高刚性平板扫描器的耦合误差抑制方法

1

作者 谢张宁 管钰晴 +7 位作者 张剑峰 张小嫚 梁利杰 刘丽琴 苏祎 朱言瑧 张玉杰 雷李华 《红外与激光工程》 北大核心 2026年第3期280-291,共12页

在先进制造、半导体芯片等领域对微观测量精度要求愈发严苛的背景下,原子力显微镜(AFM)平板扫描器的耦合误差成为制约测量精度的关键瓶颈。围绕高刚性弓型结构平板扫描器的耦合误差控制展开研究,通过理论建模、参数优化、仿真验证与实... 在先进制造、半导体芯片等领域对微观测量精度要求愈发严苛的背景下,原子力显微镜(AFM)平板扫描器的耦合误差成为制约测量精度的关键瓶颈。围绕高刚性弓型结构平板扫描器的耦合误差控制展开研究,通过理论建模、参数优化、仿真验证与实验校准实现误差有效抑制。基于分段刚度法构建弓型柔性铰链切向形变模型,推导切向力与耦合位移的定量关系;采用序列二次规划法优化铰链长度、宽度等关键参数,确定最优结构参数,平衡运动灵活性与抗耦合能力。仿真结果表明,扫描器最大等效应力远低于材料许用应力,一阶固有频率314.38 Hz可避免共振干扰。提出基于二维自溯源铬栅格标准物质的正交误差校准方法,闭环状态下经校准后耦合角度误差降至0.018°,显著提升测量精度,为计量型AFM扫描器性能优化提供可靠技术方案。 展开更多

关键词 误差校准 平板扫描器 耦合误差 弓型柔性铰链 参数优化

原文传递

基于同步性能综合指标的超精密运动台迭代学习控制

2

作者 周昕 齐月静 +2 位作者 武志鹏 齐威 李爱琳 《控制与决策》 北大核心 2025年第4期1257-1266,共10页

超精密运动台是光刻机的关键组成部分,包括工件台和掩模台,二者的同步性能直接影响光刻机的套刻精度和关键尺寸均匀性.针对工件台和掩模台的同步控制问题,提出一种基于同步性能综合指标的迭代学习控制(MASD-ILC),能够减小同步误差,且有... 超精密运动台是光刻机的关键组成部分,包括工件台和掩模台,二者的同步性能直接影响光刻机的套刻精度和关键尺寸均匀性.针对工件台和掩模台的同步控制问题,提出一种基于同步性能综合指标的迭代学习控制(MASD-ILC),能够减小同步误差,且有效抑制推力扰动.验证所提方法的学习律沿时间轴和迭代轴的收敛性并给出收敛条件,分析学习增益和权重系数对学习律收敛性的影响,通过仿真验证所提出方法的有效性.与传统基于误差的迭代控制(e-ILC)相比,所提出的MASD-ILC收敛速度更快、收敛误差更小、鲁棒性更好.基于MASD-ILC的系统经过迭代学习,同步性能综合指标从31.56 nm降低到0.10 nm,存在推力扰动和模型不确定时,MASD-ILC的收敛速度和收敛误差不受影响. 展开更多

关键词 光刻机 工件台 掩模台 迭代学习 同步控制 同步性能综合指标

原文传递

超精密气浮工件台的微振动及其抑制 被引量：14

3

作者 张鸣 朱煜 段广洪 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第11期47-49,共3页

超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机中的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。这种系统所采用的气浮轴承如果设计不当,会导致系统发生微幅振动,从而影响系统精度。文章通过分析微振动的成因和影响因素,提出了相... 超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机中的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。这种系统所采用的气浮轴承如果设计不当,会导致系统发生微幅振动,从而影响系统精度。文章通过分析微振动的成因和影响因素,提出了相应的抑制措施,保障了超精密气浮工件台系统的精度实现。 展开更多

关键词 扫描型光刻机 工件台 气浮轴承 微振动

在线阅读 下载PDF 职称材料

生物芯片扫描仪高速扫描台研究 被引量：1

4

作者 陈兴俊 胡松 +1 位作者 姚汉民 刘业异 《微纳电子技术》 CAS 2002年第9期32-35,共4页

随着生物工程技术的不断发展,生物芯片的制作技术和检测技术越来越受到人们的关注。简要介绍了生物芯片的概念及其应用、生物芯片检测仪的种类及国外的发展状况,着重阐述了国内研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪的高速二维扫描台,主要包... 随着生物工程技术的不断发展,生物芯片的制作技术和检测技术越来越受到人们的关注。简要介绍了生物芯片的概念及其应用、生物芯片检测仪的种类及国外的发展状况,着重阐述了国内研制的激光共聚焦生物芯片扫描仪的高速二维扫描台,主要包括扫描台的结构、扫描原理、技术要求和如何实现这些要求以及扫描台控制的实现问题等。最后简要介绍了目前国内生物芯片检测仪的研究进展情况。 展开更多

