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Numerical simulation study of organic nonvolatile memory with polysilicon floating gate
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作者 闫兆文 王娇 +4 位作者 乔坚栗 谌文杰 杨盼 肖彤 杨建红 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期383-389,共7页
A polysilicon-based organic nonvolatile floating-gate memory device with a bottom-gate top-contact configuration is investigated,in which polysilicon is sandwiched between oxide layers as a floating gate.Simulations f... A polysilicon-based organic nonvolatile floating-gate memory device with a bottom-gate top-contact configuration is investigated,in which polysilicon is sandwiched between oxide layers as a floating gate.Simulations for the electrical characteristics of the polysilicon floating gate-based memory device are performed.The shifted transfer characteristics and corresponding charge trapping mechanisms during programing and erasing(P/E) operations at various P/E voltages are discussed.The simulated results show that present memory exhibits a large memory window of 57.5 V,and a high read current on/off ratio of ≈ 10~3.Compared with the reported experimental results,these simulated results indicate that the polysilicon floating gate based memory device demonstrates remarkable memory effects,which shows great promise in device designing and practical application. 展开更多
关键词 organic floating gate memory polysilicon floating gate programing and erasing operations device simulation
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Organic field-effect transistor floating-gate memory using polysilicon as charge trapping layer
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作者 Wen-Ting Zhang Fen-Xia Wang +2 位作者 Yu-Miao Li Xiao-Xing Guo Jian-Hong Yang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期282-286,共5页
