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微型压电陶瓷棒角速率陀螺设计 被引量：4
1
作者 刘武发 龚振邦 蒋蓁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期439-444,共6页
研制了基于微型压电陶瓷棒结构代替双敏感梁结构及压电陶瓷片的微型角速率陀螺,并设计了相敏检波电路。首先采用易于加工成高精度的微型陶瓷棒作为敏感体,在其上印刷成六个带状电极并予以极化构成三副电极对,然后设计了封装及相敏检波电... 研制了基于微型压电陶瓷棒结构代替双敏感梁结构及压电陶瓷片的微型角速率陀螺,并设计了相敏检波电路。首先采用易于加工成高精度的微型陶瓷棒作为敏感体,在其上印刷成六个带状电极并予以极化构成三副电极对,然后设计了封装及相敏检波电路,从而有效地减小了敏感结构的尺寸,提高了其加工精度,实现了角速率陀螺微型化。标定结果表明,该角速率陀螺线性度好,相关系数为0.9996;精度高,标准误差为0.0036。 展开更多
关键词 微型压电陶瓷棒 角速率陀螺 相敏检波电路 标定
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基于FPGA的压电陀螺数字化检测电路设计 被引量：3
2
作者 李国斌 吴校生 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第9期92-94,共3页
针对压电微固体模态陀螺的信号采集与算法要求,设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的兼具高精度高采样频率的陀螺数字检测系统。介绍了该系统的原理与实现方法。FPGA主控芯片选择XC6SLX25,ADC选择AD7960芯片(18 bit,5MSPS)。经试验验证,... 针对压电微固体模态陀螺的信号采集与算法要求,设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的兼具高精度高采样频率的陀螺数字检测系统。介绍了该系统的原理与实现方法。FPGA主控芯片选择XC6SLX25,ADC选择AD7960芯片(18 bit,5MSPS)。经试验验证,制作的样机可以同时采集三路输出信号,并实时处理传给上位机显示。测得陀螺共振频率稳定在349.89 k Hz,上下波动范围8 Hz,参考端输出电压峰峰值的均方差为0.004 V。检测系统稳定,具有较高精度。研究的数字化检测电路能很好地应用于MEMS微陀螺检测信号的处理,提高MEMS微陀螺的稳定性和抗干扰性。 展开更多
关键词 压电陀螺 现场可编程门阵列 数字检测 FIR滤波 高精度 高采样频率
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一种具有自检功能的压电角速率陀螺
3
作者 郭志军 李鲲 +1 位作者 杨兴玉 卿荣康 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1995年第2期17-19,共3页
介绍了一种具有自我检测功能的压电角速率陀螺以及基本原理和实验结果。
关键词 自动检测 压电角速率陀螺 振动惯性器件 弹头
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一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路 被引量：1
4
作者 龙善丽 唐兴刚 童紫平 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期792-795,共4页
微机械陀螺的闭环驱动电路中通常采用两相位同频信号维持驱动环路谐振,但系统引入误差较大。提出了一种新的硅微机械陀螺四相位驱动系统,将四相位半频驱动电压加载到具有四组驱动电极的结构上,使系统维持在谐振频率上。采用该驱动电路,... 微机械陀螺的闭环驱动电路中通常采用两相位同频信号维持驱动环路谐振,但系统引入误差较大。提出了一种新的硅微机械陀螺四相位驱动系统,将四相位半频驱动电压加载到具有四组驱动电极的结构上,使系统维持在谐振频率上。采用该驱动电路,耦合到输出端的干扰信号为谐振频率的一半,只需采用适当的高通滤波器即可消除干扰信号对输出的污染,同时提高了系统的信噪比。采用0.5μm CMOS工艺进行设计,版图尺寸约为2.8mm×2.8mm,测试结果表明该四相位驱动电路能很好地满足陀螺系统驱动模态维持谐振的要求。 展开更多
关键词 MEMS陀螺仪 四相位驱动 角速度检测 锁相环 信噪比
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