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基于WAT Analyzer软件的阈值电压计算及magic number测定
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作者 吴振华 刘鉴常 +1 位作者 付宇卓 俞晓华 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2009年第9期33-35,87,共4页
阈值电压是半导体晶圆测试的一个重要指标,它和半导器件参数等许多方面有紧密的联系,magic number(N)是一个基于线度计算阈值电压经验公式的关键值。基于自主研发的WAT Analyzer软件对相关实测数据处理,对比根据实测数据用跨导法计算阈... 阈值电压是半导体晶圆测试的一个重要指标,它和半导器件参数等许多方面有紧密的联系,magic number(N)是一个基于线度计算阈值电压经验公式的关键值。基于自主研发的WAT Analyzer软件对相关实测数据处理,对比根据实测数据用跨导法计算阈值电压的结果,经统计分析提出了一个N的新值。通过实测数据进行检验,验证了N值的有效性。 展开更多
关键词 晶圆 WAT 阈值电压 magicnumber
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