In this study,we present an organic field-effect transistor floating-gate memory using polysilicon(poly-Si)as a charge trapping layer.The memory device is fabricated on a N^+-Si/SiO2 substrate.Poly-Si,polymethylmethac... In this study,we present an organic field-effect transistor floating-gate memory using polysilicon(poly-Si)as a charge trapping layer.The memory device is fabricated on a N^+-Si/SiO2 substrate.Poly-Si,polymethylmethacrylate,and pentacene are used as a floating-gate layer,tunneling layer,and active layer,respectively.The device shows bidirectional storage characteristics under the action of programming/erasing(P/E)operation due to the supplied electrons and holes in the channel and the bidirectional charge trapping characteristic of the poly-Si floating-gate.The carrier mobility and switching current ratio(Ion/Ioff ratio)of the device with a tunneling layer thickness of 85 nm are 0.01 cm^2·V^-1·s^-1 and 102,respectively.A large memory window of 9.28 V can be obtained under a P/E voltage of±60 V. 展开更多
关键词 organic FLOATING-gate MEMORY polysilicon FLOATING-gate MEMORY WINDOW
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基于二维电势分布的一种新型复合多晶硅栅LDMOS阈值电压模型 被引量:3
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作者 代月花 高珊 +1 位作者 柯导明 陈军宁 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期844-848,共5页
本文提出了一种新型的复合多晶硅栅LDMOS结构.该结构引入栅工程的概念,将LDMOST的栅分为n型多晶硅栅和p型多晶硅栅两部分,从而提高器件电流驱动能力,抑制SCEs(short channel effects)和DIBL(drain-inducedbarrier lowering).通过求解二... 本文提出了一种新型的复合多晶硅栅LDMOS结构.该结构引入栅工程的概念,将LDMOST的栅分为n型多晶硅栅和p型多晶硅栅两部分,从而提高器件电流驱动能力,抑制SCEs(short channel effects)和DIBL(drain-inducedbarrier lowering).通过求解二维泊松方程建立了复合多晶硅栅LDMOST的二维阈值电压解析模型.模型考虑了LDMOS沟道杂质浓度分布和复合栅功函数差的共同影响,具有较高的精度.与MEDICI数值模拟结果比较后,模型得以验证. 展开更多
关键词 复合多晶硅栅 LDMOS 阈值电压
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低温CMOS-器件物理和互连特性 被引量:1
4
作者 刘卫东 魏同立 李垚 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1995年第A04期64-72,共9页
本文概述低温CMOS的器件物理及其中的互连特性。详细分析了MOS结构中载流的冻析效应,低温迁移率和漂移速度,并讨论了MOS器件的低温阈值特性。对低温下多晶硅和TiSi2等互连以及金一半欧姆接触特性,也作了扼要讨论。本... 本文概述低温CMOS的器件物理及其中的互连特性。详细分析了MOS结构中载流的冻析效应,低温迁移率和漂移速度,并讨论了MOS器件的低温阈值特性。对低温下多晶硅和TiSi2等互连以及金一半欧姆接触特性,也作了扼要讨论。本文的结果和结论对于优化低温CMOS结构和器件参数具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 低温 CMOS 冻析 迁移率/互连 阈值特性 散射 多晶硅栅 金-半欧姆接触
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CCD栅介质工艺对多晶硅层间介质的影响 被引量:1
5
作者 钟四成 廖乃镘 +3 位作者 罗春林 阙蔺兰 寇琳来 伍明娟 《半导体光电》 北大核心 2017年第3期345-348,共4页
