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Ultra-precision Machining of Micro-step Pillar Array Using a Straight-Edge Milling Tool
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作者 Kui Liu Hu Wu +1 位作者 Rui Huang Nicholas Yew Jin Tan 《Nanomanufacturing and Metrology》 2020年第4期260-268,共9页
Ultra-precision machining has been well known as a very precise and effective way to prototype and fabricate different types of components with microstructures.In this paper,an ultra-precision micro-milling method has... Ultra-precision machining has been well known as a very precise and effective way to prototype and fabricate different types of components with microstructures.In this paper,an ultra-precision micro-milling method has been presented to produce a micro-step pillar array as an embossing mold for semiconductor application.Theoretical analysis on machining mechanics indicates that work material property,machining strategy,and cutting tool geometry largely afFect machining distortion on the machined microstructure.Experimental investigation has been conducted on micromachining of the micro-step pillar array using different types of cutting tools and work materials.Experimental results demonstrate that the material property,cutting tool edge radius,and cutting force play a significant role in the machined micro-structure accuracy and surface finish,while grain boundary of brass has no significant effect on the micro-milling performance.The best outcome among the tests done is achieved when using brass as work material and cutting with a straight-edge single crystalline diamond tool.The main reasons to achieve this outcome are based on:the brass material having a higher elastic modulus and the diamond tool having a smaller cutting edge radius,which contributes to better machinability of brass.One micro-step pillar array has been successfully obtained with very precise feature and dimensional accuracy using brass work material and single-crystal diamond tool.It is believed that the outcomes of this study would largely benefit the research community and end-users. 展开更多
