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低粘度阻尼液面基准标定干涉仪系统误差(特邀)
1
作者
李素田
郑东晖
+4 位作者
杨亦涵
刘宇晴
李晶晶
袁群
陈磊
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第9期92-101,共10页
干涉测量是一种检测光学元件面形的重要手段,为提高检测精度,干涉仪系统误差的精确标定至关重要。液面作为一种高精度自然基准,在立式干涉仪系统误差标定方面具有独特的优势。目前,通常采用高粘度液体构建平面基准,与干涉仪中标准平晶...
干涉测量是一种检测光学元件面形的重要手段,为提高检测精度,干涉仪系统误差的精确标定至关重要。液面作为一种高精度自然基准,在立式干涉仪系统误差标定方面具有独特的优势。目前,通常采用高粘度液体构建平面基准,与干涉仪中标准平晶进行干涉测试,将其结果作为系统误差。然而,高粘度液面的稳定时间和受干扰后的恢复时间均较长,需要对环境振动、温度、气流等进行严格控制。针对上述问题,文中构建了一低粘度阻尼液面系统作为基准,在保证测试精度的前提下降低对环境的要求,提高液面基准的环境适应性。通过有限元仿真对液盘底部阻尼板的参数进行了优化,并根据参数优化结果制作了阻尼板。实验验证了低粘度阻尼液面系统的有效性、精确性和可靠性,分析了液面厚度对系统的影响,结果表明,低粘度阻尼液面系统可对干涉仪的系统误差进行精确标定。
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关键词
干涉仪测量
液面基准
阻尼板
有限元仿真
系统误差
原文传递
2500 Pa基准微压计性能优化与研究
2
作者
马可
杨远超
王鹏
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020年第S01期110-115,共6页
通过对2500 Pa微压基准改造后的性能进行分析与研究,总结工作介质温度与容器液位高度的关系,提炼关系式并求得压力0点液位高度/温度系数:a=0.030 mm/℃;b=0.017 mm/℃;利用修正公式优化水密度取值方法,将水密度的量值准确度平均提升0.00...
通过对2500 Pa微压基准改造后的性能进行分析与研究,总结工作介质温度与容器液位高度的关系,提炼关系式并求得压力0点液位高度/温度系数:a=0.030 mm/℃;b=0.017 mm/℃;利用修正公式优化水密度取值方法,将水密度的量值准确度平均提升0.0006%,并纠正相关规程密度表错误;比对实验结果E n<1,取得满意结果。通过优化,使微压基准的性能得到提升,可满足时代发展的压力量值溯源与传递需求。
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关键词
计量学
基准
密度
液位高度
不确定度
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职称材料
题名
低粘度阻尼液面基准标定干涉仪系统误差(特邀)
1
作者
李素田
郑东晖
杨亦涵
刘宇晴
李晶晶
袁群
陈磊
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第9期92-101,共10页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金(30923010934)
国家自然科学基金项目(62005122)
江苏省自然科学基金项目(BK20200458)。
文摘
干涉测量是一种检测光学元件面形的重要手段,为提高检测精度,干涉仪系统误差的精确标定至关重要。液面作为一种高精度自然基准,在立式干涉仪系统误差标定方面具有独特的优势。目前,通常采用高粘度液体构建平面基准,与干涉仪中标准平晶进行干涉测试,将其结果作为系统误差。然而,高粘度液面的稳定时间和受干扰后的恢复时间均较长,需要对环境振动、温度、气流等进行严格控制。针对上述问题,文中构建了一低粘度阻尼液面系统作为基准,在保证测试精度的前提下降低对环境的要求,提高液面基准的环境适应性。通过有限元仿真对液盘底部阻尼板的参数进行了优化,并根据参数优化结果制作了阻尼板。实验验证了低粘度阻尼液面系统的有效性、精确性和可靠性,分析了液面厚度对系统的影响,结果表明,低粘度阻尼液面系统可对干涉仪的系统误差进行精确标定。
关键词
干涉仪测量
液面基准
阻尼板
有限元仿真
系统误差
Keywords
interferometer measurement
liquid level benchmark
damping plate
finite element simulation
systematic error
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
2500 Pa基准微压计性能优化与研究
2
作者
马可
杨远超
王鹏
机构
中国计量科学研究院
青岛市计量技术研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020年第S01期110-115,共6页
基金
国家重点研发计划(2019YFB2006601)。
文摘
通过对2500 Pa微压基准改造后的性能进行分析与研究,总结工作介质温度与容器液位高度的关系,提炼关系式并求得压力0点液位高度/温度系数:a=0.030 mm/℃;b=0.017 mm/℃;利用修正公式优化水密度取值方法,将水密度的量值准确度平均提升0.0006%,并纠正相关规程密度表错误;比对实验结果E n<1,取得满意结果。通过优化,使微压基准的性能得到提升,可满足时代发展的压力量值溯源与传递需求。
关键词
计量学
基准
密度
液位高度
不确定度
Keywords
metrology
benchmark
density
liquid
level
height
uncertainty
分类号
TB935 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
低粘度阻尼液面基准标定干涉仪系统误差(特邀)
李素田
郑东晖
杨亦涵
刘宇晴
李晶晶
袁群
陈磊
《红外与激光工程》
北大核心
2025
0
原文传递
2
2500 Pa基准微压计性能优化与研究
马可
杨远超
王鹏
《计量学报》
CSCD
北大核心
2020
0
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职称材料
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