRT)两种处理,对径流流失量、土壤碳、氮、磷含量等关键指标进行测定与统计分析。研究结果表明,等高反坡阶能够显著减少赤水河流域坡耕地的径流流失量,降低碳、氮、磷等养分流失,表现出良好的水土保持效果。 展开更多
关键词 赤水河流域 等高反坡阶 坡耕地 土壤养分 氮磷储存
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台阶高度对青年女性静态平衡能力的影响分析
3
作者 徐浩然 吕杰 +2 位作者 汪瑞琴 李雨珉 郭潘靖 《北京生物医学工程》 2025年第3期273-277,共5页
目的 研究青年女性在日常生活中处于不同台阶高度下的静态平衡能力。方法 招募20例健康青年女性作为研究对象,指示受试者穿戴Footscan足底压力鞋垫,实验在一个不受噪声干扰的环境中进行,先后在0 cm、5 cm、25 cm台阶高度下进行睁眼状态... 目的 研究青年女性在日常生活中处于不同台阶高度下的静态平衡能力。方法 招募20例健康青年女性作为研究对象,指示受试者穿戴Footscan足底压力鞋垫,实验在一个不受噪声干扰的环境中进行,先后在0 cm、5 cm、25 cm台阶高度下进行睁眼状态下的测试,受试者站立在台阶的中央,水平目视墙壁上的标志物“☉”,防止头部摆动对实验结果产生影响。开始实验后,记录实验数据10 s,使用Python软件对足底压力数据进行处理,得到下列平衡参数:压力中心(center of pressure,COP)内外侧(medial-lateral,ML)的调整速度、COP前后(anterior-posterior,AP)的调整速度、COP的调整速度、95%置信圆面积、ML振幅、AP振幅、最大摆动、最小摆动。结果 观察到COP-ML调整速度、COP-AP调整速度、COP调整速度、95%置信圆面积、ML振幅、AP振幅、最大摆动、最大摆动这些平衡参数随着台阶高度的不断上升其值也在不断变大。进一步比较优势侧足和非优势侧足,发现优势侧足中95%的置信圆面积、COP-AP调整速度、COP总调整速度、AP振幅在高度因素下具有统计学意义(P<0.05)。结论 (1)当青年女性站立在不同高度的台阶上时,其静态平衡能力随着台阶高度的增大而下降。(2)比较优势侧足和非优势侧足在AP方向上的COP调整速度,优势侧足作为主要侧通过采用踝关节调整策略来维持平衡以应对不同的台阶高度。 展开更多
关键词 压力中心 台阶高度 静态平衡 女性 肢体优势
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基于FLAC3D与正交试验的隧道围岩稳定性分析
4
作者 王旭阳 《路基工程》 2025年第4期207-212,共6页
基于某公路隧道Ⅴ级围岩区段三台阶法开挖项目,采用有限差分软件FLAC3D构建地层-隧道结构模型,分析隧道不同开挖阶段的围岩主应力场、竖向位移场、塑性区,基于数值模拟结果,结合模拟结果采用正交试验分析法,对围岩稳定性影响因素进行敏... 基于某公路隧道Ⅴ级围岩区段三台阶法开挖项目,采用有限差分软件FLAC3D构建地层-隧道结构模型,分析隧道不同开挖阶段的围岩主应力场、竖向位移场、塑性区,基于数值模拟结果,结合模拟结果采用正交试验分析法,对围岩稳定性影响因素进行敏感性分析及排序。结果表明:随台阶分步开挖,围岩拱脚逐渐出现应力集中,拱顶沉降主要发生于上台阶开挖阶段,拱脚、拱肩塑性区向深部发展;为提高开挖稳定性,建议减小上台阶高度、提高中下台阶高度,以保证开挖稳定性,可调整为上台阶3.1 m、中台阶3.4 m、下台阶3.4 m;通过极方差分析,得出稳定性影响因素敏感性排序为弹性模量、黏聚力、泊松比、内摩擦角。 展开更多
关键词 公路隧道 FLAC3D模拟 台阶高度 正交试验 敏感性排序
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扫描探针显微镜校准装置
5
作者 徐小芳 张旭敏 《模具制造》 2025年第9期42-44,共3页
依据计量标准考核规范要求,结合扫描探针电子显微镜计量标准工作的方法原理和校准方法,对测量结果进行了重复性、稳定性考核,对校准结果进行了不确定度评定,并用比对法对校准结果和测量结果的不确定度进行了验证。结果表明,该装置符合... 依据计量标准考核规范要求,结合扫描探针电子显微镜计量标准工作的方法原理和校准方法,对测量结果进行了重复性、稳定性考核,对校准结果进行了不确定度评定,并用比对法对校准结果和测量结果的不确定度进行了验证。结果表明,该装置符合量值溯源和传递要求,可开展扫描探针显微镜校准工作。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 校准 纳米台阶高度标准样板 二维格栅样板
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大采高综采工作面老顶来压步距显现规律综合预测分析
6
作者 王小龙 王小涛 《煤炭与化工》 2025年第10期34-37,108,共5页