关键词 Single-crystalline diamond ULTRA-PRECISION Milling micro-step pillar BRASS
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一种面向微步控制的比较器失调校准电路
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作者 刘耀阳 孙江 +2 位作者 邹海洋 舒哲瞳 郭洋 《电子元件与材料》 北大核心 2025年第6期706-713,共8页
在步进电机驱动芯片的应用中,为解决步进电机高细分输出电流控制时,比较器参考电压差小、输入失调电压影响比较器翻转、输出电流控制精度低等问题,设计了一种面向微步控制的失调校准电路。该电路为差分输入,当制造工艺引入随机失调时,... 在步进电机驱动芯片的应用中,为解决步进电机高细分输出电流控制时,比较器参考电压差小、输入失调电压影响比较器翻转、输出电流控制精度低等问题,设计了一种面向微步控制的失调校准电路。该电路为差分输入,当制造工艺引入随机失调时,电路启动自动检测并校准输入失调电压,实现了一种低输入失调的比较器电路。通过改变修调电流和电阻可调整校准失调电压的范围与精度。电路使用静态失调校准技术,与传统比较器失调校准电路相比,结构更加简易,且控制方便可行。该电路具有良好的失调校准能力,同时规模增加较小。该电路采用0.18μm BCD工艺设计,典型条件下设定相应修调电流及电阻,失调校准范围为±3.5 mV,比较器输入失调电压可校准至150μV左右。 展开更多
关键词 低失调 静态校准 比较器 步进电机 微步控制
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一种适配多种开挖方法的履带式悬挑开挖台架及应用效果分析
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作者 闫腾飞 刘星 +4 位作者 包汉营 郭志光 刘永福 张嘉轩 朱志有 《西北民族大学学报(自然科学版)》 2025年第1期78-84,共7页
针对某铁路项目现有微台阶法等施工开挖台架机械化水平低,作业效率低等问题,设计出一种适配多种开挖工法的履带式悬挑开挖台架,以满足现场采用微台阶等工法开挖的需求,并能克服走行低效的问题.经实地应用与分析,开挖工序单循环进尺两榀... 针对某铁路项目现有微台阶法等施工开挖台架机械化水平低,作业效率低等问题,设计出一种适配多种开挖工法的履带式悬挑开挖台架,以满足现场采用微台阶等工法开挖的需求,并能克服走行低效的问题.经实地应用与分析,开挖工序单循环进尺两榀,开挖工序使用本台架较传统平均用时节约0.8 h,单循环进尺三榀较传统平均用时节约0.5 h;立架工序单循环立架两榀,使用本台架立架工序较传统平均用时节约0.4 h,单循环立架三榀较传统台架平均用时节约0.5 h. 展开更多
关键词 铁路隧道 微台阶 开挖台架 循环时间 施工技术
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基于涡旋光相移干涉的高精度微测量技术研究
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作者 袁涛 刘吉 +2 位作者 武锦辉 张博洋 杨雪娇 《半导体光电》 北大核心 2025年第4期722-726,共5页
针对精密加工和芯片制造领域微位移高精度测量需求,提出一种基于涡旋光干涉的新型微位移测量方法。通过改进传统的马赫-曾德尔干涉系统,引入空间光调制器生成携带轨道角动量的涡旋光作为参考光源,与作用于被测物体的球面波物光发生干涉... 针对精密加工和芯片制造领域微位移高精度测量需求,提出一种基于涡旋光干涉的新型微位移测量方法。通过改进传统的马赫-曾德尔干涉系统,引入空间光调制器生成携带轨道角动量的涡旋光作为参考光源,与作用于被测物体的球面波物光发生干涉,构建具有螺旋相位特征的动态干涉条纹。系统通过监测物体微小位移引起的干涉条纹旋转变换,建立相位旋转角度与定位移量的精确对应关系。为实现精确分析物体的微位移量,结合图像处理、四步相移法和解包裹算法的相位重构体系,有效生成解包裹相位图和位移分布图。实验结果表明,该方法测量误差低于3%,重复性测量平均误差为1.4%。该系统操作简便、测试精度高且稳定可靠。 展开更多
关键词 涡旋光 微位移测量 四步相移 光学干涉
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镀铬和滚压处理对35Cr2Ni4MoA钢微动疲劳性能的影响
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作者 杨廷勇 邓文 +2 位作者 张超 钟翔福 兰智云 《表面技术》 北大核心 2025年第13期193-202,共10页
