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基于压电复合单晶薄膜衬底的B25 SAW双工器性能研究
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作者 陆川 褚梦群 +3 位作者 杜雪松 蒋小龙 潘祺 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期688-692,共5页
针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分... 针对B25 SAW双工器设计需求,基于压电复合单晶薄膜(POI)衬底开展了仿真、实测与性能对比研究。首先通过有限元仿真和实测对比了42°LT-POI与50°LT-POI谐振器的主模和远端杂波特性;然后对B25双工器的发射端(TX)和接收端(RX)分别进行了拓扑结构设计;最后通过实测对比了两种不同切型POI衬底的B25双工器电性能参数。结果显示,在其他指标相当的情况下,相较于50°LT-POI,采用42°LT-POI衬底的B25双工器具有更优的远端抑制性能。 展开更多
关键词 POI衬底 B25 saw双工器
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小锤结构对SMR SAW谐振器的杂散抑制研究
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作者 韩捷 帅垚 +2 位作者 罗文博 吴传贵 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期693-697,共5页
为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器... 为了适应5G新频段的发展,研究了SMR SAW谐振器中小锤结构对谐振器性能的影响。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。仿真结果表明,在三小锤结构下,当小锤长度为1.6倍半周期时,谐振器的横向模态杂散较弱。提出一种新型的双小锤加权结构,通过在谐振器的上、下半部分分别设置不同长度的小锤,进一步抑制了带内杂散,提高了谐振器的性能。实验结果表明,双小锤加权结构在抑制带内杂散方面效果明显,谐振器的机电耦合系数和阻抗比得到提升。 展开更多
关键词 SMR saw 小锤结构 双小锤加权结构 阻抗比 横向模态杂散
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TC-SAW SiO_(2)温补层性能研究
3
作者 贺贞 李燕 +3 位作者 田本朗 马晋毅 肖强 梁柳洪 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期88-91,共4页
为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和... 为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和晶体结构进行分析。采用椭偏仪测试薄膜折射率及腐蚀后的膜厚变化量,并通过纳米压痕仪测量计算薄膜的硬度和弹性模量。结果表明,反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜更致密、薄膜表面粗糙度更小、弹性模量更大。采用反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜作为TC-SAW温补层,可以获得频率温度系数为-8.6×10^(-6)/℃的TC-SAW器件。 展开更多
关键词 TC-saw SiO_(2)温补层 反应磁控溅射
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SAW芯片的质量控制与可靠性测试方法的研究
4
作者 艾毅智 杨怡 陈虹羽 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期92-97,共6页
随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,... 随着通信设备向便携化、轻薄化发展,对SAW芯片的小体积、高性能需求逐渐增加,为确保产品交付质量,需要在芯片研发、生产过程中开展有效的质量控制和可靠性测试。通过对SAW芯片故障模式及影响的分析,找出了设计和生产过程存在的风险点,制定质量控制措施并研究可靠性测试方法,提升了芯片合格率,进而验证了质量控制措施和可靠性测试方法的有效性,在业内具有一定的借鉴意义。 展开更多
关键词 saw芯片 失效模式 质量控制 可靠性
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用于塑封模组的SAW器件封装可靠性研究
5
作者 温桎茹 杨桃均 +3 位作者 向星诚 蒲志勇 米佳 唐盘良 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期823-827,共5页
针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模... 针对塑封射频模组中使用不同封装SAW器件的设计方案,采用有限元数值模拟技术计算模组内部器件在温度循环载荷下的应力分布,根据可靠性试验和显微检测分析了模组的电学性能和内部结构状态。研究表明,CSP封装(芯片级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较高,在实际试验中大部分样品出现了电学性能异常、内部键合点断开的现象;WLP封装(晶圆级封装)SAW器件在塑封模组中承受温度循环载荷下的应力较低,该方案模组样品在试验过程中具有很好的稳定性。 展开更多
关键词 saw器件封装 塑封射频模组 可靠性 有限元数值模拟
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双通道协同解耦SAW应变传感器的结构设计与制造
6
作者 郑引荣 梁晓瑞 谭秋林 《微纳电子技术》 2025年第7期45-51,共7页
为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底,提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传... 为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底,提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传感单元对。通过高温稳定的铂浆料和铂丝引线,实现传感元件在800℃极端环境下的可靠互连。通过优化设计双通道协同解耦算法,可有效消除温度引起的干扰,在25~800℃的宽温域范围内实现0~600με的应变测量,且在全温范围内表现出卓越的稳定性,解耦误差控制在-6.8%~+7.6%之间,为极端环境监测提供了高可靠性的解决方案。 展开更多
关键词 并联声表面波(saw)应变传感器 硅酸镓镧(LGS) 双通道协同解耦 宽应变 耐高温
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Investigation of laboratory saw ginning and blending on cotton fiber quality measurement
7
作者 LIU Yongliang DELHOM Christopher D 《Journal of Cotton Research》 2025年第4期544-560,共17页
