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Photonic microwave true time delays for phased array antennas using a 49 GHz FSR integrated optical micro-comb source[Invited] 被引量:7
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作者 XINGYUAN Xu JIAYANG Wu +6 位作者 THACH G.NGUYEN TANIA MOEIN SAI T.CHU BRENT E.LITTLE ROBERTO MORANDOTTI ARNAN MITCHELL DAVID J.Moss 《Photonics Research》 SCIE EI 2018年第5期I0055-I0061,共7页
We demonstrate significantly improved performance of a microwave true time delay line based on an integrated optical frequency comb source. The broadband micro-comb(over 100 nm wide) features a record low free spectra... We demonstrate significantly improved performance of a microwave true time delay line based on an integrated optical frequency comb source. The broadband micro-comb(over 100 nm wide) features a record low free spectral range(FSR) of 49 GHz, resulting in an unprecedented record high channel number(81 over the C band)—the highest number of channels for an integrated comb source used for microwave signal processing. We theoretically analyze the performance of a phased array antenna and show that this large channel count results in a high angular resolution and wide beam-steering tunable range. This demonstrates the feasibility of our approach as a competitive solution toward implementing integrated photonic true time delays in radar and communications systems. 展开更多
关键词 Photonic microwave true time delays for phased array antennas a 49 GHz FSR integrated optical micro-comb source
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Type-Ⅱmicro-comb generation in a filter-driven four wave mixing laser[Invited] 被引量:1
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作者 HUALONG BAO ANDREW COOPER +5 位作者 SAI T.CHU DAVE J.Moss ROBERTO MORANDOTTI BRENT E.LITTLE MARCO PECClANTI ALESSIA PASQUAZI 《Photonics Research》 SCIE EI 2018年第5期I0092-I0098,共7页
We experimentally demonstrate the generation of highly coherent Type-II micro-combs based on a microresonator nested in a fiber cavity loop, known as the filter-driven four wave mixing (FD-FWM) laser scheme. In this... We experimentally demonstrate the generation of highly coherent Type-II micro-combs based on a microresonator nested in a fiber cavity loop, known as the filter-driven four wave mixing (FD-FWM) laser scheme. In this system, the frequency spacing of the comb can be adjusted to integer multiples of the free-spectral range (FSR) of the nested mlcro-resonator by properly tuning the fiber cavity length. Sub-comb lines with single FSR spacing around the primary comb lines can be generated. Such a spectral emission is known as a "Type-II comb". Our system achieves a fully coherent output. This behavior is verified by numerical simulations. This study represents an important step forward in controlling and manipulating the dynamics of an FD-FWM laser. 展开更多