关键词 生物芯片 扫描仪 高速扫描台 基因

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于DC-MIKE Actuator精密扫描平台

5

作者 周强 胡一达 +1 位作者 宗光华 毕树生 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期454-456,共3页

本文详细介绍了基于 DC- MIKE Actuator用于生物芯片检测仪的精密扫描平台的机械结构 ,驱动、控制方法。设计并实现了以 L M6 2 9、L MD182 4 5为核心器件的精密平台 PID控制器。最后讨论了 PID参数整定方法与实验结果 ,并给出了各项参... 本文详细介绍了基于 DC- MIKE Actuator用于生物芯片检测仪的精密扫描平台的机械结构 ,驱动、控制方法。设计并实现了以 L M6 2 9、L MD182 4 5为核心器件的精密平台 PID控制器。最后讨论了 PID参数整定方法与实验结果 ,并给出了各项参数的参考值。实验表明整个系统精度完全满足扫描要求 ,运行可靠。 展开更多

关键词 直线电机 生物芯片检测仪 扫描平台 PID

在线阅读 下载PDF 职称材料

CT扫描在鼻咽癌临床分期中的作用：附60例报告

6

作者 折虹 程炳权 《宁夏医学杂志》 CAS 1994年第1期9-12,共4页

通过６０例鼻咽癌患者放疗前鼻咽ＣＴ扫描图象，分析ＣＴ扫描对鼻咽癌临床分期的作用。ＣＴ扫描可发现粘膜下软组织的病变，并能显示病变向鼻咽腔外邻近组织侵犯的范围及颅底骨质破坏程度。结合ＣＴ扫描使常规临床分期发生了较大的变化... 通过６０例鼻咽癌患者放疗前鼻咽ＣＴ扫描图象，分析ＣＴ扫描对鼻咽癌临床分期的作用。ＣＴ扫描可发现粘膜下软组织的病变，并能显示病变向鼻咽腔外邻近组织侵犯的范围及颅底骨质破坏程度。结合ＣＴ扫描使常规临床分期发生了较大的变化，Ｔ０从１．６％下降为０％；Ｔ１、Ｔ２分别从１６．６％、３０％下降为５％、１０％；而Ｔ３，Ｔ４分别由３１．６％、２０％上升为３５％、５０％。６０例中常规临床分期与结合ＣＴ扫描分期相符者２２例（３６．７％），Ｔ分期升级者３８例（６３．３％），其中以Ｔ２上升为Ｔ３、Ｔ４者最多——４２％（１６／３８），Ｔ３上升为Ｔ４者次之——３６．８％（１４／３８）。升级原因主要是肿瘤超腔侵犯了咽旁间隙、颈动脉鞘区和颅底骨质破坏等。结合ＣＴ扫描能较准确地提供临床分期的依据，使放疗方案设计更合理，有利于提高疗效，延长生存期。 展开更多

关键词 鼻咽肿瘤 癌 肿瘤分期 CT

暂未订购

超声引导植入^(125)Ⅰ放射性粒子治疗晚期肝癌 被引量：4

7

作者 陈松旺 黄岩 +1 位作者 孟凡荣 赵美丽 《中国医疗设备》 2011年第9期33-35,共3页

目的探讨超声引导下植入125I放射性粒子治疗晚期肝癌的价值。方法 在超声引导下,经皮穿刺肝癌,并依据放射治疗计划植入适当数量的125I放射性粒子。结果 30例患者粒子植入均获成功。超声能清晰显示肿块,准确引导穿刺及粒子植入。30例患... 目的探讨超声引导下植入125I放射性粒子治疗晚期肝癌的价值。方法 在超声引导下,经皮穿刺肝癌,并依据放射治疗计划植入适当数量的125I放射性粒子。结果 30例患者粒子植入均获成功。超声能清晰显示肿块,准确引导穿刺及粒子植入。30例患者中,肿瘤完全缓解0例,部分缓解18例,无变化8例,进展4例。结论超声引导下植入125I放射性粒子治疗晚期肝癌安全、微创、并发症少,疗效肯定。 展开更多