CCD多晶硅交叠区域绝缘介质对成品率和器件可靠性具有重要的影响。采用扫描电子显微镜和电学测试系统研究了CCD栅介质工艺对多晶硅层间介质的影响。研究结果表明:栅介质工艺对多晶硅层间介质形貌具有显著的影响。栅介质氮化硅淀积后进... CCD多晶硅交叠区域绝缘介质对成品率和器件可靠性具有重要的影响。采用扫描电子显微镜和电学测试系统研究了CCD栅介质工艺对多晶硅层间介质的影响。研究结果表明:栅介质工艺对多晶硅层间介质形貌具有显著的影响。栅介质氮化硅淀积后进行氧化,随着氧化时间延长,靠近栅介质氮化硅区域的多晶硅层间介质层厚度增大。增加氮化硅氧化时间到320min,多晶硅层间薄弱区氧化层厚度增加到227nm。在前一次多晶硅氧化后淀积一层15nm厚氮化硅,能够很好地填充多晶硅层间介质空隙区,不会对CCD工作电压产生不利的影响。 展开更多
关键词 栅介质 多晶硅 电荷耦合器件
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单栅和双栅多晶硅薄膜晶体管的二维器件仿真 被引量:1
6
作者 邓婉玲 黄君凯 《光电子技术》 CAS 北大核心 2011年第3期157-161,共5页
二维器件仿真是揭示半导体器件物理机理的有效途径。首先利用二维器件仿真工具构建单栅和双栅多晶硅薄膜晶体管(TFT),并完整地考虑晶界陷阱态的分布规律,即指数分布的带尾态和禁带中央高斯分布的深能态。同时,改变晶界陷阱密度、多晶硅... 二维器件仿真是揭示半导体器件物理机理的有效途径。首先利用二维器件仿真工具构建单栅和双栅多晶硅薄膜晶体管(TFT),并完整地考虑晶界陷阱态的分布规律,即指数分布的带尾态和禁带中央高斯分布的深能态。同时,改变晶界陷阱密度、多晶硅薄膜厚度、温度等条件,以及考虑翘曲(k ink)效应,仿真单栅和双栅器件的电流-电压(I-V)特性,分析物理规律,建立对多晶硅TFT器件物理特性的进一步理解。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 二维器件仿真 陷阱态密度
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基于表面势的多晶硅薄膜晶体管的栅电容模型 被引量:1
7
作者 邓婉玲 郑学仁 陈荣盛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期248-252,共5页
显式地推导多晶硅薄膜晶体管(Polysilicon thin-film transistors,poly-SiTFT)表面势隐含方程的近似解,该求解法非迭代的计算大大地提高了计算效率,且精确度非常高,与数值迭代结果比较,绝对误差范围只在纳伏数量级。利用求得的表面势,... 显式地推导多晶硅薄膜晶体管(Polysilicon thin-film transistors,poly-SiTFT)表面势隐含方程的近似解,该求解法非迭代的计算大大地提高了计算效率,且精确度非常高,与数值迭代结果比较,绝对误差范围只在纳伏数量级。利用求得的表面势,建立了一个poly-SiTFT栅电容模型,该电容电压模型能连续、准确地描述poly-SiTFT在线性区和饱和区的动态特性,同时该模型考虑了kink效应、沟道长度调制效应和寄生电容等。对实验数据进行拟合发现,提出的模型与实验数据符合得较好,能准确地预测poly-SiTFT的栅电容特性。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 表面势 栅电容
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多晶硅薄膜晶体管的栅电容模型 被引量:2
8
作者 邓婉玲 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期178-182,共5页
多晶硅薄膜晶体管具有独特的栅电容特性,即泄漏区中栅源电容的反常增大和饱和区中栅漏电容由于kink效应的增大。基于Meyer模型,考虑了泄漏产生效应和kink效应,对多晶硅薄膜晶体管的栅漏电容和栅源电容特性进行了建模研究。对实验数据进... 多晶硅薄膜晶体管具有独特的栅电容特性,即泄漏区中栅源电容的反常增大和饱和区中栅漏电容由于kink效应的增大。基于Meyer模型,考虑了泄漏产生效应和kink效应,对多晶硅薄膜晶体管的栅漏电容和栅源电容特性进行了建模研究。对实验数据进行拟合发现,提出的模型与实验数据符合得较好,能准确地预测多晶硅薄膜晶体管的栅电容特性。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜晶体管 栅漏电容 栅源电容 模型
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SOI CMOS器件研究
9