Background Small-scale research or individual seed cotton samples from breeders and geneticists are ginned using laboratory saws or roller gins.The objective of this study was to examine the effects of two different l... Background Small-scale research or individual seed cotton samples from breeders and geneticists are ginned using laboratory saws or roller gins.The objective of this study was to examine the effects of two different laboratory saw ginning(SG)rates and subsequent mechanical blending on fiber high volume instrument(HVI)and advanced fiber information system(AFIS)quality measurement.Seed cottons from diverse upland cotton cultivars,years,and locations were evaluated.Results As the SG rate was increased,HVI results for uniformity index(UI),short fiber index(SFI),and two non-lint parameters(area%,particle count),as well as AFIS results for some properties,were impacted,with significant effects on HVI UI and AFIS short fiber content(SFC).Apparent fiber blending impacts were observed for HVI UI,strength(STR),reflectance(Rd),SFI,and two trashes as well as for all AFIS parameters,with significant effects on HVI Rd and two trashes and all AFIS parameters except the length and maturity measurements.A combination of ginning and blending processes indicated statistically significant interactions for HVI STR,Rd,SFI,and two trashes,and also for AFIS neps,L(w)CV,UQL(w),L(n)CV,SFC(n),L5%(n),immature fiber content(IFC),fineness,total count,dust count,particle count,and visible foreign matter(VFM).Further analysis implied a few impacts of ginning and blending on correlations between HVI and relevant AFIS qualities.Conclusion Despite the observation,the laboratory saw gin and blending methods should continue to be a practical tool to study the differences when all samples are processed identically. 展开更多
关键词 AFIS BLENDING Cotton fiber HVI Laboratory saw gin Ginning rate
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谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计 被引量:9
8
作者 何鹏举 戴冠中 +1 位作者 陈明 徐苛杰 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期374-378,共5页
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大... 量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据。 展开更多
关键词 saw压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元
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谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究 被引量:8
9
作者 王睿 张万里 +3 位作者 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期566-569,共4页
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待... 采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待测物理化学参量的变化。该测试系统产生的激励信号功率最高可达10dBm,测试时间约为0.5s,与矢网测试结果相比,其测试相对误差仅为0.002 4%。实验结果表明,该系统能够稳定、可靠地实现谐振型SAW传感器的快速检测。 展开更多
关键词 谐振型声表面波(saw)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器
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SAW传感器及其在无源标识器中的应用 被引量:6
10
作者 刘积学 段成丽 +2 位作者 钟先信 彭江陵 张元勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第6期591-594,共4页
声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时... 声表面波(SAW)器件作为信号处理器在现代扩频技术中已获得广泛的应用,推动了信号保密、抗干扰技术在通信、雷达、电子对抗等军用电子系统中的应用。然而,随着信息技术的深入发展,作为模拟技术的SAW技术,在信号处理领域依然展示着其实时强大的信号处理能力,同时在信息敏感方面也展现出卓越的优势,如其灵敏度高、直接频率和相位输出、多参量综合信号转换能力、性能稳定、无源低功耗、工艺简单且与半导体工艺兼容易于实现片上集成等特点,在多种物理、化学、生物传感器系统获得应用,广受重视。近年来,随着SAW器件工作频率提高到GHz以上,使得集信息敏感与信号处理、信号传输于一体的单芯片SAW无源标识器(SAW IDT)技术在多种SAW传感器系统获得广泛的应用,成为当今SAW和传感器两个技术领域的一个新发展亮点。本文基于信息敏感的角度对SAW传感器的理论、设计、结构、系统研究方向,在无源标识器(IDT)应用军方面进行了探讨。 展开更多
关键词 saw传感器 无源标识器(IDT) 信息敏感
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
11
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 滤波器 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
