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Validity of a Making Method for a Homogeneous Specimen Using Micro-wave
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作者 Hisashi Suzuki 《Journal of Environmental Science and Engineering(A)》 2014年第5期274-281,共8页
It is too difficult for a compacted specimen of unsaturated clay prepared and used in a laboratory test to have homogeneous water content and porosity. Although there have been many hydraulic and mechanical studies, t... It is too difficult for a compacted specimen of unsaturated clay prepared and used in a laboratory test to have homogeneous water content and porosity. Although there have been many hydraulic and mechanical studies, there are few papers related to homogeneity of specimen. However, it is clear that homogeneity of specimen influences mechanical properties. In this paper, the use of micro-waves is proposed as method for making homogeneous specimens. The study results indicate that specimens made by micro-waves are more homogeneous than compacted specimens. 展开更多
关键词 micro-wave homogeneous specimen water content dry density.
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128°YX-LN SAW低温温度传感器的原位封装技术
2
作者 张玮莉 崔永俊 +2 位作者 王红亮 张峰 郝焰莹 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期828-833,共6页
为满足低温环境下对温度的测试需求,提出了一种针对声表面波(SAW)低温温度传感器的原位封装技术。采用微加工工艺将传感器元件与封装结构相结合,利用粘合剂在传感器衬底上直接进行封装,有效简化了传统封装的制备流程,缩小了SAW低温温度... 为满足低温环境下对温度的测试需求,提出了一种针对声表面波(SAW)低温温度传感器的原位封装技术。采用微加工工艺将传感器元件与封装结构相结合,利用粘合剂在传感器衬底上直接进行封装,有效简化了传统封装的制备流程,缩小了SAW低温温度传感器的封装尺寸,研制的传感器尺寸仅为11.5 mm×8 mm×0.9mm。拉伸测试表明,封装后传感器的键合强度达到7.49 MPa,抗压强度≥10 MPa。在液氮环境中进行低温测试,结果表明,在-196~25℃时传感器的性能依旧保持良好,封装未对传感器产生干扰,保证了传感器在极端条件下应用的可靠性和稳定性。 展开更多
关键词 声表面波 温度传感器 低温 封装 微机电系统
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μN级推力器设计与实验研究
3
作者 王豪 穆建超 +3 位作者 丛麟骁 李英民 刘捷 乔从丰 《中国科学院大学学报(中英文)》 北大核心 2025年第3期412-420,共9页
面向精确姿态控制和轨道调整的空间探测任务对航天器推进系统提出微推力、高精度、宽范围连续可调的要求。会切型霍尔推力器具有结构简单、推力范围大、推功比高和寿命长的特点,提出一种通道更窄,磁场更强的μN级会切型霍尔推力器。在... 面向精确姿态控制和轨道调整的空间探测任务对航天器推进系统提出微推力、高精度、宽范围连续可调的要求。会切型霍尔推力器具有结构简单、推力范围大、推功比高和寿命长的特点,提出一种通道更窄,磁场更强的μN级会切型霍尔推力器。在微流量条件下,较窄的通道增大了放电室内推进剂的密度,较强的磁场提高电子的约束效率,促进了电子与推进剂原子的碰撞电离过程,容易实现推进器稳定的推力输出。实验结果表明,选用推进剂Xe,工况为流量范围0.5~1.0 sccm,电压范围0~300 V,实现推力输出范围5.4~518.9μN,响应时间优于150 ms,推力噪声在0.05~1 Hz频段达到0.1μN/Hz^(1/2)。当推进剂Xe流量为0.5 sccm,电压为500 V时,推力输出达到50μN,比冲达到104 s。通过优化磁场设计等,μN级会切型霍尔推力器性能可以进一步提升,有望满足空间探测任务需要。 展开更多
关键词 空间电推进 霍尔推力器 微推进系统 推力测量 引力波探测
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120 MeV电子直线加速器在线自动老练系统研制 被引量:1
4
作者 孙彬 王煜 +5 位作者 黑东炜 李斌康 谭新建 翁秀峰 付竹明 刘军 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1517-1522,共6页