关键词 Type-II micro-comb generation a filter-driven four wave mixing laser
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基于梳状压电换能器的冲击损伤混频Lamb波检测分析
3
作者 朱颖 彭先科 +4 位作者 施宏杰 喻星星 张毅萍 王杰 梅爽 《无损检测》 2025年第11期58-68,共11页
以梳状压电换能器为接收端,研究其在非线性Lamb波混频技术中对混频信号的接收效应。运用有限元仿真,分析换能器指条间距、指条宽距比、指条数目对接收性能的影响,仿真结果表明,指条间距匹配接收模式Lamb波波长、宽距比为0.5时接收效果较... 以梳状压电换能器为接收端,研究其在非线性Lamb波混频技术中对混频信号的接收效应。运用有限元仿真,分析换能器指条间距、指条宽距比、指条数目对接收性能的影响,仿真结果表明,指条间距匹配接收模式Lamb波波长、宽距比为0.5时接收效果较好,指条数目对接收性能的影响呈波动形式。依此设计制作了换能器并进行了试验验证,试验结果表明,制作的换能器能接收两侧相向传播的基频波,还能捕捉冲击损伤铝板试件的差频信号,可用于材料损伤检测评价。 展开更多
关键词 梳状压电换能器 LAMB波 非线性混频超声 微损伤评价
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微纳光纤耦合环镜及其光谱调控特性研究
4
作者 郭传臣 杨敏 +4 位作者 崔倩倩 林政 魏石磊 李丽君 孙佳佳 《光通信研究》 北大核心 2025年第1期45-51,共7页
【目的】在微纳光纤耦合器的基础上,文章提出了一种微纳光纤耦合环镜结构,对其光谱与环镜内光偏振态、锥区微纳光纤长度以及周围介质折射率之间的关系开展了理论仿真与实验研究。【方法】理论上,分析了微纳光纤耦合器的基本原理,仿真了... 【目的】在微纳光纤耦合器的基础上,文章提出了一种微纳光纤耦合环镜结构,对其光谱与环镜内光偏振态、锥区微纳光纤长度以及周围介质折射率之间的关系开展了理论仿真与实验研究。【方法】理论上,分析了微纳光纤耦合器的基本原理,仿真了弱耦合和强耦合情况下的微纳光纤耦合器光场分布特性以及微纳光纤环镜的光谱偏振可调控特性。实验验证了光谱偏振可调控特性、自由光谱范围调控特性以及波长调控特性。【结果】结果显示,当圆环形偏振控制器的1/2波片角度在-90~90°调谐过程中,干涉光谱的周期和峰值波长保持不变,消光比随波片角度的改变呈现规律性变化且在波片偏转45°时达到最小,90°时达到最大;随着腰锥长度的增加,微纳光纤耦合器环镜梳状谱的通道间隔和自由光谱范围逐渐减小;周围折射率在1.3320~1.3355范围内变化,波长随折射率的增大而发生红移,灵敏度可达18350 nm/RIU。【结论】可见,通过对微纳光纤耦合器内部耦合的光偏振态、微纳锥区长度和耦合器结构周围介质折射率等的调控,可以实现相应输出光谱的改变,这为构建新型全光纤器件提供了一种新的途径,其不仅可以作为激光器中的波长选择和调控元件应用于激光器,优化激光输出特性,还可应用于生物医学等传感领域来实现液体成分的高精度检测等。 展开更多
关键词 微纳光纤耦合器 光纤环镜 光谱 强耦合 梳状谱滤波器
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微梳齿结构动态特性参量的光学测量与分析(英文) 被引量:1
5
作者 刘海鹏 高世桥 +2 位作者 周勇 金磊 何运丽 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第1期22-26,共5页
光学测试方法属于非接触测量,目前已经成为MEMS动态测试领域的研究热点.为了实时检测梳齿式微结构驱动模态的谐振特性,由高速摄像机和显微镜组成的计算机微视觉光学测试系统和相关的视频分析软件被用于测量微梳齿结构的动态特性.利用这... 光学测试方法属于非接触测量,目前已经成为MEMS动态测试领域的研究热点.为了实时检测梳齿式微结构驱动模态的谐振特性,由高速摄像机和显微镜组成的计算机微视觉光学测试系统和相关的视频分析软件被用于测量微梳齿结构的动态特性.利用这套微视觉光学测试系统,可以获得微梳齿结构驱动模态的位移响应曲线和幅频特性曲线,并可以进一步得到驱动模态的固有频率、品质因子、阻尼系数等参数.测得的结果与计算结果相比,一致性较好. 展开更多
关键词 光学测量 动态特性 微梳齿 高速摄像机 显微镜
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静电梳齿执行器分辨率和稳定性分析 被引量:3
6
作者 刘恒 苏伟 +1 位作者 何晓平 张富堂 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期34-37,共4页
通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微... 通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微制造困难,本文提出在不显著影响横向位移的条件下通过改变梳齿结构高度来改善分辨率的方法,事例仿真结果验证了梳齿变高度方法对改善分辨率的有效性,同时得到在梳齿变高度条件下静电梳齿执行器的稳定性有细微的下降的结论。 展开更多
关键词 静电梳齿微执行器 分辨率 变高度 非线性
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梳解前后小径杉木细胞的微观形态及力学性能 被引量:6
