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具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构 被引量：10
1
作者 庞江涛 战长青 刘理天 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第3期1-3,共3页
根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元... 根据我们研制成功的铝硅双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，本文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器系统集成的方法。该方法在原微流量泵双金属驱动结构的单晶硅膜上集成制作了微流量传感器。这种一体化的集成驱动结构单元同时具有驱动功能和流量检测功能，并且制作工艺简单，为进一步实现与控制电路集成的集成微流量泵系统奠定了基础。 展开更多
关键词 微流量泵 微流量传感器 微流量检测
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Lamb波压差式微流量传感器 被引量：2
2
作者 贾宏光 光玲玲 +2 位作者 MANCEAU Jean-Francois BASTIEN Francois 刘波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1033-1038,共6页
为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量... 为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双Lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿。对长20 mm,宽1 mm,高50μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.999 9;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627μL/s。 展开更多
关键词 微流体系统 微流量传感器 LAMB波
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微流量泵与微流量传感器的系统集成
3
作者 庞江涛 战长青 +3 位作者 谭智敏 钱欣 刘理天 李志坚 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 1998年第2期101-104,共4页
介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了... 介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。 展开更多
关键词 微流量泵 微流量传感器 系统集成 微机械
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一种新型双层热感式微流量传感器及参数优化 被引量：5
4
作者 祁佳莉 王康宁 +2 位作者 王瑞金 杜加友 邵纯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期149-157,共9页
热感式微流量传感器具备灵敏度高、可靠性好、测量精度高等优势,广泛应用于环境监测系统、生物研究、化工工艺控制等领域,然而传统热感式流量传感器的量程有限,从而限制了其进一步拓展应用领域。本文提出了一种新的设有主次双流道的双... 热感式微流量传感器具备灵敏度高、可靠性好、测量精度高等优势,广泛应用于环境监测系统、生物研究、化工工艺控制等领域,然而传统热感式流量传感器的量程有限,从而限制了其进一步拓展应用领域。本文提出了一种新的设有主次双流道的双层热感式微流量传感器,低流率时输出主流道的温差信号,而大流率时输出次流道的温差信号,从而拓宽量程。为了能获得更好的传感器性能,通过数值模拟优化了支流流道入口大小与位置和流道高度与宽度,优化后双层热感式微流量传感器的量程为0~145 m/s式,同时确保灵敏度超过0.03 K/(m·s^(-1)),并且确定了主次流道输出温差信号的转换流速阈值为63 m/s。最后分析了传感器内部粘性耗散,发现上游探测器前端的粘性耗散是引起传感器失效的主要原因,为改进热感式微流量传感器性能提供参考。 展开更多
关键词 热感式微流量传感器 灵敏度 量程 粘性耗散 转换阈值
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Lamb波压差式微流量传感器的研究 被引量：1
5
作者 光玲玲 贾宏光 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第1期63-66,共4页
为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通道两端的压力,通过压力差、微通道的几何尺寸及流动特性计算出流量。结果表明,以Lamb波为探测媒介,采用... 为提高微小流量检测的灵敏度,增大其动态范围,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量测试方法。采用双Lamb波压力传感器分别测量微通道两端的压力,通过压力差、微通道的几何尺寸及流动特性计算出流量。结果表明,以Lamb波为探测媒介,采用薄膜内应力敏感方式和频率计量方法,提高了传感器灵敏度、动态范围和测量精度;采用双Lamb波压力传感器不仅克服了背压对传感器精度的影响,同时消除了温度变化对测量结果带来的误差。 展开更多
关键词 微流体系统 微流量传感器 LAMB波
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OXYMAT6E型氧分析仪的应用
6
作者 叶龙岩 《自动化博览》 2001年第5期22-23,共2页
文章简述了OXYMAT6E型氧分析仪的工作原理和结构特点,以及它在PTA卸料和输送中的应用情况,并对目前氧分析系统提出改造方案。
关键词 氧分析仪 OXYMAT6E型 微流量传感器 化工仪表
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硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究 被引量：3
7
作者 庞江涛 刘理天 李志坚 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第S1期64-67,共4页
介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果。该系统为三片式结构，其中两片由体硅微机械加工技术形成，构成微止回阀门，另一片为集成铝硅双金属驱动结构。驱动结构的结构参数得到... 介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果。该系统为三片式结构，其中两片由体硅微机械加工技术形成，构成微止回阀门，另一片为集成铝硅双金属驱动结构。驱动结构的结构参数得到了优化设计，提高了工作效率。利用铝硅双金属驱动结构制作工艺的特点，在驱动结构上集成制作了微流量传感器和信号处理电路，实现了系统集成。该集成系统的制作工艺简单，所采用的微机械加工工艺与标准ＭＯＳ工艺完全兼容。集成微型泵的外形尺寸为６ｍｍ×６ｍｍ×１ｍｍ，最大输出背压力为１０ｋＰａ，最大流量可达到４４μＬ／ｍｉｎ。 展开更多
关键词 微阀门 微流量传感器 微泵 微流量控制系统 系统集成
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