目的研究不同表面处理的35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓在模拟服役工况下的微动疲劳性能。方法采用扫描电子显微镜(SEM)、轮廓仪、显微硬度计、金相显微镜等测试手段分析不同表面处理方式对35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓表面完整性的影响,运用步进法对... 目的研究不同表面处理的35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓在模拟服役工况下的微动疲劳性能。方法采用扫描电子显微镜(SEM)、轮廓仪、显微硬度计、金相显微镜等测试手段分析不同表面处理方式对35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓表面完整性的影响,运用步进法对螺栓进行疲劳试验,得到疲劳强度,最后探讨表面完整性与疲劳性能之间的内在联系。结果采用镀铬、滚压或镀铬后滚压复合处理均能够改善35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓的表面形貌,降低其表面粗糙度,提高其近表层硬度,其中采用滚压或镀铬处理后其表面粗糙度Ra、Rz相较于基材分别降低了87.56%、82.53%,56.70%、62.77%。采用镀铬后滚压处理方式能够改善镀层的致密性,但容易出现表面微裂纹。采用滚压及镀铬后滚压复合处理能够提高35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓的疲劳强度,相较于基材分别提高了14.2%、7.2%,采用镀铬处理则会降低疲劳强度,相较于基材降低了3.9%。结论疲劳失效形式表现为微动疲劳,通过滚压、镀铬及滚压复合处理给试样带来的粗糙度降低、硬度增大等有利因素,能够有效抑制35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓微动疲劳源的萌生和扩展,提高微动疲劳强度抗力;经镀铬处理后,镀层的致密性较差,且出现了微裂纹,这些是影响微动疲劳抗力的不利因素,有利因素与不利因素共同决定了35Cr2Ni4MoA高强钢螺栓的微动疲劳强度。 展开更多
关键词 35Cr2Ni4MoA钢螺栓 滚压处理 镀铬处理 疲劳试验 微动疲劳 步进法
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上软下硬地层开挖大断面水工隧洞施工关键技术研究
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作者 回恒酉 陈道灵 《港口航道与近海工程》 2025年第2期110-115,共6页
上软下硬地层即上层为软弱、强度较低的松散状围岩,下层为强度较高、质地坚硬、稳定性较好的围岩,上下围岩之间有着明显的分界,在该特殊地层上施工大断面隧洞,因上层难以发挥围岩的自稳能力,易发生较大的地表沉降。本文依托湖南省辰溪... 上软下硬地层即上层为软弱、强度较低的松散状围岩,下层为强度较高、质地坚硬、稳定性较好的围岩,上下围岩之间有着明显的分界,在该特殊地层上施工大断面隧洞,因上层难以发挥围岩的自稳能力,易发生较大的地表沉降。本文依托湖南省辰溪县双溪撇洪工程,优化上软下硬地层开挖大断面隧洞施工工艺,采用新工艺CRD联合微台阶法精细爆破法进行施工,并通过FLAC 3D软件进行数值模拟验证,施工中监测地表最大沉降位于拱顶为4.2 cm,上导洞收敛最大值为1.1 cm,下导洞收敛最大值为1 cm,满足设计要求,可为类似工程提供借鉴。 展开更多
关键词 上软下硬地层 FLAC 3D 数值模拟验证 CRD联合微台阶法 大断面水工隧洞
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微热电偶电解腐蚀法制作及响应特性研究
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作者 张剑鹏 王璐 王良璧 《计量学报》 北大核心 2025年第3期354-360,共7页
减小热电偶的感温结点直径是提高热电偶动态响应特性的重要方法,但实际制作中很难找到更细的偶丝。为了进一步减小偶丝的直径,选取性质更稳定的E型热电偶丝(?0.025 mm),通过电解腐蚀将2种金属偶丝直径进一步减小至?0.01 mm左右,在数字... 减小热电偶的感温结点直径是提高热电偶动态响应特性的重要方法,但实际制作中很难找到更细的偶丝。为了进一步减小偶丝的直径,选取性质更稳定的E型热电偶丝(?0.025 mm),通过电解腐蚀将2种金属偶丝直径进一步减小至?0.01 mm左右,在数字显微镜下焊接制得感温结点大小在0.02 mm左右的微热电偶。用温度阶跃法分别对微热电偶和25μm原偶丝制作的热电偶时间常数进行测量,对结果进行可靠性分析,25μm原偶丝热电偶时间常数为(30.06±1.16)ms,而微热电偶时间常数为(11.62±1.02)ms,故该方法制作的微热电偶动态响应特性显著提高。实验还表明,热电偶感温结点进一步减小后,微热电偶正阶跃时间常数小于负阶跃时间常数,同时,偶丝电解后材料组分不均匀会导致微热电偶热电势发生改变。 展开更多