7
作者 李延军 张宏 +1 位作者 张璧光 徐美荣 《浙江林学院学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期125-129,共5页
研究了饱和水状态下小径杉木Cunninghamialanceolata在不同条件静压或梳解前后木材横截面上细胞的微观形态与木束条顺纹抗拉强度,并进行了对比试验,得出小径杉木较佳的静压梳解力学性能参数。结果表明:经静压实验得出不同径级的杉木在... 研究了饱和水状态下小径杉木Cunninghamialanceolata在不同条件静压或梳解前后木材横截面上细胞的微观形态与木束条顺纹抗拉强度,并进行了对比试验,得出小径杉木较佳的静压梳解力学性能参数。结果表明:经静压实验得出不同径级的杉木在饱水状态下较佳的压缩率在50%左右;不同定压力或定压缩率2种静压试验后所得的木材细胞微观形态基本相同,横截面的开裂和破坏情况也基本相同。采用不同径向压力静压后的杉木管胞破坏程度不同,当压缩率大于30%,杉木部分管胞开始皱折,并随着压力的增大而增加;当压缩率超过50%后,随着压力增大,大部分管胞发生皱折,甚至压溃,但超过了该值管胞破坏程度减慢,并且在横切面上仍然能够看到管孔存在。在同一压缩率下,径级小的杉木所需的单位压力较大。拉伸试验可知经静压梳解后的木束条顺纹抗拉强度随静压压力加大而降低。 展开更多
关键词 木材学 小径杉木 梳解 微观形态 力学性能 积成材
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倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究 被引量:12
8
作者 董林玺 颜海霞 +1 位作者 钱忺 孙玲玲 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1035-1040,共6页
DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时,研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应,并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明,当传感器... DRIE(Deep Reactive Ion Etching)工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行.本文在考虑低真空空气阻尼力的同时,研究了梳齿电容倾斜的MEMS传感器对脉冲惯性信号的响应,并分析了DRIE工艺因素对器件性能的影响.研究结果表明,当传感器为没有静电力反馈的双边电容结构时,梳齿电容的不平行对传感器的响应位移、惯性脉冲响应线性度范围影响明显,且随着封装真空度增加而加重.若传感器有静电力反馈,惯性脉冲响应的灵敏度降低,但DRIE工艺因素的影响程度降低.为了抑制DRIE工艺导致的梳齿电容不平行因素的影响,文中还设计了一个新型的变电容面积的MEMS惯性传感器,并用ANSYS初步分析了其性能,设计了其详细的制作工艺流程. 展开更多
关键词 高精度微传感器 倾斜梳齿 惯性脉冲响应 MEMS
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梳形聚合物溶液的流变性及驱油效果分析 被引量:12
9
作者 姜海峰 王德民 夏惠芬 《大庆石油学院学报》 CAS 北大核心 2008年第4期61-65,136,共5页
对于一定的油藏体系,聚合物驱在宏观压力梯度及界面张力不变的情况下,溶液的弹性越大,驱油效率越高,弹性是聚合物驱提高驱油效率的主要原因.测试相同相对分子质量梳形聚合物与普通聚合物溶液的流变性及黏弹性变化规律,提出利用第一法向... 对于一定的油藏体系,聚合物驱在宏观压力梯度及界面张力不变的情况下,溶液的弹性越大,驱油效率越高,弹性是聚合物驱提高驱油效率的主要原因.测试相同相对分子质量梳形聚合物与普通聚合物溶液的流变性及黏弹性变化规律,提出利用第一法向应力差与剪切速率曲线的斜率定量表征溶液弹性的方法;在人造均质岩心上进行驱替实验,研究梳形聚合物溶液的黏弹性对驱油效率的影响.结果表明,梳形聚合物溶液具有更好的增黏效果;溶液黏弹性及毛管数对驱油效率的影响规律与常规聚合物驱相同,黏弹性及毛管数对驱油效率的作用效果相当;对于不同种类的聚合物驱,驱油效率的提高为体系毛管数及聚合物溶液弹性共同作用的结果. 展开更多
关键词 梳形聚合物 黏弹性 微观力 驱油效率
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基于Modelica/Dymola的微谐振器建模与仿真 被引量:2
10
作者 胡伟 魏昕 谢小柱 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2010年第10期79-82,共4页
针对MEMS的多领域耦合和系统级的快速建模与仿真要求,提出研究关于微型梳状静电谐振器建模与仿真方法。为提高系统的稳定性,减少误差,采用了基于Modelica/Dymola的非因果关系建模方法及流程,以梳状谐振器机电耦合模型的自然形式方程为基... 针对MEMS的多领域耦合和系统级的快速建模与仿真要求,提出研究关于微型梳状静电谐振器建模与仿真方法。为提高系统的稳定性,减少误差,采用了基于Modelica/Dymola的非因果关系建模方法及流程,以梳状谐振器机电耦合模型的自然形式方程为基础,以Modelica语言建立非因果关系的仿真模型,借助于Dymola平台对振子的位移/速度曲线进行仿真。仿真结果与理论验证相符,表明Modelica具有建模过程简单、建模速度快和仿真精度高等优点,适合于MEMS多领域建模与仿真研究。 展开更多
关键词 微型梳状静电谐振器 非因果关系模型 建模 仿真
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解耦型静电力闭环微陀螺 被引量:2