以高河煤矿首个构建大采高工作面的地质环境为工程依托,采用理论建模分析、相似模拟试验和现场实况观测等手段,对该工作面的来压步距进行研究。结果表明:①9102工作面初次来压步距为32~35 m,周期来压步距在15~23 m,最大周期来压步距为22... 以高河煤矿首个构建大采高工作面的地质环境为工程依托,采用理论建模分析、相似模拟试验和现场实况观测等手段,对该工作面的来压步距进行研究。结果表明:①9102工作面初次来压步距为32~35 m,周期来压步距在15~23 m,最大周期来压步距为22.1 m,最小周期来压步距在17.7 m;②相似模拟实验结果表明,由于一次采出厚度较大,随工作面推进,顶板破坏带高度成倍增大,工作面初次来压步距35 m,工作面出现第一次周期来压步距是15 m,发生第二次周期来压步距是20 m,两次来压步距的平均值是17.5 m;③经现场实测表明,9102工作面实际初次来压步距为32.3 m,周期来压步距为17.7~22.1 m,同理论计算和相似模拟实验所得值可较好吻合。该研究为工作面支护工作提供依据,促进了煤炭资源高产高效和安全开采。 展开更多
关键词 大采高 来压步距 相似模拟 工作阻力
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不同台阶对可润湿性侧翼QFN爬锡高度的影响
7
作者 赵伶俐 杨宏珂 +2 位作者 赵佳磊 付宇 周少明 《电子与封装》 2025年第9期29-34,共6页
近年来,方形扁平无引脚(QFN)封装凭借优异的电学与热学性能,在市场上占据越来越多的份额。作为QFN的衍生产品,可润湿性侧翼(WF)QFN因其优异的可润湿性在汽车电子领域展现出巨大的发展潜力。采用模拟爬锡的方法,探究不同的一步切割深度... 近年来,方形扁平无引脚(QFN)封装凭借优异的电学与热学性能,在市场上占据越来越多的份额。作为QFN的衍生产品,可润湿性侧翼(WF)QFN因其优异的可润湿性在汽车电子领域展现出巨大的发展潜力。采用模拟爬锡的方法,探究不同的一步切割深度与台阶宽度对QFN器件爬锡高度的影响,可以近似模拟器件焊接在PCB上的爬锡效果。结果表明,当台阶切割深度≥0.05 mm或台阶宽度≥0.02 mm时,WF QFN器件的润湿性明显增加,爬锡高度显著提升,可有效改善后期焊接的可靠性。 展开更多
关键词 可润湿性 侧翼QFN 切割深度 台阶宽度 爬锡高度
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篦冷机固定篦床优化改造
8
作者 杨支猛 朱学强 +1 位作者 袁攀 秦学恒 《水泥技术》 2025年第6期63-67,共5页
某水泥熟料生产线烧成系统篦冷机存在入窑二次风温及入分解炉三次风温波动大、煤耗偏高、篦冷机一段“十字棒”烧损频繁等问题。分析发现,固定篦床料层走料不稳是造成上述问题的主要原因。提出了降低固定篦床与水平篦床的台段高度、调... 某水泥熟料生产线烧成系统篦冷机存在入窑二次风温及入分解炉三次风温波动大、煤耗偏高、篦冷机一段“十字棒”烧损频繁等问题。分析发现,固定篦床料层走料不稳是造成上述问题的主要原因。提出了降低固定篦床与水平篦床的台段高度、调整阶梯高度、整体旋转固定篦床等解决措施。改造后,物料走料稳定,急冷效果提升,二、三次风温提升明显且波动幅度减小,煤耗下降,“十字棒”烧损现象基本消除,熟料质量提高。本次改造达到了预期目标,有效稳定了烧成系统热工制度,提高了热回收效率,经济效益显著。 展开更多
关键词 篦冷机 固定篦床 台段高度 阶梯角度 急冷效果
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无底柱分段崩落法放矿参数优化研究
9
作者 刘海东 吴艳波 +2 位作者 胡运兵 康跃明 肖勇 《非金属矿》 2025年第4期93-96,101,共5页
针对矿井扩建与产量提升需求,采用响应面法对西山煤矿放矿结构参数进行优化。基于单因素试验与前期参数确定进路间距、分段高度及放矿步距取值范围,结合Design Expert软件建立优化模型。结果表明,各因素对矿石回收率的影响排序为:进路间... 针对矿井扩建与产量提升需求,采用响应面法对西山煤矿放矿结构参数进行优化。基于单因素试验与前期参数确定进路间距、分段高度及放矿步距取值范围,结合Design Expert软件建立优化模型。结果表明,各因素对矿石回收率的影响排序为:进路间距>分段高度>放矿步距,其中分段高度与放矿步距交互作用对回收率影响最为显著。优化参数组合为分段高度17.0 m、进路间距16.0 m、放矿步距2.9 m时,预测矿石回收率达94.07%。现场验证回收率为93.52%。研究发现矿石回收率提升会导致废石混入率同步上升,需通过参数动态调整实现回收率与混入率最优平衡。本研究为类似矿山放矿工程参数选取提供了科学依据。 展开更多
关键词 无底柱分段落煤 参数优化 响应面法 进路间距 分段高度 放矿步距