为保证电子直线加速器的性能和稳定运行,需对高功率微波加速结构进行老练。针对微波系统老练效率低、时间长和实验人员工作强度大等问题,研制了基于EPICS和SNL的在线自动老练系统,系统基于现有控制系统结构开发,提高了老练效率,缩短了约... 为保证电子直线加速器的性能和稳定运行,需对高功率微波加速结构进行老练。针对微波系统老练效率低、时间长和实验人员工作强度大等问题,研制了基于EPICS和SNL的在线自动老练系统,系统基于现有控制系统结构开发,提高了老练效率,缩短了约25%的老练时间,同时减少了工作人员操作设备的工作强度,为后续加速器顺利出束并达到设计指标打下良好的基础。 展开更多
关键词 电子直线加速器 微波系统 EPICS SNL 老练
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声表面波MEMS器件的设计和制作工艺 被引量:2
5
作者 高爱华 鲍帅 刘欢 《西安工业大学学报》 CAS 2012年第10期785-788,810,共5页
为了探索声表面波器件制作工艺,在压电器件工作原理的基础上,通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数,绘制了掩模板,对制作的声表面波器件进行测试,制作了不同叉指对数、孔径长度、中心距离的电极.实验结果表... 为了探索声表面波器件制作工艺,在压电器件工作原理的基础上,通过设计声表面波器件的工作频率、叉指宽度、间隙及对数等器件参数,绘制了掩模板,对制作的声表面波器件进行测试,制作了不同叉指对数、孔径长度、中心距离的电极.实验结果表明:以石英为基底,使用EPG533型光刻胶在前烘温度为105℃,曝光时间为8s,显影时间为50s时获得了较理想电极图形和稳定的实验参数. 展开更多
关键词 声表面波 微机电系统技术 器件制作 器件测试
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近太赫兹频段线性注真空器件的研究 被引量:8
6
作者 冯进军 蔡军 +5 位作者 胡银富 李含雁 杜英华 唐烨 李莉莉 潘攀 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第5期684-690,706,共8页
介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等。这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫... 介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等。这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构。器件技术包括微机电系统(MEMS)技术,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石生长、金属化和封接技术等。最后给出W波段、G波段以及340 GHz部件和器件所达到的性能。 展开更多
关键词 太赫兹 行波管 返波管 微机电系统技术 金刚石
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340GHz太赫兹返波振荡器 被引量:11
7
作者 冯进军 唐烨 +4 位作者 李含雁 刘京恺 蔡军 胡银富 邬显平 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第1期32-37,共6页
介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340 GHz返波振荡器,计算和模拟结果表明,当调谐电压14 kV^16.2 kV... 介绍太赫兹返波振荡器的发展,重点对340 GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340 GHz返波振荡器,计算和模拟结果表明,当调谐电压14 kV^16.2 kV,工作电流8 mA时,在337 GHz^347 GHz的频率范围内可得到10 mW输出功率。高频结构加工采用UV LIGA技术,已经加工出高频结构样品,并对真空环境应用做了研究,以保证较小的表面粗糙度,减小高频率情况下的射频损耗。 展开更多
关键词 太赫兹 真空器件 返波振荡器 微机电系统技术 LIGA技术
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MEMS毫米波滤波器的设计与制作 被引量:10
8
作者 李倩 杨志 胡小东 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第3期170-173,178,共5页
开展了一种基于MEMS工艺的毫米波带通滤波器结构设计和工艺实现,该滤波器结构采用高阻硅作为衬底材料的薄膜支撑结构,选用平行耦合滤波器形式,使用HFSS分析软件对该结构进行了模拟仿真。设计了中心频率为35.0GHz、带内损耗为2.2dB、30d... 开展了一种基于MEMS工艺的毫米波带通滤波器结构设计和工艺实现,该滤波器结构采用高阻硅作为衬底材料的薄膜支撑结构,选用平行耦合滤波器形式,使用HFSS分析软件对该结构进行了模拟仿真。设计了中心频率为35.0GHz、带内损耗为2.2dB、30dB抑制带宽为2.2GHz的MEMS毫米波滤波器。给出了一套能降低毫米波损耗的MEMS毫米波带通滤波器工艺流程方案,并针对该工艺流程方案进行了关键参数的工艺误差仿真,实现了MEMS毫米波滤波器的工艺制作和测试。测试结果表明,获得的毫米波滤波器的测试结果与仿真结果比较接近。 展开更多
关键词 微电子机械系统 毫米波 滤波器 微机械加工 微屏蔽线
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硅基双层SIW结构毫米波MEMS滤波器 被引量:7
9
作者 杨志 杨拥军 +2 位作者 李倩 胡小东 徐永青 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第6期376-379,390,共5页