11
作者 刘宗林 李圣怡 吴学忠 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期401-405,共5页
微陀螺采用双框架双支撑解耦结构实现XY方向运动相对独立,驱动模态采用叉指电容结构实现大范围静电驱动,敏感模态方向采用差分电容作为检测接口实现高精度位置测量。X方向设计了独立的位移检测单元,而Y方向配置了静电力反馈单元,实现系... 微陀螺采用双框架双支撑解耦结构实现XY方向运动相对独立,驱动模态采用叉指电容结构实现大范围静电驱动,敏感模态方向采用差分电容作为检测接口实现高精度位置测量。X方向设计了独立的位移检测单元,而Y方向配置了静电力反馈单元,实现系统的闭环静电力反馈控制,提高传感器的性能。为分析提高系统输出精度的条件,推导出影响系统检测灵敏度的因素,改进了驱动模态闭环方案,提出了敏感模态无相差静电力反馈方法。 展开更多
关键词 微机电系统 叉指驱动 微陀螺
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基于MEMS的微位移传感器及其应用研究 被引量:9
12
作者 孙凤鸣 傅星 +2 位作者 朱振宇 高赛 张超 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期293-296,共4页
对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的... 对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系统,对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描。 展开更多
关键词 MEMS位移传感器 静电梳齿结构 微扫描探针测头 SPM应用
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静电梳齿微谐振器结构参数化设计 被引量:1
13
作者 刘恒 张富堂 +1 位作者 何晓平 苏伟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第7期82-85,共4页
从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题,提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型,为验证外围电路提供了基础。仿... 从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题,提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型,为验证外围电路提供了基础。仿真结果与理论模态分析相一致,验证了模型的有效性。通过谐振频率对结构参数的敏感性分析为优化谐振器性能提供基础,使工作模态远离其他高阶模态;合理安排激励电极,抑制一阶模态扰动。敏感性仿真表明:在横向振动微谐振器中,工作模态谐振频率随梁长的增加而减小;随梁宽的增加而增大;结构层厚度对横向振动频率没有影响;梳齿部分所有参数的变化造成频率的反向变化。 展开更多
关键词 静电梳齿微谐振器 参数模型 谐振频率 灵敏度分析
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谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作 被引量:1
14
作者 何高法 唐一科 +2 位作者 周传德 何晓平 吴英 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期997-1001,共5页
基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质... 基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点,设计了一种新型微加速度计谐振器,用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值。综合粘性阻尼、运动阻尼和气膜阻尼,分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因子。应用MEMS(microelectromechanical system)工艺,完成了微加速度计谐振器的制作。测试结果表明:谐振器性能良好,谐振频率为54523.5 Hz,与设计的理论值误差约为13.6%。 展开更多
关键词 微机电系统 加速度计 谐振器 静电梳齿
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微电子机械系统键合强度检测方法研究进展 被引量:2
15
作者 李仁锋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期678-683,共6页
把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述。传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检测方法检测范围有限,而且检测仪... 把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述。传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检测方法检测范围有限,而且检测仪器较为复杂。微结构检测方法最适合于检测微小面积键合强度,该方法又分为微结构微力测试法和微结构在线检测方法两类,微结构微力测试法需要高精度的微力测试仪,而且也不能实现在线检测;微结构在线检测方法只需要一台带有显微镜的探针台,这些都是大部分微机电系统工艺线所具备的,它是一种在线检测方法,直接在晶圆片上进行检测,不需要进行划片,是目前微电子机械系统键合强度检测中最优检测方法。 展开更多