关键词 彩色多普勒超声诊断仪 超声引导 125Ⅰ放射性粒子 植入 肝肿瘤

暂未订购

腹腔镜联合影像设备对胃癌患者手术前分期的评估价值 被引量：2

8

作者 胡阳 《腹腔镜外科杂志》 2015年第1期35-38,共4页

目的:探讨腹腔镜联合CT对胃癌患者术前分期的临床评估价值。方法:选取2012年6月至2014年6月182例胃癌根治手术患者为研究对象,患者术前均行CT序贯腹腔镜检查对临床分期进行评估,并与病理结果进行对比。结果:对胃癌T分期诊断准确率:CT为8... 目的:探讨腹腔镜联合CT对胃癌患者术前分期的临床评估价值。方法:选取2012年6月至2014年6月182例胃癌根治手术患者为研究对象,患者术前均行CT序贯腹腔镜检查对临床分期进行评估,并与病理结果进行对比。结果:对胃癌T分期诊断准确率:CT为80.77%(147/182),CT联合腹腔镜为91.21%(166/182),差异有统计学意义(P<0.05)。对胃癌手术N分期诊断准确率:CT为74.73%(136/182),CT联合腹腔镜为90.11%(164/182),差异有统计学意义(P<0.05)。对胃癌手术TNM分期诊断准确率:CT为69.78%(127/182),CT联合腹腔镜为92.31%(168/182),差异有统计学意义(P<0.05)。结论:CT诊断胃癌TNM分期准确、有效,联合腹腔镜可最大限度地提高诊断准确性。 展开更多

关键词 腹腔镜检查 体层摄影扫描仪 X线计算机 胃肿瘤 肿瘤分期 评估价值

暂未订购

医院需重视早期诊断设备的引进

9

作者 尚辉 苏本华 戚桂烨 《医疗设备信息》 2007年第7期53-54,共2页

引进早期诊断设备是早期诊疗模式的需要。本文介绍了引进早期诊断设备的意义、种类及应注意的问题。

关键词 早期诊断 断层扫描 X光摄像 激光扫描

暂未订购

激光共聚焦生物芯片扫描仪XY扫描台控制系统设计

10

作者 付小芳 罗正全 +1 位作者 马平 刘业异 《微纳电子技术》 CAS 2003年第1期38-40,共3页

介绍了生物芯片、激光共聚焦生物芯片扫描仪的概念以及高精度快速扫描台的意义,主要介绍对扫描台的运动进行闭环控制的原理和以DSP作为处理器实现这一控制系统的软硬件设计结果。

关键词 生物芯片 激光 扫描仪 扫描台 DSP 光栅传感器 数字信号处理

在线阅读 下载PDF 职称材料

半钢二次法成型机上安全产品的应用 被引量：1

11

作者 吴双丽 范磊亭 +1 位作者 赵尊梅 傅强 《橡塑技术与装备》 CAS 2019年第11期47-50,共4页

制造业中安全生产是保证企业发展的关键,对于轮胎成型机来说,为保证操作人员的安全,需多处采用安全防护产品以提高设备的安全性能。为此,结合我公司生产的半钢二次法成型机,对相关安全产品包括安全光幕、安全地毯、安全扫描仪、安全触... 制造业中安全生产是保证企业发展的关键,对于轮胎成型机来说,为保证操作人员的安全,需多处采用安全防护产品以提高设备的安全性能。为此,结合我公司生产的半钢二次法成型机,对相关安全产品包括安全光幕、安全地毯、安全扫描仪、安全触边、安全继电器及安全PLC等的应用及特点进行阐述分析和展望。 展开更多

关键词 半钢二次法成型机 安全光幕 地毯 激光扫描仪 安全PLC

在线阅读 下载PDF 职称材料

乳腺超声自动容积成像技术鉴别乳腺肿块及肿瘤TNM分期中的应用

12

作者 吴仲兰 白阿妮 《中国煤炭工业医学杂志》 2023年第2期204-209,共6页

目的 探析乳腺超声自动容积成像技术(ABVS)鉴别乳腺肿块及肿瘤TNM分期中的应用。方法 纳入于2018年9月—2021年1月经榆林市第一医院超声科收治的98例乳腺肿块患者病历资料作回顾性分析,均进行常规手持超声(HHUS)、ABVS检查,比对病理检... 目的 探析乳腺超声自动容积成像技术(ABVS)鉴别乳腺肿块及肿瘤TNM分期中的应用。方法 纳入于2018年9月—2021年1月经榆林市第一医院超声科收治的98例乳腺肿块患者病历资料作回顾性分析,均进行常规手持超声(HHUS)、ABVS检查,比对病理检查“金标准”,统计两种检查方式影像特征,记录检查时间,统计“汇聚征”乳腺肿块患者恶性检出率,并分析HHUS、ABVS用于乳腺肿瘤良恶性及肿瘤TNM分期诊断效能。结果 经病理检查,98例乳腺肿块患者良性62例(63.27%);除形态、边界、边缘、纵横比、后方回声外,ABVS检查微钙化及汇集征发生率较HHUS检查均更高(P<0.05);相比于HHUS检查,ABVS检查时间更短,且以ABVS检查出现“汇聚征”乳腺肿块患者验证恶性检出率,ABVS恶性检出率更高(P<0.05);经HHUS、ABVS检查,乳腺肿块良恶性准确率、Kappa值分别为82.65%、0.645、85.71%、0.709,两种检查方式比较,差异无统计学意义(P>0.05);肿瘤TNM分期准确率、Kappa值分别为72.22%,0.593、77.78%,0.676,两种检查方式比较,差异无统计学意义(P>0.05)。结论 于乳腺肿块及肿瘤TNM分期中应用HHUS或ABVS检查,均有助于提升良恶性及分期评估效果,从而为乳腺癌早期检出及明确分期提供关键信息,可作为HHUS检查的有益补充。 展开更多