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不同台阶高度对中心分级燃烧室点火熄火性能的影响 被引量：28
10
作者 付镇柏 林宇震 +1 位作者 傅奇慧 张弛 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1062-1070,共9页
设计了一种贫油燃烧中心分级燃烧室,采用单头部矩形试验件,试验研究了3种不同台阶高度对点火熄火性能的影响.试验中只有预燃级喷嘴供油工作,在常温常压、常温低压条件下进行了贫油点火试验,在常温常压、加温常压下进行了贫油熄火试验.... 设计了一种贫油燃烧中心分级燃烧室,采用单头部矩形试验件,试验研究了3种不同台阶高度对点火熄火性能的影响.试验中只有预燃级喷嘴供油工作,在常温常压、常温低压条件下进行了贫油点火试验,在常温常压、加温常压下进行了贫油熄火试验.结果表明：台阶高度越大,贫油点火边界越宽,同时贫油熄火边界越宽;进口温度的升高有助于改善贫油熄火性能,并缩小3种方案贫油熄火油气比的差距,在320~570K的进口温度范围内,贫油熄火油气比的最大差距由40%减小到13%;3种方案都具有较好的常温负压点火性能,且在0.5%~1.5%的火焰筒进出口总压降下,贫油点火油气比差异不大,最大相差不超过10%. 展开更多
关键词 低污染 中心分级燃烧室 点火 熄火 台阶高度
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影响阶梯溢流坝消能率的因素 被引量：60
11
作者 陈群 戴光清 +1 位作者 朱分清 杨庆 《水力发电学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期95-104,共10页
为了探求提高阶梯溢流坝消能率的措施 ,本文首次采用紊流数值模拟方法 ,对影响阶梯溢流坝消能率的一些主要因素 ,如单宽流量、坝坡、阶梯高度等进行研究。结果表明 ,消能率随单宽流量的增大而显著降低。坝坡越缓 ,消能率越高。阶梯高度... 为了探求提高阶梯溢流坝消能率的措施 ,本文首次采用紊流数值模拟方法 ,对影响阶梯溢流坝消能率的一些主要因素 ,如单宽流量、坝坡、阶梯高度等进行研究。结果表明 ,消能率随单宽流量的增大而显著降低。坝坡越缓 ,消能率越高。阶梯高度对消能率的影响与单宽流量有关 ,当单宽流量较小时 ,消能率随阶梯高度变化较大 ;当单宽流量较大时 ,阶梯高度对消能率的影响很小。根据紊流数值模拟得到的坝面流场的紊动动能和紊动耗散率分布 ,对单宽流量增大时消能率降低的根本原因进行了探讨 ,提出了一些提高消能率的具体措施。 展开更多
关键词 水力学 阶梯溢流坝 数值模拟 单宽流量 坝坡 阶梯高度
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基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究 被引量：11
12
作者 施玉书 李伟 +2 位作者 余茜茜 景蔚萱 胡晓东 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期79-86,共8页
纳米台阶高度标准物质是一种具有特定量值的物理标准物质,主要用于量值传递以及相关纳米测量仪器的校准。在获批国家标准物质之前,其量值的准确性、稳定性等计量特性必须经过严格的计量测试,才能得到行政许可部门的认可。针对5 nm这一... 纳米台阶高度标准物质是一种具有特定量值的物理标准物质,主要用于量值传递以及相关纳米测量仪器的校准。在获批国家标准物质之前,其量值的准确性、稳定性等计量特性必须经过严格的计量测试,才能得到行政许可部门的认可。针对5 nm这一较小量值的纳米台阶高度标准物质的定值方法进行了详细介绍,由中国计量科学研究院自主研制建立的毫米级纳米几何结构计量标准装置采用单一原级的定值方式进行严格定值,采用方差分析法进行均匀性检验,保障了台阶高度量值的溯源性与准确性,定值结果为:h=(5.8±1.0) nm,k=2,并在12个月的时间内进行稳定性监测,最终实现了国家一级标准物质的成功申报。 展开更多
关键词 原子力显微镜 标准物质 台阶高度 溯源性 计量学
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公路路桥过渡段搭板设计参数优化 被引量：14
13
作者 沈宇鹏 张尧禹 +3 位作者 柴树山 魏庆朝 陈敦昌 倪永军 《北京交通大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期55-60,68,共7页