作者 颜志英 豆卫敏 胡迪庆 《微纳电子技术》 CAS 2008年第2期74-77,共4页
利用0.35μm工艺条件实现了性能优良的小尺寸全耗尽的器件硅绝缘体技术(SOI)互补金属氧化物半导体(FD SOI CMOS)器件,器件制作采用双多晶硅栅工艺、低掺杂浓度源/漏(LDD)结构以及突起的源漏区。这种结构的器件防止漏的击穿,减小短沟道效... 利用0.35μm工艺条件实现了性能优良的小尺寸全耗尽的器件硅绝缘体技术(SOI)互补金属氧化物半导体(FD SOI CMOS)器件,器件制作采用双多晶硅栅工艺、低掺杂浓度源/漏(LDD)结构以及突起的源漏区。这种结构的器件防止漏的击穿,减小短沟道效应(SCE)和漏感应势垒降低效应(DIBL);突起的源漏区增加了源漏区的厚度并减小源漏区的串联电阻,增强了器件的电流驱动能力。设计了101级环形振荡器电路,并对该电路进行测试与分析。根据在3V工作电压下环形振荡器电路的振荡波形图,计算出其单级门延迟时间为45ps,远小于体硅CMOS的单级门延迟时间。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 全耗尽器件 电流驱动能力 互补金属氧化物半导体低掺杂浓度源/漏结构 双多晶硅栅
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多晶硅栅离子注入杂质对MOS器件亚阈特性的影响
10
作者 谭悦 朱春翔 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期188-193,共6页
通过工艺模拟和实验,在引入多晶硅栅等效电容概念的基础上,建立了MOS器件亚阈特性的修正模型,并讨论了多晶硅杨高于往入杂质类型对器件亚阈特性的影响。采用常规1μmNMOS工艺制备的晶体管使用了两种源漏、多晶硅栅掺杂方案──P、As... 通过工艺模拟和实验,在引入多晶硅栅等效电容概念的基础上,建立了MOS器件亚阈特性的修正模型,并讨论了多晶硅杨高于往入杂质类型对器件亚阈特性的影响。采用常规1μmNMOS工艺制备的晶体管使用了两种源漏、多晶硅栅掺杂方案──P、As用于比较,每一硅片上均包含四种几何尺寸不同的NMOS管。测量所得的亚阈特性参数与模拟及修正模型推导结果相一致,进一步证明了模型与实际器件的统一。 展开更多
关键词 多晶硅栅 MOS器件 亚阈特性 集成电路
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512×456位硅CCD面阵摄象传感器
11
作者 过帆 王炳雪 《光电子技术》 CAS 1991年第4期47-51,共5页
本文叙述了512×456位硅 CCD 面阵摄象传感器的结构和工作原理。它为三相三层多晶硅交叠栅、N 沟帧转移结构.象素单元面积17(H)×24(V)μm^2,摄象区面积7.65×6.14mm^2,垂直和水平的三相驱动栅引出总线采用了较佳的布局,提... 本文叙述了512×456位硅 CCD 面阵摄象传感器的结构和工作原理。它为三相三层多晶硅交叠栅、N 沟帧转移结构.象素单元面积17(H)×24(V)μm^2,摄象区面积7.65×6.14mm^2,垂直和水平的三相驱动栅引出总线采用了较佳的布局,提高了管芯直流性能的完好率,栅的保护结构简单、有效。 展开更多
关键词 摄像机 摄像器件 CCD 传感器
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双多晶硅栅SOI MOS器件的研究 被引量:2
12
作者 罗来华 刘文安 沈文正 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2000年第3期40-43,47,共5页
采用双多晶硅栅全耗尽CMOS/SIMOX工艺成功研制出双多晶硅栅器件 ,其中N +栅NMOS管的阈值电压为0.45V ,P +栅PMOS管的阈值电压为 -0.22V ,在1V和5V电源电压下双多晶硅栅环振电路的单级门延迟时间分别为1.7ns和350ps,双多晶硅栅SOI技术将... 采用双多晶硅栅全耗尽CMOS/SIMOX工艺成功研制出双多晶硅栅器件 ,其中N +栅NMOS管的阈值电压为0.45V ,P +栅PMOS管的阈值电压为 -0.22V ,在1V和5V电源电压下双多晶硅栅环振电路的单级门延迟时间分别为1.7ns和350ps,双多晶硅栅SOI技术将是低压集成电路的一种较好选择。 展开更多
关键词 双多晶硅栅 SOI MOS器件
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一种围栅金属氧化物半导体场效应管阈值电压模型 被引量:2
13
作者 尤一龙 李尊朝 +1 位作者 刘林林 徐进朋 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期77-81,共5页