关键词 温度测量 微型热电偶 电解腐蚀法 感温结点直径 阶跃时间常数 动态响应特性
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基于单片机的智能晾衣杆设计
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作者 王佳 白鑫 《机械管理开发》 2025年第11期209-213,共5页
以STC89C52单片机为控制核心,利用ADC0832模数转换芯片和ULN2003芯片等,旨在设计一款能够在恶劣的晾晒条件下自动收回的智能晾衣杆。通过不同传感器感知当前环境的温湿度、风速、光照和雨水的变化,将这些信息以数字信号的形式传递给单片... 以STC89C52单片机为控制核心,利用ADC0832模数转换芯片和ULN2003芯片等,旨在设计一款能够在恶劣的晾晒条件下自动收回的智能晾衣杆。通过不同传感器感知当前环境的温湿度、风速、光照和雨水的变化,将这些信息以数字信号的形式传递给单片机,由单片机判断步进电机是否动作,以此模拟晾衣杆回收的全过程。还可以通过识别不同的键值来调整LCD1602显示屏的显示内容,通过按键设置影响晾晒的各变量的阈值。除此之外,还可以设置定时时间,在定时时间结束后实现自动回收。该设计不仅能满足上述功能外还兼具一定的经济性和可靠性,具有一定的应用价值。 展开更多
关键词 单片机 智能晾衣杆 传感器 步进电机
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台阶开孔式组合型缓冲结构的气动效应分析
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作者 杨彬彬 闫亚光 《粉煤灰综合利用》 2025年第4期123-129,共7页
随着高速列车速度的不断提升,车-隧气动效应不断加剧,微气压波问题也变得愈发严重,单一类型的缓冲结构已无法满足设计要求,因此提出一种组合型缓冲结构——台阶开孔式组合型缓冲结构,基于三维、可压缩、非定常N-S方程,运用数值模拟的方... 随着高速列车速度的不断提升,车-隧气动效应不断加剧,微气压波问题也变得愈发严重,单一类型的缓冲结构已无法满足设计要求,因此提出一种组合型缓冲结构——台阶开孔式组合型缓冲结构,基于三维、可压缩、非定常N-S方程,运用数值模拟的方法,从开孔距离、开孔率、开孔数量、列车速度四个方面进行研究,对不同工况下的初始压缩波的波前特性进行分析。结果表明:台阶开孔式组合型缓冲结构,当开孔距离为14 m、开孔率为24%、开孔数量为单孔、列车速度为300 km/h时对压力梯度的缓解效果最好,达到57.2%。 展开更多
关键词 高速铁路 台阶开孔式缓冲结构 压力梯度 数值模拟 微气压波
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高分辨力红外热图像重建算法的进展及研究 被引量:11
10
作者 张楠 金伟其 +1 位作者 苏秉华 刘扬阳 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期173-176,共4页
由于探测器阵列有限以及像元尺寸对成像的影响 ,红外热成像系统的图像分辨力较低 ,往往难以满足实际应用的更高要求。本文介绍了国际上较为流行的两种提高红外热图像分辨力的方法 :微扫描法和不受控的微扫描法 ,并提出用微扫描与基于Mar... 由于探测器阵列有限以及像元尺寸对成像的影响 ,红外热成像系统的图像分辨力较低 ,往往难以满足实际应用的更高要求。本文介绍了国际上较为流行的两种提高红外热图像分辨力的方法 :微扫描法和不受控的微扫描法 ,并提出用微扫描与基于Markov约束的Poisson MAP超分辨力图像复原算法 (MPMAP)结合重建高分辨力红外热图像的方法 。 展开更多
关键词 红外热图像 高分辨力 超分辨力 红外热成像系统 像元 Markov约束 探测器阵列 微扫描 算法 图像复原
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基于步进电机细分驱动技术的旋转LED显示屏设计 被引量:12
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作者 邓宏贵 李志坚 +1 位作者 吴让亮 施佳佳 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期595-598,共4页
提出了将步进电机细分技术应用于控制旋转LED显示屏的转动,使得所显示图案不会因旋转速度不稳定而产生变形,有效消除了旋转LED显示屏画面抖动的问题。经实际测试,取得了良好的效果。
关键词 步进电机 LED显示屏 细分驱动技术 智能控制