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La_3Ga_5SiO_(14)单晶的生长、性能及SAW应用 被引量:14
12
作者 武安华 徐家跃 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期559-564,共6页
本文综述了新型压电晶体La3 Ga5SiO14 的最新研究进展 ,详细讨论了该晶体的生长问题 ,简单介绍了该晶体的性能及其在SAW和BAW方面的应用 ,分析了该晶体在压电应用方面的优势。
关键词 单晶 应用 saw La3Ga5SiO14 Gzochralski LPE 晶体生长 压电性能 声表面波
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金刚石SAW滤波器的设计和制作 被引量:4
13
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第10期662-666,692,共6页
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金... 通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。 展开更多
关键词 射频微机电(RF MEMS) saw滤波器 金刚石 ZNO薄膜 叉指换能器(IDT)
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时域加窗技术改进无源无线SAW传感器测试研究 被引量:5
14
作者 邓森洋 张万里 +3 位作者 彭斌 郭珂君 蒋中东 曾义红 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第3期8-10,14,共4页
无源无线声表面波(SAW)传感器能工作在十分恶劣的环境中监控温度、应变、扭矩等因素的变化。利用无线测试传感器的群时延特性能方便地获得SAW传感器的谐振频率。但在一些复杂的环境中无线测试时会遇到环境反射的问题,此时测试的群时延... 无源无线声表面波(SAW)传感器能工作在十分恶劣的环境中监控温度、应变、扭矩等因素的变化。利用无线测试传感器的群时延特性能方便地获得SAW传感器的谐振频率。但在一些复杂的环境中无线测试时会遇到环境反射的问题,此时测试的群时延曲线会产生畸变,不利于提取SAW传感器的谐振频率。利用测试群时延特性的方法搭建了测试系统,对测试结果使用了时域加窗技术。结果表明:时域加窗技术能够有效抑制环境反射对群时延的影响,这对于提高无源无线SAW传感器实际应用中的信噪比具有重要的意义。 展开更多
关键词 无源无线saw传感器 时域加窗 群时延 环境反射
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基于LN/LT-POI多层结构的SAW器件发展 被引量:5
15
作者 何杰 马晋毅 +1 位作者 胡少勤 许昕 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期864-870,874,共8页
绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/... 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)为研制高性能、可集成的声表面波(SAW)器件提供了新的解决途径和方案,可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的需求。该文介绍了POI的制备工艺技术。总结了基于铌酸锂/钽酸锂-POI(LN/LT-POI)多层结构的高性能SAW器件的最新研究成果,并展望了其未来的发展。 展开更多
关键词 绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI) 声表面波(saw)器件 5G无线通信 射频前端 键合剥离
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
16
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
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面向电网应用的SAW温度传感器设计 被引量:5
17
作者 王磊 刘文 卢小荣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第6期817-819,共3页
针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传... 针对谐振型声表面波(SAW)传感器,研究了3种不同窗函数加权对SAW传感器谐振响应副瓣抑制的影响,仿真结果表明,凯瑟尔窗在旁瓣抑制上性能最优,阻带最小衰减达-120.2dB。同时制备了以LST切型石英为基片材料,凯瑟尔窗为加权函数的SAW温度传感器。测试和应用试验表明,所设计的传感器性能具有良好的一致性、温度频率特性和旁瓣抑制能力,能较好满足面向电网温度状态监测的应用。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 谐振器 凯瑟尔窗 电网应用
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基于谐振型SAW传感器的呼吸检测系统设计 被引量:11
18
作者 王乐 王镝 +3 位作者 於锦 王平 胡燕婕 应可净 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期498-502,共5页
人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此... 人呼吸中VOCs的种类及含量与人的身体状况有关,对其的检测可用于疾病的诊断。本研究利用谐振型声表面波传感器,开发出一套可用于对人呼吸中VOCs进行检测的系统。本文首先介绍了该系统的组成及原理,并对系统的关键环节进行了测试。在此基础上,系统对多组测试样本进行了实验,实验结果初步表明,本系统可对×10-9(ppb)级的VOCs测试样本进行直接检测,已经具备对人呼吸中VOCs的检测条件。 展开更多
关键词 谐振型声表面波传感器 呼吸检测 可挥发性有机化合物(VOCs)
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基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器 被引量:3
19
作者 赵雪梅 郑泽渔 +3 位作者 董加和 伍平 陈彦光 陈正林 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期253-255,共3页
该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉... 该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 极窄带 相对带宽 双模声表面波
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基于COM参数提取技术设计SAW梯形滤波器 被引量:5
20
作者 聂广琳 程红亚 汤劲松 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第1期3-5,共3页
与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从... 与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从样品的测试结果发现,这种基于COM模型的阻抗元滤波器(IEF)的设计思路是正确可行的。 展开更多
关键词 COM模型 P矩阵 声表面波(saw)梯形滤波器 阻抗元滤波器
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