基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式。理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真。设计得到了中心频率f0为31.2 GHz、插入损耗为1.1 dB、1... 基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式。理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真。设计得到了中心频率f0为31.2 GHz、插入损耗为1.1 dB、1 dB带宽大于1 GHz、中心频率f0±3 GHz处抑制大于40 dB、芯片尺寸为4.6 mm×3.1 mm×0.8 mm的MEMS毫米波滤波器。给出了一套基于MEMS工艺的双层SIW结构毫米波MEMS滤波器的制作流程,实现了硅基双层SIW结构毫米波MEMS滤波器的工艺制作及测试。测试结果表明,获得的MEMS毫米波滤波器的测试结果与仿真结果基本一致。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 滤波器 毫米波 双层 基片集成波导(SIW)
原文传递
基于ANFIS的微波炉温度控制 被引量:2
10
作者 叶吉祥 路秋静 唐贤瑛 《计算机工程与设计》 CSCD 2004年第11期2119-2121,共3页
针对微波炉温度对象的不确定性,提出了用自适应神经模糊推理系统(ANFIS)对微波炉温度进行自适应控制的自适应神经模糊控制器。通过对ANFIS的训练及检验,结果表明,该自适应神经模糊控制器具有较高的控制精度,控制效果较好。
关键词 ANFIS 自适应控制 对象 控制精度 温度控制 自适应神经模糊推理系统 不确定性 微波炉 炉温
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压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望 被引量:5
11
作者 于晓权 何杰 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期223-229,233,共8页
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射... 兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。 展开更多
关键词 兰姆波谐振器(LWR) 压电微机电系统(MEMS) 横向激励声体波谐振器(XBAR) 高次谐波组合模式谐振器(CORs) 截面拉梅模式谐振器(CLMRs)
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基于声表面波技术实现数字微流体多基片间输运 被引量:3
12
作者 章安良 夏兴华 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期765-769,共5页
建立了声表面波实现多基片间输运微流体的新方法。由3个1280YX-LiNbO3压电基片组成,一个基片为接口基片,另两个为工作基片,每个基片光刻一个中心频率为27.5 MHz叉指换能器和一个反射栅。采用微量进样器将待输运的数字微流体进样到工作基... 建立了声表面波实现多基片间输运微流体的新方法。由3个1280YX-LiNbO3压电基片组成,一个基片为接口基片,另两个为工作基片,每个基片光刻一个中心频率为27.5 MHz叉指换能器和一个反射栅。采用微量进样器将待输运的数字微流体进样到工作基片2,调节接口基片使得其与工作基片2位于同一高度,并使其间隙尽可能小,在工作基片2的叉指换能器上施加声同步频率经放大后的RF信号,激发声表面波,驱动数字微流体到达接口基片。再采用类似方法将接口基片中数字微流体输运到工作基片1,完成两个工作基片间的输运。实现了不同工作基片上的数字微流体的混合及化学反应。 展开更多
关键词 数字微流体 多芯片微流系统 声表面波 叉指换能器 输运
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薄膜体声波谐振器微加速度计惯性力敏特性 被引量:1
13
作者 何婉婧 高杨 +2 位作者 李君儒 黄振华 蔡洵 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第2期337-341,共5页
研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(Al N)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的FBAR微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基... 研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(Al N)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的FBAR微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基于第一性原理计算纤锌矿Al N的弹性系数与应力的关系式,预测惯性力载荷作用下Al N弹性系数的最大变化量;采用谐响应分析,预测FBAR微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。分析得到:惯性力载荷作用下,FBAR微加速度计的谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数k Hz/g;其加速度增量-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性度。 展开更多