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侧钻小井眼微台阶扩孔技术 被引量:9
12
作者 刘乃震 王廷瑞 +2 位作者 王辅升 丁文正 高玮 《特种油气藏》 CAS CSCD 2005年第4期60-64,i0011,共6页
从20世纪90年代初期开始,辽河油田应用侧钻井技术来延长油、气井的寿命,实现了有效、经济地提高老油田储量动用程度的目标,在提高采收率方面取得了丰硕的成果。随着时间的推移,侧钻井自身存在的问题逐渐暴露出来,最明显的特征是其寿命... 从20世纪90年代初期开始,辽河油田应用侧钻井技术来延长油、气井的寿命,实现了有效、经济地提高老油田储量动用程度的目标,在提高采收率方面取得了丰硕的成果。随着时间的推移,侧钻井自身存在的问题逐渐暴露出来,最明显的特征是其寿命远低于普通生产井,平均仅为2 a左右。为解决该问题,提出使用微台阶扩孔技术将侧钻小井眼窄间隙固井转化为宽间隙常规固井,同时加大水泥环厚度,提高固井质量,延长侧钻井寿命。 展开更多
关键词 侧钻井 微台阶扩孔 环空间隙 固井
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基于FPGA的步进电机细分驱动器的设计 被引量:12
13
作者 吴云 陆锷 +2 位作者 赵海洋 崔翠红 陈斌 《自动化仪表》 CAS 北大核心 2009年第10期61-63,共3页
在研究步进电机细分驱动原理的基础上,提出了一种采用FPGA芯片实现步进电机恒转矩细分驱动的方法。利用FPGA芯片中的嵌入式阵列块(EAB)构成LPM_ROM来存储步进电机各相细分电流的数据,并把斩波控制电路集成到FPGA内部,从而提高了系统的... 在研究步进电机细分驱动原理的基础上,提出了一种采用FPGA芯片实现步进电机恒转矩细分驱动的方法。利用FPGA芯片中的嵌入式阵列块(EAB)构成LPM_ROM来存储步进电机各相细分电流的数据,并把斩波控制电路集成到FPGA内部,从而提高了系统的集成度和稳定性。微控制器只需提供细分数等参数,就能精确控制步进电机的运行,所以该设计特别适用于某些实时控制场合。 展开更多
关键词 步进电机 细分驱动 斩波 FPGA 实时控制
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紧急控制下最优切机切负荷方案的快速算法 被引量:29
14
作者 王彪 方万良 罗煦之 《电网技术》 EI CSCD 北大核心 2011年第6期82-87,共6页
提出了一种紧急控制下基于快速时域仿真的最优切机切负荷算法,包括快速时域仿真和最优切机切负荷2部分,以形成紧急控制策略表。最优切机切负荷问题实质上属于最优控制问题,又因切机和切负荷控制变量是常量,从而可方便地利用控制参数进... 提出了一种紧急控制下基于快速时域仿真的最优切机切负荷算法,包括快速时域仿真和最优切机切负荷2部分,以形成紧急控制策略表。最优切机切负荷问题实质上属于最优控制问题,又因切机和切负荷控制变量是常量,从而可方便地利用控制参数进行求解。充分考虑梯度的物理意义和切机切负荷的离散特性,提出了"微步离散法",并从稳定判据、积分步长和微步系数对该算法做进一步的改进。通过新英格兰39节点算例验证了所提方法具有快速、准确、实用和无收敛性问题等特点。 展开更多
关键词 切机切负荷 控制参数化 微步离散法
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直线超声电机驱动信号分析及其微步距输出特性研究 被引量:6
15
作者 张军 时运来 +1 位作者 冯森 赵淳生 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第10期2994-3000,共7页
为了充分利用直线超声电机响应快、分辨率高的特点,并实现电机的微步距控制,研究了激励信号对电机微步距输出特性的影响。首先,通过分析电机的瞬态特性,研究了电机单步距作动过程;其次,为了实现电机激励信号的精确控制,分析了双PWM拓扑... 为了充分利用直线超声电机响应快、分辨率高的特点,并实现电机的微步距控制,研究了激励信号对电机微步距输出特性的影响。首先,通过分析电机的瞬态特性,研究了电机单步距作动过程;其次,为了实现电机激励信号的精确控制,分析了双PWM拓扑结构超声电机驱动器的工作原理,并通过实验对驱动器关断控制进行了研究;最后,分别研究了激励信号周期数、激励电压峰峰值和激励时间间隔对电机微步距特性的影响。实验结果表明,当驱动器采用具有泄放回路的零相位关断时,能够实现激励信号的精确控制。当以激励电压作为参变量,激励时间间隔大于10ms时,电机微步距特性曲线具有较强的线性特性,有利于电机微步距控制;激励时间间隔小于3ms时,能够有效降低电机平均速度,实现低速控制。 展开更多
关键词 直线超声电机 微步距 驱动器 激励信号 关断特性
