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On-Resistance Degradations Under Different Stress Conditions in High Voltage pLEDMOS Transistors and an Improved Method 被引量:3
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作者 孙伟锋 吴虹 +2 位作者 时龙兴 易扬波 李海松 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期214-218,共5页
The on-resistance degradations of the p-type lateral extended drain MOS transistor (pLEDMOS) with thick gate oxide under different hot carrier stress conditions are different, which has been experimentally investiga... The on-resistance degradations of the p-type lateral extended drain MOS transistor (pLEDMOS) with thick gate oxide under different hot carrier stress conditions are different, which has been experimentally investigated. This difference results from the interface trap generation and the hot electron injection, and trapping into the thick gate oxide and field oxide of the pLEDMOS transistor. An improved method to reduce the on-resistance degradations is also presented, which uses the field oxide as the gate oxide instead of the thick gate oxide. The effects are analyzed with a MEDICI simulator. 展开更多
关键词 pledmos on-resistance degradation hot electron injection and trapping thick gate oxide
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pLEDMOS导通电阻及阈值电压的热载流子退化 被引量:2
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作者 郑维山 孙虎 +1 位作者 刘斯扬 孙伟锋 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期522-525,共4页
研究了不同漂移区长度及不同栅场极板长度的厚栅氧化层pLEDMOS器件由热载流子效应导致的导通电阻及阈值电压的退化现象及机理.实验结果表明,增加漂移区长度能改善器件的导通电阻的退化,但加速了阈值电压的退化;增加栅场极板长度可以同... 研究了不同漂移区长度及不同栅场极板长度的厚栅氧化层pLEDMOS器件由热载流子效应导致的导通电阻及阈值电压的退化现象及机理.实验结果表明,增加漂移区长度能改善器件的导通电阻的退化,但加速了阈值电压的退化;增加栅场极板长度可以同时改善导通电阻和阈值电压的退化.借助TCAD仿真软件,模拟分析了不同漂移区长度及不同栅场极板长度的pLEDMOS器件的离子产生率和纵向电场,模拟结果解释了各种退化现象的机理,同时表明碰撞电离率和纵向电场的优化是改善器件参数退化的有效手段. 展开更多
关键词 pledmos 热载流子注入 导通电阻 阈值电压 退化
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