以车轮动荷载系数、桥面与引道路面容许台阶高度作为控制指标,建立七自由度车辆模型和过渡段三维动力学模型,分析桥头搭板的不同参数组合下车辆和过渡段的动力特性,提出搭板的优化设计参数,包括搭板厚度、弹性模量、长度和埋深.结果表明... 以车轮动荷载系数、桥面与引道路面容许台阶高度作为控制指标,建立七自由度车辆模型和过渡段三维动力学模型,分析桥头搭板的不同参数组合下车辆和过渡段的动力特性,提出搭板的优化设计参数,包括搭板厚度、弹性模量、长度和埋深.结果表明,考虑错台时,板厚不小于30cm,弹性模量不小于2.8×10~4 MPa,长度为8.3m能够满足桥头轻微跳车的要求和B级路面的后轮动荷载系数标准;弹性模量为2.8×10~4 MPa,长度为8.3m的条件下,板厚不小于45cm时能够满足A级路面的后轮最大动荷载系数标准;不考虑错台时,板厚为30cm,弹性模量为2.8×10~4 MPa,长度不小于8.3m时能够满足B级路面的前、后轮动荷载系数标准;搭板的埋深对路基累积沉降的影响不显著.建议搭板材质选取C25,长度、厚度分别不小于8.3m和30cm,埋深不大于0.1m,以满足车轮动荷载系数和桥头轻微跳车的要求. 展开更多
关键词 公路工程 桥头搭板 评价指标 参数优化 动载系数 容许台阶高度
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光学显微三维测量解耦合准则 被引量：10
14
作者 刘俭 谷康 +1 位作者 李梦周 谭久彬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期1-7,共7页
光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器... 光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。 展开更多
关键词 解耦合准则 光学显微测量 薄样品测量 深沟槽测量 台阶高度
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低压下碱性铜抛光液对300mm多层铜布线平坦化的研究 被引量：7
15
作者 郑伟艳 刘玉岭 +4 位作者 王辰伟 串利伟 魏文浩 岳红维 曹冠龙 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第24期3472-3474,共3页
随着微电子技术进一步发展,低k介质的引入使得铜的化学机械平坦化(CMP)须在低压下进行。提出了一种新型碱性铜抛光液,其不含常用的腐蚀抑制剂,并研究了其在低压下抛光及平坦化性能。静态条件下,铜的腐蚀速率较低仅为2nm/min。在低压10.3... 随着微电子技术进一步发展,低k介质的引入使得铜的化学机械平坦化(CMP)须在低压下进行。提出了一种新型碱性铜抛光液,其不含常用的腐蚀抑制剂,并研究了其在低压下抛光及平坦化性能。静态条件下,铜的腐蚀速率较低仅为2nm/min。在低压10.34kPa时,铜的平均去除速率可达633.3nm/min,片内非均匀性(WIWNU)为2.44%。平坦化效率较高,8层铜布线平坦化结果表明,60s即可消去约794.6nm的高低差,且抛光后表面粗糙度低(0.178nm),表面状态好,结果表明此抛光液可用于多层铜布线的平坦化。 展开更多
关键词 低压 碱性 铜布线化学机械平坦化 高低差 速率
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台阶高度对LESS燃烧室的影响研究 被引量：7
16
作者 康尧 林宇震 +1 位作者 付镇柏 张弛 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期941-949,共9页
一种单环腔中心分级低污染燃烧室,由中心的预燃级和外围的主燃级构成,在主预燃级之间存在一定的物理隔离(台阶高度),为了研究主预燃级之间不同台阶高度对氮氧化物(NOX)排放的影响,在慢车工况参数下,采用单头部矩形试验件进行了污染排放... 一种单环腔中心分级低污染燃烧室,由中心的预燃级和外围的主燃级构成,在主预燃级之间存在一定的物理隔离(台阶高度),为了研究主预燃级之间不同台阶高度对氮氧化物(NOX)排放的影响,在慢车工况参数下,采用单头部矩形试验件进行了污染排放测试试验,并利用Fluent商用软件进行了冷态流场和热态燃烧性能的数值模拟分析。结果表明:台阶高度对NOX排放有很大影响,当台阶高度增大38%,中心回流区表面积增大6.7%,体积增大16.4%,轴向长度有所减小,NOX排放指数升高35.1%。 展开更多
关键词 航空发动机 中心分级燃烧室 台阶高度 数值分析
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碱性Cu布线抛光液速率特性及平坦化性能的研究 被引量：5
17
作者 唐心亮 刘玉岭 +2 位作者 王辰伟 牛新环 高宝红 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第20期2804-2806,共3页
