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多能场微射流水导激光加工研究发展概况
被引量：
14
1
作者
卢希钊
江开勇
《中国科学：物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2020年第3期26-39,共14页
微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分...
微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分布的同时实现去屑、冷却,使得其轴向加工质量、精度得到提高,并提高激光轴向加工能力.本文介绍并阐述了该加工装置及设备研发的若干关键因素:激光全反射入射角度的选择、光束质量、模式、聚焦位置及激光与水射流的耦合精度.对比了该技术与超短脉冲激光(飞秒激光)的加工特点.阐述了微射流水导激光适当控制激光加工热量,控制激光加工方向,适用于高质量大深径比(约10-100)的深孔、槽、缝的场合以及一些低k绝缘材质,硬质合金、SiC、GaAs、聚晶金刚石等材质的高附加值对象场合.
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关键词
微射流水导激光加工
耦合
全反射传输
加工质量
原文传递
题名
多能场微射流水导激光加工研究发展概况
被引量：
14
1
作者
卢希钊
江开勇
机构
华侨大学机电及自动化学院
厦门大学电子科学与技术学院
华侨大学福建省特种能场制造重点实验室
出处
《中国科学：物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2020年第3期26-39,共14页
基金
国家自然科学基金(编号:51575198)
福建省重点实验室开放基金(编号:2016JZA002)资助项目
文摘
微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分布的同时实现去屑、冷却,使得其轴向加工质量、精度得到提高,并提高激光轴向加工能力.本文介绍并阐述了该加工装置及设备研发的若干关键因素:激光全反射入射角度的选择、光束质量、模式、聚焦位置及激光与水射流的耦合精度.对比了该技术与超短脉冲激光(飞秒激光)的加工特点.阐述了微射流水导激光适当控制激光加工热量,控制激光加工方向,适用于高质量大深径比(约10-100)的深孔、槽、缝的场合以及一些低k绝缘材质,硬质合金、SiC、GaAs、聚晶金刚石等材质的高附加值对象场合.
关键词
微射流水导激光加工
耦合
全反射传输
加工质量
Keywords
laser microjet
coupling
inter total reflect
micro-processing quality
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多能场微射流水导激光加工研究发展概况
卢希钊
江开勇
《中国科学：物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2020
14
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