针对深亚微米金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)多晶硅耗尽效应加剧问题,提出了一种全耗尽圆柱形围栅MOSFET阈值电压解析模型.通过求解多晶硅耗尽层电势泊松方程,得到多晶硅耗尽层上的压降,用以修正沟道区的通用边界条件.然后利用叠加... 针对深亚微米金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)多晶硅耗尽效应加剧问题,提出了一种全耗尽圆柱形围栅MOSFET阈值电压解析模型.通过求解多晶硅耗尽层电势泊松方程,得到多晶硅耗尽层上的压降,用以修正沟道区的通用边界条件.然后利用叠加原理求解沟道二维电势泊松方程,建立了圆柱形围栅MOSFET的表面势和阈值电压解析模型,并利用器件数值仿真软件Sen-taurus对解析模型进行了验证.研究结果表明,衬底掺杂原子浓度越高,或多晶硅掺杂原子浓度越低,多晶硅耗尽层上的压降就越大,阈值电压偏移也越显著.与现有模型相比,该解析模型的精确度提高了34%以上. 展开更多
关键词 阈值电压 圆柱形围栅 多晶硅耗尽 表面势
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MOS反型层和多晶硅栅量子效应的解析模型
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作者 金钟 叶云飞 +2 位作者 陈军宁 代月花 孙家讹 《安徽大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2007年第3期38-40,共3页
在超深亚微米MOS器件中,量子效应对器件特性的影响很大.根据改进后的三角势场近似和曲线拟合,同时对MOS器件反型层和多晶硅栅中电子的量子效应进行了建模,得到了一个基于物理的解析模型,利用该模型计算MOS器件的阈值电压,与数值模拟的... 在超深亚微米MOS器件中,量子效应对器件特性的影响很大.根据改进后的三角势场近似和曲线拟合,同时对MOS器件反型层和多晶硅栅中电子的量子效应进行了建模,得到了一个基于物理的解析模型,利用该模型计算MOS器件的阈值电压,与数值模拟的结果比较表明,模型的精度令人满意. 展开更多
关键词 量子效应 多晶硅 阈值电压 栅电容
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TiSi_2薄膜的形成特性及TiSi_2/多晶硅复合栅结构的研究 被引量:1
15
作者 陶江 赵铁民 +3 位作者 张国炳 王阳元 汪锁发 李永洪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第10期781-787,共7页
本文用反应生成和合金靶溅射两种方法生成了TiSi_2薄膜,并对其形成特性进行了研究,同时将所形成的TiSi_(?)薄膜应用于MOSFET和MOS电容的制作中.结合电学性反的测量和TEM(横截面)在位观察,研究了TiSi_2/多晶硅复合栅结构的特性,发现当多... 本文用反应生成和合金靶溅射两种方法生成了TiSi_2薄膜,并对其形成特性进行了研究,同时将所形成的TiSi_(?)薄膜应用于MOSFET和MOS电容的制作中.结合电学性反的测量和TEM(横截面)在位观察,研究了TiSi_2/多晶硅复合栅结构的特性,发现当多晶硅厚度小于某一临界值时,经高温炉退火后,SiO_2/Si界面将会产生许多新的界面在,SiO_(?)层中会产生缺陷.对离于注入和热扩散掺杂的两种样品,多晶硅层厚度的这个临界值几乎是相同的.根据我们的实验和分析结果,证实了在TiSi_2薄膜的形成过程中所引入的应力是产生上述现象的基本原因. 展开更多
关键词 TISI2 多晶硅 自对准技术 MOSFET
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高热预算三维存储工艺中表面沟道PMOS研究
16
作者 汪宗武 李雪 +6 位作者 田武 许文山 孙超 董洁琼 江宁 夏志良 霍宗亮 《微电子学》 CAS 北大核心 2019年第3期427-430,446,共5页
采用标准三维存储器工艺,制备作为外围器件的表面沟道PMOS管。存储单元制备过程中的高热预算对p型掺杂的多晶栅影响很大,尤其是金属硅化物作为栅极接触材料的p型多晶硅。对影响表面沟道PMOS管性能的因素进行研究,发现多晶硅侧墙氧化温... 采用标准三维存储器工艺,制备作为外围器件的表面沟道PMOS管。存储单元制备过程中的高热预算对p型掺杂的多晶栅影响很大,尤其是金属硅化物作为栅极接触材料的p型多晶硅。对影响表面沟道PMOS管性能的因素进行研究,发现多晶硅侧墙氧化温度主导器件的性能。高温侧墙氧化引起严重的多晶硅耗尽,并导致高阈值电压。电容-电压曲线和二次离子质谱验证了这个现象。通过工艺优化,有效抑制了多晶硅耗尽程度,实现了可用于三维存储器的高性能表面沟道PMOS管。在1.2 V工作电压下,PMOS管的饱和电流可达120μA/μm,漏电流低于1 pA/μm。 展开更多