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细分驱动在步进电机控制中的应用 被引量:9
16
作者 曾高荣 高杨 +1 位作者 胡莉 龚箭 《兵工自动化》 2004年第2期52-53,共2页
电磁电机斩波恒流细分驱动控制由AT89C51单片机、晶振电路、地址锁存器、译码器、EEPROM存储器及可编程键盘/显示控制器Intel-8279等组成。单片机输出细分电流控制信号,经D/A转换成模拟电压信号,与取样信号比较,形成斩波控制信号,控制... 电磁电机斩波恒流细分驱动控制由AT89C51单片机、晶振电路、地址锁存器、译码器、EEPROM存储器及可编程键盘/显示控制器Intel-8279等组成。单片机输出细分电流控制信号,经D/A转换成模拟电压信号,与取样信号比较,形成斩波控制信号,控制前级驱动电路的导通和关断,实现绕组中电流的闭环控制,达成步距的精确细分。 展开更多
关键词 步进电机 细分驱动 斩波恒流 控制系统 AT89C51单片机
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利用阶梯镜进行半导体激光器光束整形及光纤耦合 被引量:5
17
作者 牛岗 樊仲维 +3 位作者 王培峰 崔建丰 石朝辉 张晶 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期510-512,共3页
文中首先从半导体激光器阵列的发光特性出发,采用阶梯镜对大功率半导体激光器阵列光束进行整形,最后得到一个纤芯为400μm,数值孔径为0.22的单光纤耦合模块,输出功率为33.7W,耦合效率为84.2%。
关键词 阶梯镜 半导体激光器阵列 光束整形 光参数积
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自动静脉穿刺装置及控制系统研究 被引量:8
18
作者 霍亮生 黎进远 +1 位作者 王燕青 李岳峰 《中国医疗器械杂志》 2017年第3期200-203,共4页
基于临床PICC(Peripherally Inserted Central Catheter)置管手术过程,提出了一套静脉穿刺装置及控制系统设计方案,该装置采用B超图像引导,通过微控制器,达到自动静脉穿刺置管目的。自动静脉穿刺装置采用双步进电机丝杠螺母传动装置,控... 基于临床PICC(Peripherally Inserted Central Catheter)置管手术过程,提出了一套静脉穿刺装置及控制系统设计方案,该装置采用B超图像引导,通过微控制器,达到自动静脉穿刺置管目的。自动静脉穿刺装置采用双步进电机丝杠螺母传动装置,控针电机推动穿刺针和软管穿刺皮肤进入血管,置管电机推动软管到位并触发退针按钮,使针体退回针筒内。采用速度和加速度分段控制策略,在整个穿刺过程中设置多个关键控制点,再分别对各行程段进行控制,各段行程和速度根据不同静脉血管的深度和内径情况进行自动预选,从而达到快速精确控制进针和置管的目的。 展开更多
关键词 静脉穿刺 PICC B超引导 微型步进电机
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基于DSP的开关磁阻电动机微步控制策略研究 被引量:5
19
作者 宋桂英 李练兵 +1 位作者 孙鹤旭 黄雷 《河北工业大学学报》 CAS 2003年第6期39-43,共5页
提出了一种基于瞬时电流控制的抑制开关磁阻电机转矩脉动的微步控制策略.首先,由电机的矩角特性和转矩星型图,控制不同位置时各相电流幅值的大小,合成出多个派生转矩矢量,近而使电机步进角减小即每转步数增加,从而使转矩能够平滑过渡,... 提出了一种基于瞬时电流控制的抑制开关磁阻电机转矩脉动的微步控制策略.首先,由电机的矩角特性和转矩星型图,控制不同位置时各相电流幅值的大小,合成出多个派生转矩矢量,近而使电机步进角减小即每转步数增加,从而使转矩能够平滑过渡,达到减小电机转矩脉动的目的;其次,采用高性能的TMS320F2407DSP控制器实现了该控制方法.仿真结果表明该控制策略不仅简单,而且有效地减小了转矩脉动. 展开更多
关键词 SRM 开关磁阻电动机 微步控制 转矩脉动 DSP控制器 矩角特性
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两相步进电动机细分方法研究 被引量:11
20
作者 杨韬仪 王辉 徐锋 《微电机》 北大核心 2007年第9期69-71,共3页
为了提高分辨率,由建立的步进电机细分系统和细分原理,通过建立数学模型并在mat-lab中进行仿真,合理选择了量化后的正余弦电流作为两相步进电机的细分电流,得到了电流和电机转子位置的对应关系,提高了工作精度和稳定性。
关键词 细分驱动 MSP430F149 驱动电路 步距角 转子位置 步进电动机
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