关键词 微电子机械系统 键合强度 微结构 在线检测 微力 叉指式器件
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基于波导的功率分配合成网络研究 被引量:2
16
作者 孟旭东 徐松毅 王昕羽 《无线电工程》 2014年第2期13-16,29,共5页
目前单个微波固态器件输出功率无法满足散射卫星通信系统大功率的输出需求,需要通过分配合成网络并采用功率合成技术来实现。介绍了一种基于波导的功率分配合成网络,给出了波导分、合路与波导一微带探针过渡相结合的波导内空间4路功... 目前单个微波固态器件输出功率无法满足散射卫星通信系统大功率的输出需求,需要通过分配合成网络并采用功率合成技术来实现。介绍了一种基于波导的功率分配合成网络,给出了波导分、合路与波导一微带探针过渡相结合的波导内空间4路功率分配合成方案,并对该方案进行了HFSS建模和仿真,经整体模拟验证,在13.75~15.35GHz频段,回波损耗≤-20dB,传输损耗不大于0.5dB。 展开更多
关键词 宽带 功率合成 波导 微带探针 合成器
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DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响 被引量:4
17
作者 王强 高杨 +1 位作者 贾小慧 柏鹭 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第12期776-780,共5页
针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了使设计的梳齿谐振器频率符合应用要求,推导出了梳齿谐振器在正负侧壁倾斜角θ下的谐振频率计算公式。利用ANSYS Wor... 针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了使设计的梳齿谐振器频率符合应用要求,推导出了梳齿谐振器在正负侧壁倾斜角θ下的谐振频率计算公式。利用ANSYS Workbench11.0平台,分别对侧壁倾斜角为0°,0.2°,0.35°和0.5°的情形进行了有限元建模与模态仿真。仿真结果表明:随着正倾斜角的增大,谐振频率减小;负倾斜角增大时,谐振频率增大,且一阶模态振形的平稳程度越差。比较数值仿真结果与考虑了正负倾斜角误差的梳齿谐振器谐振频率计算公式计算结果对比,吻合较好。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 梳齿谐振器 深反应离子刻蚀 高深宽比 倾斜角 谐振频率
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MEMS电容式加速度计的动态特性分析 被引量:5
18
作者 徐淑静 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第5期321-325,332,共6页
针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分检测电容用于检测质量块的位移。通过理论推导得到了结构的质量、刚度和阻尼的计算公式。组成梳齿结构的... 针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分检测电容用于检测质量块的位移。通过理论推导得到了结构的质量、刚度和阻尼的计算公式。组成梳齿结构的两平行极板间的气体在极板运动时产生两种作用力:阻尼力和弹性力,运动频率较低时阻尼力为主要表现形式,高频时弹性力则占主要因素。针对一组特定的结构参数,对气体压强分别为100Pa和0.1MPa时微机械加速度计的频率响应特性进行了分析,当气体压强太小时,会造成系统带宽的降低,而当气体压强较高时,系统的动态特性表现良好,并在电容极板间隙约为3μm时,系统的动态特性达到最优。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 加速度计 梳齿结构 动态特性 压膜阻尼
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一种电容式微加速度计的系统设计与温度影响分析 被引量:6
19
作者 刘凤丽 《沈阳理工大学学报》 CAS 2009年第3期79-82,共4页
在系统级分析方法的基础上,设计一种梳齿式加速度计的系统模型,相对常用的实体建模方法,该模型能够快速精确地实现模型的频谱分析及参数的优化.由于硅是一种热敏材料,温度的变化会引起结构变形,形成较大的输出误差,故对温度变化引起几... 在系统级分析方法的基础上,设计一种梳齿式加速度计的系统模型,相对常用的实体建模方法,该模型能够快速精确地实现模型的频谱分析及参数的优化.由于硅是一种热敏材料,温度的变化会引起结构变形,形成较大的输出误差,故对温度变化引起几何结构的变化进行参数仿真研究,得到加速度计温度误差最小时的工作环境温度范围. 展开更多
关键词 MEMS 梳齿加速度计 温度 仿真
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静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性 被引量:3
20
作者 丁晓红 陈晓阳 沈雪瑾 《机械设计与制造工程》 2000年第4期10-11,14,共3页
运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构———蟹脚型结构的振动特性 ,推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式 ,分析了各几何参量对结构谐振频率的影响 ,并和静电梳微谐振子的另一种常见结构———直脚型结构的振动特性进行了比较。
关键词 蟹脚型结构 静电梳微谐振子 谐振频率 微机械
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