关键词 微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 微加速度计 力敏特性
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PLC在化工污水处理系统中的应用 被引量:1
14
作者 唐世旺 冯曙光 《当代化工》 CAS 2009年第5期490-492,共3页
采用Control Wave MICRO PLC自动控制系统实现了化工生产污水处理的自动控制功能,对流量、液位等参数实现检测与控制。经污水处理系统处理的污水达到了排放标准。
关键词 污水处理系统 CONTROL WAVE MICRO PLC 达标
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微波干涉测量技术及其在桥梁变形观测中的应用 被引量:7
15
作者 金旭辉 汪淼 +2 位作者 华远峰 胡伍生 孙腾科 《现代测绘》 2013年第6期3-5,9,共4页
将步进频率连续波技术和干涉测量技术相结合而构成的地面微波干涉雷达系统GB-radar,可用于获取高精度、高分辨率的变形信息,以实现对地面目标的静动态高精度监测。本文介绍了基于该技术的IBIS-S系统在桥梁变形观测中的应用,分析了测量误... 将步进频率连续波技术和干涉测量技术相结合而构成的地面微波干涉雷达系统GB-radar,可用于获取高精度、高分辨率的变形信息,以实现对地面目标的静动态高精度监测。本文介绍了基于该技术的IBIS-S系统在桥梁变形观测中的应用,分析了测量误差,通过实例验证了地面微波干涉雷达技术可以精细地测量桥梁挠度的动态变化,精度高,可以真实地反映结构物的动力特性。 展开更多
关键词 步进频率连续波 微变形干涉雷达系 统IBIS-S 挠度
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铜基空气微同轴工艺技术 被引量:6
16
作者 史光华 王建 +5 位作者 徐达 郭诚 常青松 王真 周彪 张延青 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第8期597-603,共7页
铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成。与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点,同时又保留了平面微带器件集... 铜基空气微同轴传输线是由悬空的中心内导体、将其包围的接地外导体和周期性介质支撑结构组成。与传统的平面微带器件相比,基于微同轴工艺研制的毫米波器件具有宽频带、高隔离度、低损耗、高功率容量等特点,同时又保留了平面微带器件集成度高等优势。系统地研究了铜基空气微同轴结构及制备工艺,并利用该工艺制备了W波段微同轴传输线和功率合成器。样件测试结果显示,基于微同轴技术的射频器件在高频下表现出可以与波导结构制作的器件相比拟的插入损耗和合成效率,在110 GHz处实测的传输线插入损耗≤0.045 dB/mm,功率合成器的一级合成效率(即两路合成)大于92%。该测试结果证明了微同轴结构及工艺的有效性和可靠性。 展开更多
关键词 微同轴 高频低损耗 功率合成器 毫米波(MMW) 射频微电子机械系统(RF MEMS)
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基于微动敏感床垫式睡眠监测系统的心率检测 被引量:6
17
作者 郑慧君 俞梦孙 +4 位作者 曹征涛 王海涛 姬超 李远洋 武腾腾 《北京生物医学工程》 2009年第5期486-489,共4页
在睡眠监测系统中,心率检测是实现其功能的重要参数之一。本文针对新一代微动敏感床垫式睡眠监测系统提出了一种直接从床垫上获取心率的算法。该算法首先对床垫系统所得信号预处理,即滤波和体动判别,然后利用信息融合筛选最优信号来判... 在睡眠监测系统中,心率检测是实现其功能的重要参数之一。本文针对新一代微动敏感床垫式睡眠监测系统提出了一种直接从床垫上获取心率的算法。该算法首先对床垫系统所得信号预处理,即滤波和体动判别,然后利用信息融合筛选最优信号来判断心跳特征点。和脉搏波心率对比结果表明,本算法所得床垫心率可以正确反映被测者平静状态下的心动周期和整晚心率变化趋势,为实现无负荷睡眠监测打下基础。 展开更多
关键词 微动敏感式床垫系统 脉搏波 胸冲击 心率
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行波式压电微电机的等效电路特性
18
作者 马建旭 王立鼎 +1 位作者 崔天宏 昌琼莹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期42-47,共6页
本文通过对行波式压电微电机原理性的分析,并结合质点运动学基础理论,研究了压电微电机换能理论,建立了电机等效电路。该方法将为深入研究压电微电机的力矩、功率、以及效率提供有力的理论基础。
关键词 等效电路 行波式 压电 微电机 微机械
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基于自适应神经模糊推理系统的微波炉温度控制 被引量:1
19
作者 彭玉楼 路秋静 《陕西科技大学学报(自然科学版)》 2004年第2期42-44,85,共4页
针对微波炉温度对象的不确定性,作者提出了用自适应神经模糊推理系统(ANFIS)对微波炉温度进行自适应控制的自适应神经模糊控制器。对ANFIS训练及检验的结果表明,该自适应神经模糊控制器具有较高的控制精度,控制效果较好。
关键词 自适应神经模糊推理系统 微波炉 温度控制 建模 控制精度
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量:3
20
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
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