关键词 三维存储器 硼分凝 多晶硅 栅耗尽 表面沟道低压PMOS管
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一种用于亚微米多晶栅TiSi电阻优化的方法
17
作者 王敏妲 孙建洁 陈海峰 《电子与封装》 2014年第1期41-43,47,共4页
在亚微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上... 在亚微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上的生长。文章采用多晶栅上生长一层LPCVD SiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶栅上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40 nm左右基本可以阻挡95%的N+S/D As注入剂量而保留80%的多晶栅P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶栅注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶栅特性。 展开更多
关键词 硅化钛 多晶栅 掩蔽层
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BiCMOS多晶硅栅的光刻和刻蚀工艺分析 被引量:2
18
作者 白川川 赵海红 +4 位作者 汪增 吕晓明 李海军 王昭 张晓情 《集成电路应用》 2023年第10期41-43,共3页
阐述在0.5μm BiCMOS工艺中的多晶硅栅制备工艺关键试验。试验表面旋涂转速会显著影响涂胶厚度,该参数的变化会影响到多晶硅栅的形貌和物理性能。同时,通过调节曝光量和焦深,可以有效地控制光刻过程的精度,从而确保多晶硅栅结构的准确... 阐述在0.5μm BiCMOS工艺中的多晶硅栅制备工艺关键试验。试验表面旋涂转速会显著影响涂胶厚度,该参数的变化会影响到多晶硅栅的形貌和物理性能。同时,通过调节曝光量和焦深,可以有效地控制光刻过程的精度,从而确保多晶硅栅结构的准确复现。LAM9400用于刻蚀工艺,在特定刻蚀厚度范围内,多晶硅表现出良好的均匀性。 展开更多
关键词 半导体制造 BICMOS 多晶硅栅 涂胶 光刻 刻蚀
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BCD工艺在高压功率驱动电路中的应用 被引量:1
19
作者 吴会利 林雨佳 +1 位作者 孔祥旭 宋博尊 《微处理机》 2024年第5期54-56,60,共4页
随着集成电路技术的快速发展,高压功率驱动电路在工业和汽车电子等领域得到广泛应用。为深入理解、开发和掌握先进BCD工艺技术,更好发挥其兼容Bipolar、CMOS和DMOS工艺的优势,通过介绍BCD工艺的特点及其发展历程,结合600 V高压功率驱动... 随着集成电路技术的快速发展,高压功率驱动电路在工业和汽车电子等领域得到广泛应用。为深入理解、开发和掌握先进BCD工艺技术,更好发挥其兼容Bipolar、CMOS和DMOS工艺的优势,通过介绍BCD工艺的特点及其发展历程,结合600 V高压功率驱动电路的设计,对隔离、高压MOS和版图设计等关键技术展开深入研究。研究可为高压功率驱动电路的设计实现提供有效支持,在当前芯片国产化大趋势下,对提升中国集成电路设计制造水平具有重要意义。 展开更多
关键词 BCD工艺 隔离技术 电压转换 功率驱动电路 兼容性 闩锁效应 叉指结构 多晶硅栅
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低压MOSFET集成ESD保护结构的设计方法 被引量:1
20
作者 方绍明 赵美英 《集成电路应用》 2020年第9期192-194,共3页
为了有效防止低压MOSFET在受到静电击穿而损坏产品,需要设计专门的静电保护二极管,并联在MOSFET的栅极和源极之间,以对栅氧化层进行保护。静电保护结构的设计规则尺寸、注入剂量和级联结构,都会影响保护效果。设计者需在弄清ESD保护工... 为了有效防止低压MOSFET在受到静电击穿而损坏产品,需要设计专门的静电保护二极管,并联在MOSFET的栅极和源极之间,以对栅氧化层进行保护。静电保护结构的设计规则尺寸、注入剂量和级联结构,都会影响保护效果。设计者需在弄清ESD保护工作机理后、根据产品静电等级需要,确定保护二极管的特性参数,并结合工艺可行性及成本等因素,设计出最合适的ESD保护结构。 展开更多
关键词 集成电路制造 MOSFET 保护二极管 静电 人体模式 多晶硅 注入 栅源
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