Cu的双大马士革工艺加上化学机械平坦化(CMP)技术是目前制备Cu布线行之有效的方法。CuCMP制程中,抛光液起着至关重要的作用,针对目前国际主流酸性抛光液存在的问题和Cu及其氧化物与氢氧化物不溶于水的难题,研发了多羟多胺碱性Cu布线抛光... Cu的双大马士革工艺加上化学机械平坦化(CMP)技术是目前制备Cu布线行之有效的方法。CuCMP制程中,抛光液起着至关重要的作用,针对目前国际主流酸性抛光液存在的问题和Cu及其氧化物与氢氧化物不溶于水的难题,研发了多羟多胺碱性Cu布线抛光液,研究了此抛光液随压力、转速及流量变化的特性,同时也研究了其对布线片的平坦化能力。结果表明,抛光液对Cu的去除速率随压力的增大而显著增大,随转速及流量的增加,Cu的去除速率增大缓慢,显著性依次为压力转速>流量。通过对Cu布线抛光实验表明,此抛光液能够实现多种尺寸Cu线条的平坦化。说明研发的碱性抛光液能够实现Cu布线抛光后产物可溶,且不含抑制剂等,能够实现布线片的平坦化。 展开更多
关键词 Cu布线化学机械平坦化 碱性 速率 高低差
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基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征 被引量：8
18
作者 马龙 郭彤 +4 位作者 赵健 徐临燕 陈津平 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第1期39-43,共5页
将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carr... 将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carré法应用于白光干涉信号的相位提取的精度,对不同扫描步距以及不同信噪比情况下的测量进行了计算机仿真,确定了测量参数.结合重心法将相位计算的数据范围直接定位于干涉信号的零级条纹,从而省去了相位解包裹过程.通过对微谐振器和标准台阶的测量说明了该方法的有效性,并使用白光相移干涉、白光垂直扫描和单色光相移干涉对44 nm标准台阶进行了测量,并对测量结果进行了比较. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 白光相移干涉 Carré相移算法 标准台阶
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利用计量型原子力显微镜进行纳米台阶高度测量 被引量：4
19
作者 陈治 高思田 +3 位作者 卢明臻 杜华 崔建军 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第4期288-292,共5页
计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成.针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作.... 计量型原子力显微镜纳米测量系统主要由扫描器、测针位置传感器和一体化微型激光干涉三维测量系统等部分构成.针对计量型原子力显微测量系统,采用三维激光干涉测量系统作为测量基准,以实现原子力测量系统的纳米尺度量值溯源和校准工作.建立了校准模型,分析了扫描器9项主要误差项,并将该模型应用到原子力显微镜扫描器的校准中.校准后的结果表明,除x轴位置误差不超过±2,nm外,其他8项的残余误差均不超过±1,nm.通过台阶高度国际比对,建立了台阶高度标准计算方法及不确定度分析模型.台阶高度国际比对的测量结果表明,计量型原子力显微镜的测量值与参考值相差均小于1.5,nm. 展开更多
关键词 计量学 纳米计量 原子力显微镜 台阶高度 测量不确定度
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时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征 被引量：5
20
作者 郭彤 胡春光 +2 位作者 陈津平 傅星 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期44-49,共6页
提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器... 提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物镜,利用高性能压电陶瓷物镜纳米定位器实现垂直方向的相移,并通过健壮的5帧Hariharan算法获取表面的相位信息.通过测量美国国家标准研究院(NIST)认证的标准台阶对系统进行了精度标定,并通过测量微谐振器和压力传感器微薄膜的几何尺寸说明了该方法作为测量和过程表征工具的功能. 展开更多
关键词 纳米计量 微机电系统 相移干涉术 Hariharan算法 台阶标准
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