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微电子材料CMP加工中去除率与速度的关系
被引量：
1
1
作者
严波
吕欣
张晓敏
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期104-106,共3页
通过研究微电子材料化学机械平坦化(CMP)加工过程中磨料颗粒在晶片加工表面的运动规律,得到磨料颗粒在晶片表面的运动轨迹方程。当晶片和垫板的转动角速度相同时,得出材料去除率(MMR)与垫板和晶片相对速度成正比的结论。给出了磨料颗粒...
通过研究微电子材料化学机械平坦化(CMP)加工过程中磨料颗粒在晶片加工表面的运动规律,得到磨料颗粒在晶片表面的运动轨迹方程。当晶片和垫板的转动角速度相同时,得出材料去除率(MMR)与垫板和晶片相对速度成正比的结论。给出了磨料颗粒在晶片加工表面形成的刮痕迹线实例。其结果对于正确理解微电子材料CMP加工中的材料去除机理具有实际意义。
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关键词
微电子材料
化学机械平坦化
材料去除率
刮痕
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职称材料
浅析凹坑状圆柱形钥匙的复制痕迹特征
2
作者
孟秋岚
田艳丽
《贵州警官职业学院学报》
2013年第4期65-68,128,共5页
痕迹特征显示,导针在凹坑底面的垂直印压痕迹、导针与凹坑壁的斜向碰撞擦划线条痕迹、导针与凹坑侧壁的横向擦划痕迹,可作为判定圆柱形钥匙是否被复制依据的痕迹;齿间柱面上的复制痕迹、钥匙体夹持面痕迹可作为判定圆柱形钥匙是否被复...
痕迹特征显示,导针在凹坑底面的垂直印压痕迹、导针与凹坑壁的斜向碰撞擦划线条痕迹、导针与凹坑侧壁的横向擦划痕迹,可作为判定圆柱形钥匙是否被复制依据的痕迹;齿间柱面上的复制痕迹、钥匙体夹持面痕迹可作为判定圆柱形钥匙是否被复制的参考辅助痕迹。
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关键词
凹坑状圆柱形钥匙
痕迹复制
印压痕迹
擦划痕迹
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职称材料
浅谈LED显示屏用PCB的设计和质量控制
被引量：
1
3
作者
孙广辉
周龙杰
《印制电路信息》
2015年第1期44-46,共3页
文章基于LED显示屏用PCB的特点,介绍了LED板的可制造性设计,探讨了LED板的加工难点,并列举了LED板的常见缺陷类型及分析控制方法。
关键词
发光二极管用印制电路板
线路擦花
油墨颜色
外形加工
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职称材料
浅谈利用擦痕寻找断失煤层
4
作者
焦长军
《煤炭技术》
CAS
2002年第11期63-65,共3页
论述了擦痕的特征及利用擦痕侧伏角图解断失煤层位置的方法。
关键词
擦痕
断失煤层
地质构造
图解方法
侧伏角
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职称材料
退火自动化上下料设备提升良品率的措施
被引量：
1
5
作者
卫晓冲
《山西电子技术》
2018年第3期10-11,共2页
介绍了退火自动化上下料设备的功能,说明了该设备产生的不合格硅片的几种表现,分析了硅片产生不良的原因,详细说明了降低不良率采取的措施。
关键词
退火
吸盘印
划伤
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职称材料
基于图像处理的车辆“鳞”状刮擦痕迹特征研究
6
作者
冯佳
戴帅
牛学军
《中国人民公安大学学报(自然科学版)》
2024年第3期49-58,共10页
目前,在交通事故处理实务中,对于车体刮擦痕迹鉴定研究集中在车漆的留存性检验和碰撞部位的确认方面,对在碰撞中形成的“鳞”状刮擦痕迹图像学特征缺乏深入探讨。首先分析车漆分层结构和涂层特性,阐释“鳞”状刮擦痕迹形成机理,然后对...
