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MEMS微压压力传感器的灵敏度优化 被引量：10
1
作者 彭时秋 朱赛宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第13期1582-1590,共9页
为提高微机电系统微压压力传感器的灵敏度,根据硅压阻式压力传感器的工作原理介绍了影响压力传感器灵敏度的主要因素。使用COMSOL Mutilphysics有限元仿真软件开展压力敏感膜层厚度、压敏电阻摆放位置及压敏电阻长度对灵敏度影响规律的... 为提高微机电系统微压压力传感器的灵敏度,根据硅压阻式压力传感器的工作原理介绍了影响压力传感器灵敏度的主要因素。使用COMSOL Mutilphysics有限元仿真软件开展压力敏感膜层厚度、压敏电阻摆放位置及压敏电阻长度对灵敏度影响规律的研究。根据仿真结果,减小压力敏感膜层厚度至15μm,设置压敏电阻长度为120μm,并将压敏电阻摆放至距压敏膜层边缘10μm的位置,完成了一款量程为40 kPa的MEMS硅压阻式微压压力传感器的结构优化,有效提升了传感器的灵敏度。测试结果表明,该压力传感器的灵敏度达到0.444 mV/kPa,相较于常规同量程灵敏度为0.35 mV/kPa的压力传感器,提升了26.8%。上述优化结果基本满足MEMS微压压力传感器的高灵敏度、高线性度等要求。 展开更多
关键词 微机电系统 微压压力传感器 COMSOL mutilphysics 灵敏度优化
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血压计用MEMS压力传感器设计与制造 被引量：3
2
作者 彭时秋 朱赛宁 肖步文 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第3期79-82,共4页
针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,设计了一种可应用于电子血压计量程为40 kPa的MEMS压力传感器。首先基于硅压阻式MEMS压力传感器的工作原理,使用COMSOL Mutilphysics软件对传感器结构进行仿真设计,根据理... 针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,设计了一种可应用于电子血压计量程为40 kPa的MEMS压力传感器。首先基于硅压阻式MEMS压力传感器的工作原理,使用COMSOL Mutilphysics软件对传感器结构进行仿真设计,根据理论计算各结构尺寸,得到可获得最高输出灵敏度以及最小非线性的电阻位置,并设计传感器掩模版图。同时设计了传感器芯片工艺制备流程,完成了高灵敏度压力传感器芯片的制作,并对最终成品性能进行了研究分析。实验结果表明:通过对压力传感器结构优化,研制出的40 kPa硅压阻式MEMS压力传感器在常温下的灵敏度达到0.445 mV·V^(-1)·kPa^(-1),非线性度达到±0.0736%FS。 展开更多
关键词 压阻式微机电系统压力传感器 COMSOL mutilphysics软件 灵敏度 非线性度
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