本文设计了一种专用的图形文件格式(CPF:Pattern format for CETC48),旨在优化电子束光刻设备中的图形数据存储与传输。详细阐述了CPF文件格式的文件结构、数据组成及所采用的多种图形压缩算法。实验结果表明,CPF格式在文件存储效率及...本文设计了一种专用的图形文件格式(CPF:Pattern format for CETC48),旨在优化电子束光刻设备中的图形数据存储与传输。详细阐述了CPF文件格式的文件结构、数据组成及所采用的多种图形压缩算法。实验结果表明,CPF格式在文件存储效率及处理性能上均优于现有格式,该格式已通过了实验证,满足了设计要求及电子束光刻设备的需求。展开更多
文摘本文设计了一种专用的图形文件格式(CPF:Pattern format for CETC48),旨在优化电子束光刻设备中的图形数据存储与传输。详细阐述了CPF文件格式的文件结构、数据组成及所采用的多种图形压缩算法。实验结果表明,CPF格式在文件存储效率及处理性能上均优于现有格式,该格式已通过了实验证,满足了设计要求及电子束光刻设备的需求。