目前,在交通事故处理实务中,对于车体刮擦痕迹鉴定研究集中在车漆的留存性检验和碰撞部位的确认方面,对在碰撞中形成的“鳞”状刮擦痕迹图像学特征缺乏深入探讨。首先分析车漆分层结构和涂层特性,阐释“鳞”状刮擦痕迹形成机理,然后对典型事故案例图像进行采集处理,通过改进EDCircle算法挖掘图像细节特征。以选取案例为基础,夹角范围设定在[10°,30°)区间,识别准确率能够达到90%以上,漏检率低于30%。最后通过案例验证,“鳞”状刮擦痕迹图像分析方法具有较高的情景重建能力,作为鉴定技术手段,可有力支撑事故的认定工作。
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关键词
痕迹识别
交通事故重建
“鳞”状刮擦痕迹
图像特征
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职称材料
题名
微电子材料CMP加工中去除率与速度的关系
被引量：
1
1
作者
严波
吕欣
张晓敏
机构
重庆大学资源及环境科学学院
重庆大学土木工程学院
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期104-106,共3页
基金
重庆大学青年骨干教师资助项目
文摘
通过研究微电子材料化学机械平坦化(CMP)加工过程中磨料颗粒在晶片加工表面的运动规律,得到磨料颗粒在晶片表面的运动轨迹方程。当晶片和垫板的转动角速度相同时,得出材料去除率(MMR)与垫板和晶片相对速度成正比的结论。给出了磨料颗粒在晶片加工表面形成的刮痕迹线实例。其结果对于正确理解微电子材料CMP加工中的材料去除机理具有实际意义。
关键词
微电子材料
化学机械平坦化
材料去除率
刮痕
Keywords
microelectronic materials
chemical mechanical planarization (CMP)
material removal rate (MMR)
scratch
ing
trace
分类号
O33 [理学—一般力学与力学基础]
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职称材料
题名
浅析凹坑状圆柱形钥匙的复制痕迹特征
2
作者
孟秋岚
田艳丽
机构
贵州警官职业学院
重庆市公安局沙坪坝分局
出处
《贵州警官职业学院学报》
2013年第4期65-68,128,共5页
文摘
痕迹特征显示,导针在凹坑底面的垂直印压痕迹、导针与凹坑壁的斜向碰撞擦划线条痕迹、导针与凹坑侧壁的横向擦划痕迹,可作为判定圆柱形钥匙是否被复制依据的痕迹;齿间柱面上的复制痕迹、钥匙体夹持面痕迹可作为判定圆柱形钥匙是否被复制的参考辅助痕迹。
关键词
凹坑状圆柱形钥匙
痕迹复制
印压痕迹
擦划痕迹
Keywords
cratered cylindrical keys
trace
duplication
pressing
trace
s
scratch
ing
trace
s
分类号
D918.2 [政治法律—法学]
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职称材料
题名
浅谈LED显示屏用PCB的设计和质量控制
被引量：
1
3
作者
孙广辉
周龙杰
机构
汕头超声印制板公司
出处
《印制电路信息》
2015年第1期44-46,共3页
文摘
文章基于LED显示屏用PCB的特点,介绍了LED板的可制造性设计,探讨了LED板的加工难点,并列举了LED板的常见缺陷类型及分析控制方法。
关键词
发光二极管用印制电路板
线路擦花
油墨颜色
外形加工
Keywords
PCB for LED
scratch
ed
trace
Solder Mask Color
Outline Process
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
浅谈利用擦痕寻找断失煤层
4
作者
焦长军
机构
方正县煤矿
出处
《煤炭技术》
CAS
2002年第11期63-65,共3页
文摘
论述了擦痕的特征及利用擦痕侧伏角图解断失煤层位置的方法。
关键词
擦痕
断失煤层
地质构造
图解方法
侧伏角
Keywords
scratch trace
judge
faulted seam
分类号
TD163.1 [矿业工程—矿山地质测量]
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职称材料
题名
退火自动化上下料设备提升良品率的措施
被引量：
1
5
作者
卫晓冲
机构
中国电子科技集团公司第二研究所
出处
《山西电子技术》
2018年第3期10-11,共2页
文摘
介绍了退火自动化上下料设备的功能,说明了该设备产生的不合格硅片的几种表现,分析了硅片产生不良的原因,详细说明了降低不良率采取的措施。
关键词
退火
吸盘印
划伤
Keywords
annealing
trace
of sucker
scratch
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于图像处理的车辆“鳞”状刮擦痕迹特征研究
6
作者
冯佳
戴帅
牛学军
机构
中国人民公安大学交通管理学院
河南警察学院交通管理工程系
公安部道路交通安全研究中心
河南公专司法鉴定中心
出处
《中国人民公安大学学报(自然科学版)》
2024年第3期49-58,共10页
基金
河南警察学院教育教学改革研究与实践项目(JY2023019)
河南警察学院一般专项项目(HNJY-2023-10)
文摘
目前,在交通事故处理实务中,对于车体刮擦痕迹鉴定研究集中在车漆的留存性检验和碰撞部位的确认方面,对在碰撞中形成的“鳞”状刮擦痕迹图像学特征缺乏深入探讨。首先分析车漆分层结构和涂层特性,阐释“鳞”状刮擦痕迹形成机理,然后对典型事故案例图像进行采集处理,通过改进EDCircle算法挖掘图像细节特征。以选取案例为基础,夹角范围设定在[10°,30°)区间,识别准确率能够达到90%以上,漏检率低于30%。最后通过案例验证,“鳞”状刮擦痕迹图像分析方法具有较高的情景重建能力,作为鉴定技术手段,可有力支撑事故的认定工作。
关键词
痕迹识别
交通事故重建
“鳞”状刮擦痕迹
图像特征
Keywords
trace
identification
traffic accident reconstruction
scale-like
scratch
ing mark
image features
分类号
D918.91 [政治法律—法学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微电子材料CMP加工中去除率与速度的关系
严波
吕欣
张晓敏
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
浅析凹坑状圆柱形钥匙的复制痕迹特征
孟秋岚
田艳丽
《贵州警官职业学院学报》
2013
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
浅谈LED显示屏用PCB的设计和质量控制
孙广辉
周龙杰
《印制电路信息》
2015
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
浅谈利用擦痕寻找断失煤层
焦长军
《煤炭技术》
CAS
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
退火自动化上下料设备提升良品率的措施
卫晓冲
《山西电子技术》
2018
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
基于图像处理的车辆“鳞”状刮擦痕迹特征研究
冯佳
戴帅
牛学军
《中国人民公安大学学报(自然科学版)》
2024
0
在线阅读
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职称材料
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