关键词 乳腺癌 乳腺肿块 乳腺超声自动容积成像技术 手持超声 肿瘤分期

原文传递

超声内镜和CT对食管癌术前分期的诊断价值 被引量：25

13

作者 胡祎 傅剑华 +5 位作者 戎铁华 杨弘 黄伟钊 王耿 郑斌 朱志华 《中华胃肠外科杂志》 CAS 2008年第2期150-153,共4页

目的探讨超声内镜（EUS）和CT检查对食管癌术前分期的诊断价值。方法于2002年7月至2004年1月对51例食管癌手术患者行术前EUS和CT及术后病理检查，将EUS和CT分期结果和手术病理分期结果进行对照。结果（1）EUS检查T、N分期的准确率分别... 目的探讨超声内镜（EUS）和CT检查对食管癌术前分期的诊断价值。方法于2002年7月至2004年1月对51例食管癌手术患者行术前EUS和CT及术后病理检查，将EUS和CT分期结果和手术病理分期结果进行对照。结果（1）EUS检查T、N分期的准确率分别为82．4％（42／51）和88.0％（45／51）；CT检查T、N分期的准确率分别为52.9％（27／51）和51．0％（26／51）；EUS与CT联合检查T、N分期的准确率分别为86.3％（44／51）和90．2％（46／51）。（2）3种检查方式分期结果与病理分期结果的一致性统计结果：EUS检查T、N分期的Kappa分别为0．700（P〈0．001）和0．763（P〈0.001）；CT分别为0．275（P=0．002）和0．006（P=0.964）；EUS加CT则分别为0．769（P〈0.001）和0．801（P〈0.001）。（3）各组间差异的统计结果：EUS与CT比较，PT=0．001（X^2=10.079），PN〈0.001（X^2=16．730）；EUS加CT与EUS比较，PT=0.586（X^2=0．297），PN=0．750（X^2=0.102）。结论EUS对食管癌术前T、N分期诊断准确率较高，诊断价值优于CT；EUS与CT联合应用未能显著提高食管癌T、N分期的诊断准确率。 展开更多

关键词 食管肿瘤 腔内超声检查 体层摄影扫描仪 X线计算机 肿瘤分期

原文传递

光刻机超精密运动台数据驱动MIMO定结构前馈控制 被引量：2

14

作者 李敏 陈涛涛 +3 位作者 鲁森 杨开明 朱煜 胡楚雄 《机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第21期99-109,共11页

超精密多输入多输出(Multiple-input multiple-output,MIMO)运动台是集成电路制造装备——光刻机的核心部件之一,其轨迹跟踪性能是保证光刻机产率和分辨率的关键。提出一种高效的数据驱动MIMO定结构前馈控制方法,有效补偿参考轨迹引入... 超精密多输入多输出(Multiple-input multiple-output,MIMO)运动台是集成电路制造装备——光刻机的核心部件之一,其轨迹跟踪性能是保证光刻机产率和分辨率的关键。提出一种高效的数据驱动MIMO定结构前馈控制方法,有效补偿参考轨迹引入的伺服误差,降低各自由度间的耦合,从而提高光刻机超精密运动台对不同轨迹跟踪任务的适应性及跟踪性能。采用多项式对MIMO前馈控制器进行参数化,以保证前馈控制器的固有稳定性及其对变轨迹的鲁棒性。利用脉冲响应实验法无偏估计过程灵敏度函数矩阵的马尔可夫参数,进而建立高效的数据驱动参数优化算法,根据伺服系统的输入-输出数据迭代优化MIMO前馈控制器参数。所提方法无需对光刻机运动台建模,且每次迭代仅需一次轨迹跟踪实验。将所提方法应用于课题组自主研发的光刻机硅片台,2种参考轨迹的跟踪实验结果验证所提方法在有效提高轨迹跟踪性能的同时降低各自由度间的耦合。 展开更多

关键词 前馈控制 MIMO 数据驱动 光刻机 超精密运动台

原文传递