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纳米级线宽标准样片的设计与制备被引量：4: 1; 作者韩志国李锁印 +2 位作者冯亚南赵琳吴爱华《计算机与数字工程》 2021年第4期664-668,共5页; 介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm~200nm的线宽样片。以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线... 展开更多; 关键词线宽标准样片电子束线宽偏差线边缘粗糙度均匀性稳定性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于多层膜沉积的循迹式线宽标准样片被引量：1: 2; 作者赵琳韩志国 +3 位作者张晓东许晓青李锁印吴爱华《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第12期1549-1553,共5页; 为了实现半导体行业内关键尺寸测量仪器的校准问题,展开了纳米尺寸线宽标准样片的研究工作。采用多层膜沉积技术研制了尺寸为20 nm和50 nm的纳米级线宽标准样片。针对标准样板整体尺寸小、仪器测量视场小所引起的校准时不便寻找的问题,... 展开更多; 关键词计量学线宽标准关键尺寸多层膜沉积循迹标记; 在线阅读下载PDF 职称材料

线宽测量在光电光谱分析中的应用被引量：1: 3; 作者宋敏郐新凯《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期57-60,共4页; 本文介绍了利用谱线宽度进行光电光谱分析的方法，实验结果表明：在０．０１ｍｇ·ｍｌ－１到４ｍｇ·ｍｌ－１的浓度范围内。; 关键词谱线宽度内标光电光谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

谱线宽度法测定粉末样品中高含量锡被引量：1: 4; 作者陈金忠魏艳红《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期86-89,共4页; 本文利用谱线宽度方法测定了钽锡矿物样品中高含量元素Ｓｎ，讨论了外加内标元素Ｐｂ的含量分别在１％、２％和３％时对分析结果的影响。实验结果表明，Ｐｂ的不同加入量使得光谱分析的准确度和精密度有所变化。; 关键词谱线宽度法锡内标钽锡矿; 在线阅读下载PDF 职称材料

宜居城市道路横断面布置形式选择标准被引量：6: 5; 作者曾伟董彪 +1 位作者赵娟娟王朝辉《城市道桥与防洪》 2013年第8期1-5,382,共5页; 为使城市道路更好地满足宜居城市关于交通便捷有序、城市景观优美等方面的要求,通过合理的横断面布置可以缓解交通堵塞、降低环境污染,形成节能环保型交通出行方式。针对于此,从机动车道、非机动车道和人行道通行能力及道路红线宽度方... 展开更多; 关键词横断面选择标准通行能力最小红线宽度; 在线阅读下载PDF 职称材料

400系不锈钢板坯连铸倒角结晶器的开发与应用被引量：1: 6; 作者亓欣华陈培敦 +2 位作者赵刚李志平李峰《山东冶金》 CAS 2022年第6期19-21,共3页; 本文介绍了400系不锈钢板坯连铸由直角结晶器改为倒角结晶器,倒角弧半径R为60°~62°,在结晶器铜板倒角内部增设直径为Φ7 mm的冷却水孔,倒角结晶器投入使用后板坯宽度达标率在92%以上,钢带两侧狭缝线宽度各降低10 mm,提高钢带... 展开更多; 关键词不锈钢板坯倒角结晶器板坯宽度达标率狭缝线; 在线阅读下载PDF 职称材料

复合型高深宽比沟槽标准样板: 7; 作者赵琳张晓东 +4 位作者雷李华袁群李锁印梁法国吴爱华《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期235-243,共9页; 硅基MEMS器件中存在大量高深宽比结构,对这些结构进行线宽和深度的无损检测,是当前的热点问题。为了实现对这些高深宽比结构无损测量系统的准确校准,采用半导体工艺研制了一系列高深宽比沟槽标准样板,宽度范围2~30μm、深度范围10~300... 展开更多; 关键词高深宽比线宽沟槽深度复合型标准样板; 原文传递

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