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题名IC晶片关键尺寸标定的新方法研究
被引量：4
- 1
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作者
薛向东
吴黎明
邓耀华
伍冯洁
何仲凯
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机构
广东工业大学信息工程学院
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第12期35-37,43,共4页
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基金
广东省科技计划攻关项目(2004A10403008)
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文摘
提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量。该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求。
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关键词
标准件
像素当量
空间矩
亚像素
尺寸标定
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Keywords
standard ruler
per-pixel
spatial moment
sub-pixel
size calibration
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名空间点相对关系的精密检测
被引量：1
- 2
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作者
田林亚
何江斌
张铎强
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机构
河海大学测量工程系
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出处
《测绘工程》
CSCD
2003年第2期9-10,40,共3页
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文摘
工业检测的精度一般要求很高,常规的检测手段难以达到。本文对空间点相对关系的精密检测方法和精度进行分析,实践表明该方法行之有效。
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关键词
工业检测
精度
空间点相对关系
精密检测方法
经纬仪
横基尺
空间前方交会
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Keywords
theodolite
horizontal base ruler
detecting system
spatial forword intersection
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分类号
P207
[天文地球—测绘科学与技术]
TB22
[天文地球—大地测量学与测量工程]
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题名实践区域森林资源预警系统合理空间尺度的探讨
- 3
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作者
张裕农
吴延熊
周国模
郭仁鉴
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机构
云南省林业科学院重点实验室
浙江林学院资源与环境系
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出处
《浙江林学院学报》
CSCD
1999年第1期24-27,共4页
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基金
浙江省自然科学基金
"九五"浙江省科技攻关资助项目
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文摘
从区域的概念和属性出发，讨论了区域森林资源的时空差异性即森林资源分布的时空分异规律。结合区域森林资源预警系统研究的现状，提出以县域为起点，不断向外扩张的森林资源预警系统实践策略。
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关键词
区域
空间尺度
森林资源
预警系统
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Keywords
regions
spatial ruler
forest resources early warning system
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分类号
S757.1
[农业科学—森林经理学]
F307.223
[经济管理—产业经济]
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题名空间前方交会法及其在测试技术中的应用
被引量：7
- 4
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作者
龙华伟
翟超
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机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
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出处
《计测技术》
2005年第6期51-54,共4页
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文摘
分析了空间前方交会法的基本原理,建立了相关的理论模型,并在实验室的条件下严格测试了这种方法的测量精度;探讨了空间前方交会法在位置检测系统的测试过程中应用,详细地给出了测试的步骤以及测试数据的分析处理结果。
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关键词
空间前方交会
电子经纬仪
基准尺
位置检测系统
空间三维坐标
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Keywords
spatial forword intersection
electronic theodolite
standard ruler
positional measuring systems
spatial three-dimensional coordination
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分类号
TB921
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名超大范围视觉测量双相机联合标定和定向方法
被引量：1
- 5
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作者
王智
董明利
孙鹏
刘其林
燕必希
王君
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机构
北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第14期207-215,共9页
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基金
国家自然科学基金(51475046)
北京市教委科技计划重点项目(KZ201711232029)。
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文摘
针对超大范围相机标定和定向的难题,提出了一种双相机联合标定与定向的方法。采用无人机携带长度尺构建大型空间虚拟标定场的方式,两台相机同时采集长度尺两端标志点图像;并利用长度尺空间长度作为约束,建立自标定光束平差模型,解算两相机各自的内方位参数和畸变系数及相机之间的相对外方位参数;最后利用重建长度尺的长度进行误差和精度评估。在40 m×10 m×14 m的超大范围下,所提方法重建长度尺时的平均长度误差为0.193 mm,均方根误差为2.316 mm,相对精密度优于1/20000。实验结果表明,所提方法可在超大范围下方便准确地标定双相机系统的全部参数,具有操作简便、成本低、精度高的优点,具有很强的适用性,为超大范围大尺寸结构视觉测量提供了方法参考和数据依据。
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关键词
视觉测量
超大范围
无人机
基准长度尺
光束平差
相对定向
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Keywords
visual measurement
large spatial volume
unmanned aerial vehicle
reference length ruler
bundle adjustment
relative orientation
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分类号
TH721
[机械工程—精密仪器及机械]
TH741
[机械工程—光学工程]
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